【5A版】特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng).ppt

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1、特殊氣體介紹Pressureunit:（壓力單位）psig—表壓，psia—絕對(duì)壓力psia=psig+14.71bar=105Pa=1.0197Kg/cm2=14.504psi=0.987atm1atm=14.7psiFlowrateunit:（流量單位）sccm—毫升/分鐘slpm—升/分鐘1slpm=1000sccmS表示標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)，即：1大氣壓，20℃。Weightunit:（重量單位）1Kg=2.2Lbs壓力/重量單位化學(xué)品及企業(yè)標(biāo)識(shí):化學(xué)品名稱,企業(yè)名稱,企業(yè)應(yīng)急電話等危險(xiǎn)性概述:危險(xiǎn)性類別(8大

2、類)，侵入途徑，健康危害等急救措施:皮膚接觸，眼睛接觸，吸入等消防措施:危險(xiǎn)特性，有害燃燒產(chǎn)物，滅火方法及滅火劑，滅火注意事項(xiàng)等泄露應(yīng)急處理:應(yīng)急處理和消除方法等操作處置與儲(chǔ)存:操作注意事項(xiàng)，儲(chǔ)存注意事項(xiàng)等接觸控制/個(gè)體防護(hù):最高容許濃度TLV，呼吸系統(tǒng)防護(hù),眼睛防護(hù)，身體防護(hù)等理化特性:PH值，沸點(diǎn)（℃），相對(duì)蒸氣密度（空氣=1）等廢棄處置：廢棄物性質(zhì)，廢棄處置方法，廢棄注意事項(xiàng)等法規(guī)信息：國(guó)內(nèi)化學(xué)品安全管理法規(guī)，國(guó)際法規(guī)等MSDS—物質(zhì)安全資料表SMIC的特殊氣體分為四種:惰性氣體毒性氣體腐蝕性氣體可燃

3、性/毒性氣體氣體的定義在SMIC總共有41種特殊氣體:14種惰性氣體CF4,CHF3,C4F8,C2F6,SF6,CO2,C3F8,0.5%O2/He,20%O2/N2,30%O2/He,1.2%Kr/Ne,1.2%He/N2,100ppmXe/Ar/Ne,99.5%He/N26種毒性氣體SiH4,1%PH3/N2,1%PH3/H2,CO,0.7%AsH3/H2，B2H68種腐蝕性氣體ClF3,NH3,SiF4,HCl,Cl2,HBr,0.9%F2/1.2%Kr/Ne,0.9%F2/3.5%Ar/Ne10種

4、可燃性/毒性氣體NO,SiH2Cl2(DCS),N2O,NF3,10%CH4/Ar,CH3F,CH2F2,C4F6,4%H2/N2,5%H2/He,CH4Sub-Fab(腐蝕性)—C5F8,BCl3和WF6氣體的定義氣體房包括CQC(連續(xù)質(zhì)量控制)房,純化器房,惰性氣體房,毒性氣體房,腐蝕性氣體房和可燃性/毒性氣體房.氣體房布置圖如附件:氣體房布置圖特殊氣體通過氣瓶柜輸送到特殊氣體分配器—VMB/VMP,然后送到機(jī)臺(tái)端給制程用特使氣體供應(yīng)系統(tǒng)包括3部分:氣瓶柜—?dú)怏w供應(yīng)的源頭,供應(yīng)穩(wěn)定壓力的氣體VMB/VM

5、P—?dú)怏w分配器,裝有閥門來控制每一路氣體管道機(jī)臺(tái)—特殊氣體的最終用戶特使氣體供應(yīng)系統(tǒng)G/C氣瓶柜VMB/VMPTools機(jī)臺(tái)1stFloorGasRoom1樓氣體房2ndFloorSub-Fab2樓次潔凈室3rdFloorCleanRoom3樓潔凈室特殊氣體供應(yīng)流程圖氣體房FAB1特氣氣瓶柜氣瓶柜流程圖(AirLiquid)所有氣瓶柜在零中斷的情況下自動(dòng)切換,在緊急情況下會(huì)自動(dòng)停止供氣.我們也可在必要條件下手動(dòng)操作氣瓶柜.氣瓶柜對(duì)高壓的氣體,我們使用壓力傳感器來監(jiān)測(cè)氣瓶?jī)?nèi)氣體的狀況.當(dāng)氣瓶壓力達(dá)到低設(shè)定時(shí),

6、氣瓶會(huì)從一側(cè)切到另一側(cè),同時(shí)也會(huì)釋放出警報(bào).當(dāng)送氣壓力達(dá)到低設(shè)定時(shí),氣瓶也會(huì)從一側(cè)切到另一側(cè).氣瓶柜對(duì)液態(tài)的氣體,我們用磅秤來監(jiān)測(cè)氣瓶?jī)?nèi)氣體的狀況.當(dāng)氣瓶壓力達(dá)到低設(shè)定時(shí),氣瓶會(huì)從一側(cè)切到另一側(cè),同時(shí)也會(huì)釋放出警報(bào).當(dāng)磅秤出現(xiàn)問題時(shí),氣瓶也會(huì)根據(jù)氣瓶壓力的狀況從一側(cè)切到另一側(cè).氣瓶柜FAB2BSGS大宗特殊氣體供應(yīng)包括:CO2,C2F6,N2O,NF3,SiH4Y氣瓶供應(yīng)包括:CO2,C2F6,N2O氣瓶組供應(yīng)包括:NF3,SiH4FAB2大宗特殊氣體供應(yīng)簡(jiǎn)介大宗特殊氣體供應(yīng)----Y氣瓶大宗特殊氣體供應(yīng)-

7、---氣瓶組在SMIC,共有6種氣體需要安裝雙套管:SiH4,CO,1%PH3/N2,1%PH3/H2,0.7%AsH3/H2,ClF3因此類氣體比其它的氣體更具危險(xiǎn)性,所以我們使用雙套管來確保安全.針對(duì)ClF3這種特氣,因?yàn)樾枰訜?但真空是絕熱的,所以我們?cè)趦?nèi)外套管之間通入70psi的PN2來傳熱.特殊氣體–雙套管雙層管示意圖通常,在雙套管的中央應(yīng)保持負(fù)壓.我們?cè)陔p套管的中央安裝一塊壓力表,當(dāng)壓力表的壓力上升時(shí),說明內(nèi)管中的真實(shí)氣體有泄漏.特殊氣體–雙套管特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)介紹由于WF6和ClF3這二種氣

8、體的腐蝕性特強(qiáng)，如果在新的管路中注入純度很高的這類氣體，它們會(huì)破壞管路的內(nèi)表面。所以，我們先用N2和它們進(jìn)行混合后，再注入管路中，讓新的管路適應(yīng)這類氣體后再正式使用，這就是需要做鈍化的原因。VMBVMB真實(shí)氣體在排放到中央排氣系統(tǒng)之前,需要進(jìn)廢氣處理裝置進(jìn)行處理.在SMIC氣體房,我們使用吸收式廢氣處理裝置來處理廢氣.廢氣處理裝置