特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)技術(shù)要求

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1、開元設(shè)備特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)技術(shù)要求★工程概況：工程名稱：開元設(shè)備科技有限公司特殊氣體供應(yīng)和氣體偵測(cè)監(jiān)控管理系統(tǒng)建設(shè)地點(diǎn)開元設(shè)備科技有限公司廠址★工程范圍：特氣供應(yīng)系統(tǒng)及氣體監(jiān)控系統(tǒng)主要工作內(nèi)容如下：l特氣氣柜供應(yīng)系統(tǒng)：CH4,0.5%PH3/H2,2%TMB/H2lBSGS供應(yīng)系統(tǒng):SIH4,NF3,l大宗氣體分配系統(tǒng):CDA，AR，O2,N2，H2（管路至供氣源接口）l動(dòng)力系統(tǒng)（外圍獨(dú)立氣體房的排風(fēng)系統(tǒng)）lUPS電源系統(tǒng)l氣體偵測(cè)器系統(tǒng)l氣體監(jiān)控系統(tǒng)lPLC控制和網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)l電腦圖形控制系統(tǒng)l各個(gè)氣體房和氣體室的氣柜排風(fēng)系統(tǒng)和事故排風(fēng)系統(tǒng)l廢氣處理裝置的安裝和調(diào)試，管路銜接。l其他未盡

2、事項(xiàng)詳見圖紙、技術(shù)規(guī)范及標(biāo)單。注：此工程范圍需包含以上但不僅限于以上內(nèi)容，需投標(biāo)方自行考慮所有細(xì)節(jié)。工程界面協(xié)調(diào)配合事項(xiàng)：l環(huán)氧：環(huán)氧施工完成并經(jīng)監(jiān)理及旭雙相關(guān)人員驗(yàn)收后，所有地面，天花墻壁作徹底清潔后，本包可入內(nèi)施工。l地面保護(hù)：氣體房?jī)?nèi)地面保護(hù)在本包范圍內(nèi)。l電力：電力包提供電源（包括電纜，橋架及接線）到本包各電盤（380VEmergency800A+380VNormal800A）的進(jìn)線端。照明由電力包統(tǒng)一規(guī)劃提供。l接地：各氣體房由電力系統(tǒng)提供接點(diǎn)。l消防：提供各氣體房之噴淋系統(tǒng)，并預(yù)留DN50閥門、門禁系統(tǒng)、廣播和氣體報(bào)警系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)。lMAU：各氣體房空調(diào)。l其他未盡事項(xiàng)詳見圖

3、紙、技術(shù)規(guī)范及標(biāo)單。第一章特氣供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求1.1特氣供應(yīng)流程圖13本文隨同其任何有關(guān)附件均屬保密，僅供開元設(shè)備新項(xiàng)目使用，未經(jīng)開元設(shè)備科技有限公司書面同意，任何方不得以任何形式泄露于第三方。開元設(shè)備1.1.1特氣供氣簡(jiǎn)易流程：本項(xiàng)目使用氣柜（以下簡(jiǎn)稱GC）的氣體分別為0.5%PH3/H2,2%TMB/H2,CH4，詳情見設(shè)備清單表。1.12本項(xiàng)目使用大宗特氣系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱BSGS）供氣的氣體SIH4,NF3第二章．特氣設(shè)備技術(shù)要求：氣瓶柜（GC）/BSGS，基本功能要求：1)所有系統(tǒng)設(shè)計(jì)都必須遵從SEMIS2（半導(dǎo)體工業(yè)的全球標(biāo)準(zhǔn)）標(biāo)準(zhǔn)。2)更換鋼瓶或輕微故障時(shí)，不影響氣瓶柜和氣

