太陽能電池用鍺襯底片

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1、GB/TXXXX-201X太陽能電池用鍺襯底片1　范圍本標準規(guī)定了太陽能電池用鍺襯底片的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法，檢測規(guī)則以及標志、包裝、運輸、貯存、訂貨單（或合同）。本標準適用于垂直梯度凝固法（VGF）和直拉法（CZ）制備的太陽能電池用鍺襯底片。（以下簡稱鍺襯底片）2　規(guī)范性引用文件下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T1550非本征半導體材料導電類型測試方法GB/T1555半導體單晶晶向測定

2、方法GB/T2828.1計數(shù)抽樣檢驗程序第1部分：按接收質(zhì)量限（AQL）檢索的逐批檢驗抽樣計劃GB/T4326非本征半導體單晶霍爾遷移率和霍爾系數(shù)測量方法GB/T5252鍺單晶位錯腐蝕坑密度測量方法GB/T6618硅片厚度和總厚度變化的測試方法GB/T6619硅片彎曲度測試方法GB/T6620硅片翹曲度非接觸式測試方法GB/T6621硅拋光片表面平整度測試方法GB/T6624硅拋光片表面質(zhì)量目測檢驗方法GB/T13387電子材料晶片參考面長度測量方法GB/T26072太陽能電池用鍺單晶GB/T26074鍺單晶電阻率直流四探

3、針測量方法YS/T26硅片邊緣輪廓檢驗方法3　要求3.1產(chǎn)品分類:7GB/TXXXX-201X鍺襯底片按導電類型分為兩種類型：N型：主要用于單結(jié)電池；P型：主要用于三結(jié)電池。3.2規(guī)格鍺襯底片按直徑分為F50.8mm、F100mm、F150mm。3.3物理性能參數(shù)及晶體完整性鍺襯底片導電類型、摻雜劑、電阻率范圍、晶向和載流子濃度及晶體完整性應符合GB/T26072的規(guī)定。3.4加工參數(shù)鍺襯底片加工參數(shù)應符合表1的規(guī)定。表1鍺片直徑/mm50.8100150直徑允許偏差/mm±0.4±0.4±0.4鍺片厚度，中心點/μm14

4、0-200140-200240-270厚度允許偏差/μm±15±15±15主參考面長度/mm17±1.032.5±1.057.5±2.5總厚度變化（TTV）/μm≤10≤15≤15彎曲度（BOW）/μm≤15≤20≤30翹曲度（WARP）/μm≤15≤20≤30總平整度（TIR）/μm≤5≤5≤5強度/lb≥5≥5≥53.5表面質(zhì)量鍺襯底片的表面質(zhì)量應符合表2的規(guī)定。表2正表面序號項目最大缺陷限度7GB/TXXXX-201X1劃傷無2蝕坑無3霧無4亮點（顆粒沾污）鍺襯底片直徑/mm50.8100150數(shù)量/（個/片）410

5、155區(qū)域沾污無6崩邊無7裂紋無8凹坑無9溝（槽）無10小丘無11桔皮，波紋無12狀態(tài)開盒即用背表面13崩邊無14裂紋無15區(qū)域沾污無16背表面處理酸或堿腐蝕，吸除處理或由供需雙方商定3.6邊緣輪廓鍺襯底片須經(jīng)邊緣倒角，倒角后的邊緣輪廓應符合YS/T26的規(guī)定，特殊要求可由供需雙方協(xié)商確定。3.7其他需方如有對本標準規(guī)定以外的技術(shù)參數(shù)，由供需雙方另行商定。4試驗方法4.1鍺襯底片的導電類型測量按GB/T1550進行。4.2鍺襯底片的電阻率測量按GB/T26074進行。4.3鍺襯底片的晶向及晶向偏離度測量按GB1555進行。

6、4.4鍺襯底片的載流子濃度測量按GB/T4326進行。4.5鍺襯底片的晶體完整性檢驗測量按GB/T5252進行。4.6鍺襯底片的直徑測量用千分尺或精度相當?shù)牧烤哌M行。4.7鍺襯底片的厚度和總厚度變化測量參照GB/T6618進行。4.8鍺襯底片的主參考面長度參照GB/T13387進行。4.9鍺襯底片的彎曲度參照GB/T6619進行。4.10鍺襯底片的翹曲度參照GB/T6620進行。4.11鍺襯底片的總平整度參照GB/T6621進行。4.12鍺襯底片的表面質(zhì)量參照GB/T6624進行。4.13鍺襯底片的邊緣輪廓參照GB/T13

7、387進行。4.14鍺襯底片的強度測量按附錄A進行。5檢驗規(guī)則5.1檢查和驗收7GB/TXXXX-201X5.1.1產(chǎn)品應由供方技術(shù)（質(zhì)量）監(jiān)督部門進行檢驗，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本標準（或訂貨合同）的規(guī)定，并填寫產(chǎn)品質(zhì)量保證書。5.1.2需方可對收到的產(chǎn)品按本標準（或訂貨合同）的規(guī)定進行檢驗，若檢驗結(jié)果與本標準（或訂貨合同）的規(guī)定不符時，應在收到產(chǎn)品之日起三個月內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。5.2組批鍺襯底片應成批提交驗收，每批應由相同規(guī)格的產(chǎn)品組成。5.3檢驗項目每批鍺襯底片抽檢的項目有：物理性能參數(shù)及晶體完整性、幾何參

8、數(shù)、表面質(zhì)量和邊緣輪廓。5.4抽樣驗收5.4.1每批鍺襯底片如屬非破壞性測量的項目，檢測按GB/T2828.1一般檢查水平Ⅱ，正常檢查一次抽樣方案，或由供需雙方協(xié)商確定的抽樣方案進行。5.4.2如屬破壞性測量的項目，檢測按GB/T2828.1特殊檢查水平S-2，正常檢查一次抽樣方案，或由供需雙方協(xié)商確定