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《基于白光干涉技術(shù)的表面粗糙度測量》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、哈爾濱理T人學(xué)T學(xué)顧Ij學(xué)位論艾基于白光干涉技術(shù)的表面粗糙度測量摘要三維表面料糙度測量是從表面輪廓理論發(fā)展而來的一種測量方法，在航天、軍工以及重大科研項(xiàng)目中都有廣泛應(yīng)用。而相移干涉術(shù)是光學(xué)測量理論的一種典型技術(shù)，它相比其他傳統(tǒng)的測量方法而占，系統(tǒng)相對簡單、調(diào)試相對容易、在線測量速度較快、測量精度更高，而且可以實(shí)現(xiàn)無值守測量。本文采用白光干涉相移理論建立測量系統(tǒng)，整個測量過程包括相移干涉、相位提取以及實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理等。本文首先說明了三維表面粗糙度測量技術(shù)研究的意義，介紹了現(xiàn)今三維半H糙度及表面輪廓測量的現(xiàn)狀和
2、發(fā)展，然后闡述及比較了表面三維粗糙度測量的各種方法。其中，主要提到了兩種應(yīng)用較廣泛的相位算法——相位提取和相位解包裹。作為一種精密測量手段，相移技術(shù)的最大缺陷就是它對各種誤差源的敏感性，包括相移機(jī)構(gòu)必然存在的相移誤差、光場當(dāng)中非正弦性原理誤差、系統(tǒng)探測器的自有誤差等等，本文也對其分別進(jìn)行了分析，探討了對誤差的補(bǔ)償算法。依據(jù)提取出來的相位信息，計(jì)算出圖像各點(diǎn)對應(yīng)的高度值。然后，利用高斯評定理論建立表面輪廓的中線信息，分離出有用的粗糙度特征。最后，通過對表面粗糙度三維評定參數(shù)的研究，選取了有代表性的R。參數(shù)進(jìn)
3、行實(shí)物測量，得到了表面各點(diǎn)高度差數(shù)據(jù)值，綜合各種參數(shù)值還原三維表而粗糙度輪廓。實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)采用寬帶白光光源的鹵鎢燈‘作為測量光源，CCD傳感器為圖像采集裝置，壓電陶瓷晶體作為步進(jìn)式相移器件，實(shí)現(xiàn)了整個測量的相移和數(shù)據(jù)采集。文中最后給出了實(shí)驗(yàn)分析及結(jié)果，數(shù)據(jù)顯示文中理論分析基本與測量結(jié)果一致。關(guān)鍵詞表面粗糙度；白光干涉；相移；濾波ResearchontheMeasurementofSurfaceRoughnessBasedonWhite．．1ightInterferenceAbstractlhree—dimen
4、sionalsurfaceroughnessmeasurementisderivedfromthetheoreticaldevelopmentofthesurfaceprofileintheaerospace，military．a(chǎn)ndmajorresearchprojectsarewidelyused．Thephaseshiftinginterferometryisthetneoryofatypicalopticalmeasurementtechnology，itcomparedtoothertradit
5、ionalmethodsofmeasurement，thesystemisrelativelysimple，relativelveasYtodebug，on—linemeasurementofspeed，higheraccuracyandcanbedutv．Ii'eemeasurements·Inthispaper,phase—shifttheoryofwhitelightinterferencemeasurementsystem，thewholemeasurementprocessincludingth
6、ephase．shiftinginterferometry，phaseextraction，processingofexperimentaldataandso0n．J"hispaperdescribesthethree—dimensionalsurfaceroughnessmeasuringtheslgniticanceoftechnology,todayintroducedthree—dimensionalroughnessandsunaceprofilemeasurementofthecurrents
7、ituationanddevelopment．thendescribesandcomparesthethree—dimensionalsurfaceroughnessmeasurementofaVarletyofmethods·Amongthem，themainreferencetothewiderapplication0fthephasetwoalgorithm。phaseextractionandphaseunwrapping．Asameansofprecisemeasurement，phaseshi
8、ftingtechniqueisitsbiggestdrawbackofthesensitivityofvariouserrorsources，includingthephaseshiftofthephaseshiftinherentinagencyerror,thelightfieldwhichtheprincipleofnon．sinusoidalerror,thesystemofitsownprobeerrors，etc
