基于工藝偏差的帶隙基準電壓源設(shè)計

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1、．ＴＯ４單位代碼０３３５分類號；１密級：公開學(xué)號：２１３１００９７碩±學(xué)位論文戀中文論文題目：基于工苦偏差的帶隙基準電壓源設(shè)計英文論文題目：ＢａｎｄｇａｐＶｏｌｔａｇｅＲｅｆｅｒｅｎｃｅＤｅｓｉｇｎｗｉｔｈＰｒｏｃｅｓｓＶａｒｉａｔｉｏｎｓ申請人姓名：指導(dǎo)教師；竺紅五副教授合作導(dǎo)師；羅小華副教授專業(yè)名稱：電路與系統(tǒng)研究方向：數(shù)模混合忠片成品率研究所在學(xué)院：由氣工程學(xué)院論文提交日期２０１６年１月基于工藝偏差的帶隙基

2、準電壓源設(shè)計論文作者簽卷：成＼指導(dǎo)教師簽名文０＿午－論文評閱人１：史嶺副教授浙江大學(xué)評閱人２；虞小鵬副教授浙江大學(xué)評閱人３：葛海通正高杭州宙其科技有限么司評閱人４：評閱人５；答辯委員會主席：張明教授浙江大學(xué)委員１：孟建煙教授復(fù)縣大學(xué)委員２：虞小鵬副教授浙江大學(xué)委員３；張培勇副教巧浙江大學(xué)答辯日期：２０１６年３月９日浙江大學(xué)研究生學(xué)位論文獨創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進行的研究工作及取得的

3、研究成果。除了文中特別加Ｗ標注和致謝的地方外，論文中不包含其他人己經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研巧成果，也不包含為獲得浙江大學(xué)或其他教育機構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料一。與我同工作的同志對本研巧所做的任何貢獻均己在論文中作了明確的說明并表示謝意。曰？學(xué)位論文作者簽名簽字日期；年ｊ月片日學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作者完全了解浙江大學(xué)有權(quán)保留并向國家有關(guān)部口或機構(gòu)送交本論文的復(fù)印件和磁盤，化許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)浙江大學(xué)可Ｗ將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進巧檢索和傳播，可Ｗ采用

4、影印、。、縮印或掃描等復(fù)制手段保存匯編學(xué)位論文（保密的學(xué)位論文在解密后適用本授權(quán)書）學(xué)位論文作者簽名：導(dǎo)師簽名：＾＾ＯＯｆ簽字日期：年ｊ月日簽字日期：年Ｗ了日浙江大學(xué)碩±學(xué)位論文致撕時光甚薦，我馬上要從電氣學(xué)院超大所畢業(yè)，即將告別生活學(xué)習(xí)了將近七年一。的浙江大學(xué)在研究生生涯期間，無論是學(xué)習(xí)科研還是為人處事上定，都有了的成長。謹在此Ｗ微薄的言語對這王年來鼓勵過我、幫助過我的入表示誠攀的感謝。首先，我要特別感謝我的指導(dǎo)老師羅小華副教授。羅老師嚴謹求是的科學(xué)態(tài)度、

5、謙遜平和的處世風(fēng)格為我們樹立了良好的學(xué)習(xí)楷模，受益良多。在巧究生生涯中，羅老師無論是學(xué)習(xí)上還是生活上，都給予了我們奠大的關(guān)和幫助，在這里衷記、地感謝羅老師這五年來的悉記培養(yǎng)和關(guān)懷，祝愿羅老師身體健康，工作順利。其次感謝浙江大學(xué)超大所的嚴曉浪老師、何樂年老師、吳曉波老師、沈海斌老師、史睜老師、竺紅衛(wèi)老師、虔小鵬老師、張培勇老師、趙夢戀老師和王維維老師。超大所老師扎實的理論基礎(chǔ)、精湛的專業(yè)水平深入簡出地給我們講解集成電路設(shè)計的知識，為我們Ｗ后的工作奠定了堅實的基礎(chǔ)，在此由衷地感謝超大所

6、老師們無私的付出和李勤的栽培一。感謝浙江大學(xué)為我們提供了流的學(xué)術(shù)環(huán)境和一一流的師資力量，在這里結(jié)識了很多志同道合的朋友，求是的理念將直鞭策著我一，愿母校盡快步入世界流大學(xué)行列。感謝高史義、馮忱輝和陳利生師兄在我迷茫時為我指點迷津，提供專業(yè)上的幫助。感謝項目組的同學(xué)們：盧宇峰、李益航、翁夢婷、王磊、張晨秋，在做項目和寫論文期間互幫互助，讓我的巧究生生活不再單調(diào)乏味，謹在此愿大家Ｗ后的生活事業(yè)都能順順利利。感謝室友麻艷娜同學(xué)，在我遇到問題時，給我提供解決途徑，并開導(dǎo)安感我，愿你的博去生涯能更

7、加精彩。感謝葛凌燕、邱巧雨同學(xué)，在我情緒低落時聽我傾訴，在我收獲喜悅時同我分享，，總能為我提供最需要的幫助，有你們的陪伴我的生活變得多姿多彩希望你們能永遠快樂，永遠珍惜我們的友誼。最后感謝我最愛的家人，正是你們無條件的支持和關(guān)愛，讓巧無所畏懼，勇敢向前。感謝你們２０＃年來的包容與鼓勵，愿你們永遠健康幸福。２０１６年１月于求是園浙江大學(xué)碩±學(xué)位論文搞要隨著ＣＭＯＳ工藝特征尺寸的減小，集成電路制造過卷中王藝波動導(dǎo)致實際輸出結(jié)果和目標值有較大偏離，從而影響巧片成品率，增加重復(fù)制版

8、成本。因此工藝偏差引起的可制造性問題（ＤｅｓｉｇｎＦｏｒＭａｎｕｆａｃｔｕｒａｂｉｌｉｔｙ，ＤＦＭ）臣成為集一成電路設(shè)計和制造的重大挑戰(zhàn)之。本文首先探討了集成電路成品率下降的主要成因一一工藝偏差中的隨機慘雜波動（民ａｎｄｏｍＤｏｐａｎｔＦ山ｃｔｕａｔｉｏｎＲＤＦ）理論上分析了ＲＤＦ引起闊值電，，從壓和電流增益因子偏差，進而導(dǎo)致電