晶圓處理工程用語

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1、晶圓處理工程用語D．1基本、共同用語編號用語（英文/中文）用語說明D1001unloader卸載機、卸貨機是將被加工對象（work）從所定位置取出之機構(gòu)D1002Indexer指針器，索引器是指發(fā)送機（sender）與接收機（receiver）之總稱。在處理之前后，亦有使用同一匣盒使遮光罩(mask),晶圓等基板收納位置不會變化之單面匣式（uni-cassette）方式。D1003Waferautomatictransfersystem晶圓自動傳送系統(tǒng)是指將晶圓每次一片或每次多片，從匣盒自動轉(zhuǎn)移至各處理裝置之裝置。此一裝置是由匣盒載物臺(cassettestage)、晶圓搬運機器人，

2、以及該接口所構(gòu)成，大都與匣盒搬運機械人搭配使用。D1004Waferhoist晶圓交接升降裝置系指有關(guān)晶圓輸送機構(gòu)之晶圓交接升降機構(gòu)。大都與附屬在輸送機構(gòu)先端之晶圓承接臂成對搭配使用，位在交接之制程位置，由晶圓承接部分與驅(qū)動該部分之上下機構(gòu)所組成。D1005Waferholder晶圓保持器系指有關(guān)形成薄膜之半導(dǎo)體制造裝置，在各種處理或晶圓輸送時，用來保持晶圓之裝置部分。D1006X-Ystage/X-Ytable從橫移動載物臺/從橫移動載物盤是指可將被加工對象(work)加以從橫方向移動，且可決定其精確位置之機構(gòu)。D1007materialsafetydatasheet材料安全數(shù)據(jù)清

3、單MSDS是指記錄化學(xué)物質(zhì)之物性、毒性、可燃性，反應(yīng)性及處理方法之安全性數(shù)據(jù)清單。為確保使用瓦斯或藥品處理裝置在操作時之安全為目的，通常與使用說明書等附加在一起。D1008Orientationflatarrangeequipment晶圓定向平面擺齊裝置是指將匣盒內(nèi)晶圓之定向平面加以擺齊在一個方向之裝置。為要檢查晶圓轉(zhuǎn)移傳送是否確實，或為要使晶圓在各處理裝置內(nèi)之定向決定，能順利所使用之裝置。D1009cassette/magazine晶圓匣盒/晶圓收納盒是指將晶圓被加工對象整齊加以收納之裝置。為使晶圓加工對象在各制程上能容易進行搭載及卸在載為目的，所使用之匣盒。類同之用語有magaz

4、ine一語。D1010cassette-to-cassettehandling匣盒間轉(zhuǎn)運處理系指從供給側(cè)晶圓匣盒，將晶圓每次一片自動加以取出，輸送至處理室處理后，將晶圓逐片收納在收納側(cè)晶圓匣盒之處理方式。D1011Availability利用度，利用率系指針對計劃運輸時間，實際可正常運輸時間之比率。D1012Substrate基板,基片是指成為處理對象之空白遮光罩(maskblank),晶圓等材料總稱.編號用語（英文/中文）用語說明D1013Carrierbox指為要輸送或保管晶圓之容器.運載盒在制造過程上務(wù)必保持晶圓不至受到容器排放瓦斯之污染,輸送盒材質(zhì)之鑒定至為重要.目前,輸送盒

5、以使用聚丙稀(polypropylene)樹脂及聚碳酸脂(polycarbonate)的樹脂為主.D1014Clustertool組合設(shè)備公具指將不同裝置廠家之設(shè)備或不同制程之結(jié)合,或能將半導(dǎo)體裝置制造商獨特之制造模塊，加以裝配之多加工室（multichamber）制造裝置。是以美國半導(dǎo)體制造裝置廠家為中心之團體MESA(ModularEquipmentStandardArchitecture)所提倡者。D1015Pre-purge是指要使用熱處理爐、反應(yīng)室或瓦斯配管系統(tǒng)之前，將純性瓦斯引進加以凈化之操作。D1016Costofownership是將半導(dǎo)體制造相關(guān)設(shè)備之投資，或?qū)I運

6、之經(jīng)濟性評價基準(zhǔn)，以經(jīng)營位皆加以模型化者。將制造裝置之壽命周期成本（lifecyclecost）,以裝置價格、生產(chǎn)性、可靠性及成品率等加以考量，而算出每一晶圓良品成本之方法。D1017Magneticcoupledfeedthrough磁耦合旋轉(zhuǎn)饋通是指利用N極S極之磁性結(jié)合力，將外旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力傳達到真空氣氛內(nèi)之旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。是一種非接觸旋轉(zhuǎn)，因多半在真空與大氣間隔著一道墻壁之構(gòu)造，其真空密封壽命為無限大，對超高真空性能之維持很有效。D1018Magneticlevitationtransfer磁懸浮輸送是指利用磁性反斥力之非接觸性輸送機構(gòu)。是由控制磁懸浮之控制電磁鐵、線性馬達及懸浮體等所

7、構(gòu)成，例如遮光罩或晶圓等之基片搭載在懸浮體上來移動。在真空中使用時，因?qū)俜墙佑|，無振動、無潤滑油及全然不產(chǎn)生灰塵，具有可獲得潔凈真空等大特點。D1019Robotforusinginvacuum真空機械人是指在真空室內(nèi)，為要移送基板單體所使用輸送機構(gòu)之總稱。為防止例如遮光罩，晶圓等基板受到微粒之污染，采用振動部極低之機構(gòu)。就其功能而言，一般具有直進、旋轉(zhuǎn)、上下移動等功能。D1020Throughput生產(chǎn)量，工作數(shù)是單位時間內(nèi)所能處理之遮光罩或晶圓等基板之