4、瓶架向VMB或機(jī)臺(tái)供氣。3)無(wú)論任何一邊鋼瓶先上線，都能夠自動(dòng)切換。4)更換鋼瓶時(shí)氣瓶柜/氣瓶架全自動(dòng)進(jìn)行吹掃、保壓測(cè)試、供應(yīng)服務(wù)。5)具有緊急切斷功能（EMO）和三色燈蜂鳴報(bào)警功能。13本文隨同其任何有關(guān)附件均屬保密，僅供開元設(shè)備新項(xiàng)目使用，未經(jīng)開元設(shè)備科技有限公司書面同意，任何方不得以任何形式泄露于第三方。開元設(shè)備1)彩色觸摸屏控制。2)氣瓶柜和氣瓶架設(shè)計(jì)要方便拆卸鋼瓶和固定鋼瓶。3)氣瓶柜和氣瓶架的控制系統(tǒng)都采用西門子或者歐姆龍控制系統(tǒng)，且具有以下擴(kuò)展功能2具有以太網(wǎng)接口用于上位機(jī)通訊以便于實(shí)時(shí)監(jiān)控氣柜工作狀態(tài)和實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。（如：各氣瓶的重量、壓力、管路壓力、開斷狀態(tài)，各自控閥的

5、狀態(tài)，和上位機(jī)的通信狀態(tài)，報(bào)警、運(yùn)行、故障等）。2遠(yuǎn)程關(guān)閉，氣柜之間互相切換，用于當(dāng)外部故障或氣體泄漏等情況發(fā)生時(shí)，設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行。2詳細(xì)具體功能必須經(jīng)過(guò)甲方業(yè)主同意認(rèn)可。2.1氣瓶柜：2.11氣瓶柜構(gòu)造：1)氣瓶柜面板的厚度大于等于2.7mm的鋼板并涂有抗腐蝕環(huán)氧涂層，并且所有材料都必須是非易燃的。（顏色為白色）2)氣瓶柜全表面都不能有震動(dòng)，不可有鋒利的邊緣。3)氣瓶柜的底板厚度大于等于3.4mm，必須鋪有防滑墊片，且固定的鋼瓶的鏈條必須為防腐蝕的不銹鋼鏈條。4)氣瓶柜的底面設(shè)計(jì)要便于放置或移走鋼瓶而不必調(diào)整鋼瓶高度。如鋼瓶尺寸有變動(dòng)，設(shè)備廠商無(wú)條件的更改鋼瓶CGA接頭高度。5)氣瓶

6、柜要可以容納兩個(gè)供氣鋼瓶。6)氣瓶柜的門，管路線路通道，窗及其他孔洞必須安裝密封圈。7)氣瓶柜進(jìn)氣口要安裝灰塵過(guò)濾器。8)所有氣瓶柜標(biāo)明其供應(yīng)氣體的種類及其濃度，氣瓶柜內(nèi)部所有的管路及閥件應(yīng)該標(biāo)明其作用，例如供氣，吹掃或排氣。2.12氣柜門構(gòu)造：1)氣柜門能自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。2)氣柜門能打開90度角以上，以方便正常操作。3)所有的氣柜門及窗子使用同樣的鑰匙。4)氣柜門能平穩(wěn)地打開及關(guān)閉，并具有防關(guān)閉功能，閉門器的聯(lián)接桿方便拆卸。2.13操作窗口：1)操作窗口能自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。2)操作窗口的玻璃必須是厚度大于等于6.5mm，并有金屬絲加固的安全玻璃。3)窗

7、口背面要安裝隔離玻璃嵌板。2.14氣瓶柜的排氣裝置：1)氣瓶柜排氣管的直徑必須大于等于6”SS的管路，并覆蓋由FM論證的ECTFE材料。2)排13本文隨同其任何有關(guān)附件均屬保密，僅供開元設(shè)備新項(xiàng)目使用，未經(jīng)開元設(shè)備科技有限公司書面同意，任何方不得以任何形式泄露于第三方。開元設(shè)備氣狀態(tài)的持續(xù)監(jiān)控信號(hào)要顯示在控制屏上并與控制器聯(lián)動(dòng)，以提供抽風(fēng)量不足時(shí)的停機(jī)或報(bào)警選項(xiàng)。1)排氣管上加裝氣體偵測(cè)器。2.15氣瓶柜系統(tǒng)設(shè)計(jì)1)盤面的排氣管必須保持微量N2微漏通過(guò)，監(jiān)