高旋磁性nicuzn鐵氧體流延厚膜研究

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2、－，；＇ｊ＇—？ｆ獨創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進行的研究工作及取得的研究成果。據(jù)我所知，除了文中特別加標注和致謝的地方夕ｈ論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得電子科技大學(xué)或其它教育機構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對本研究所做的任何貢獻均已在論文中作了明確的說明并表示謝意。作者簽名；日期：公＞／備年月／多日論文使用授權(quán)本學(xué)位論文作者完全了解電子科技大學(xué)有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，有權(quán)保留并向國家有關(guān)部口或機構(gòu)送交論文的復(fù)印件和磁盤，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)電

3、子科技大學(xué)可將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進行檢索，可（＾采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存、匯編學(xué)位論文。（保密的學(xué)位論文在解密后應(yīng)遵守此規(guī)定）作者簽名；孤備＿導(dǎo)師簽名：慕聲娜日期；２＞（？／占年＾＾月／名日分類號密級注1UDC（題名和副題名）（作者姓名）指導(dǎo)教師（姓名、職稱、單位名稱）申請學(xué)位級別學(xué)科專業(yè)提交論文日期2016.3.15論文答辯日期2016.5.15學(xué)位授予單位和日期20166答辯委員會主席評閱人注1：注明《國際十進分類法UDC》的類號。ResearchofHighGyromagneticNiCuZnFerriteThickFilm

4、byTapeCastingAMasterThesisSubmittedtoUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor:ElectronicScienceandTechnologyAuthor:DanChenSupervisor:A.P.XiaonaJiangSchool:SchoolofMicroelectronicsandSolid-StateElectronics摘要摘要NiCuZn鐵氧體材料以飽和磁化強度可調(diào)節(jié)范圍寬、居里溫度高、鐵磁共振線寬較窄等優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于微波器件中。毫米波鐵氧體環(huán)行器是毫米波雷達和通信系統(tǒng)的

5、關(guān)鍵部件，起著使電磁波單向傳輸?shù)闹匾饔?。鐵氧體材料性能對鐵氧體環(huán)行器的性能起決定性作用。近年來，對更薄、更輕、更小型化的電子元器件的需求加速了鐵氧體薄膜/厚膜材料的發(fā)展。本文對NiCuZn鐵氧體厚膜流延和燒結(jié)等關(guān)鍵工藝進行研究，著重分析鐵氧體流延厚膜物相、顯微形貌及材料旋磁性能和微波磁損耗特性，最終制備出高旋磁性NiCuZn鐵氧體厚膜材料。實驗結(jié)果表明：(1)漿料粘度、流延速率、干燥溫度等均對流延生帶成型質(zhì)量有重要影響：粘度低于320mPa·s，生帶將無法剝離且呈粉末狀；干燥溫度高于40oC，生帶則出現(xiàn)成型不均勻龜裂；疊層數(shù)量對燒結(jié)后的厚膜樣品的物相、磁性能均影響不大，選擇時可結(jié)合實際使

6、用進行靈活調(diào)整。(2)當取定保溫時間為1.5h，燒結(jié)溫度在1020~1080oC范圍內(nèi)變化，樣品的飽和磁化強度在1060oC取得最大值5140Gs；取定1040oC燒結(jié)，延長保溫時間至3.0h，樣品的飽和磁化強度略增為5068Gs。(3)基于弛豫理論分離不同燒結(jié)條件下的鐵磁共振線寬，發(fā)現(xiàn)氣孔致寬對鐵磁共振線寬影響最大，降低表面粗糙度可使粗糙度致寬降至總線寬的10%以內(nèi)。最后，基于上述NiCuZn鐵氧體厚膜材料，利用HFSS軟件對兩種結(jié)構(gòu)類型的Ka波段微帶環(huán)行器進行仿真設(shè)計，仿真結(jié)果表明：(1)單Y結(jié)微帶環(huán)行器S11＜-33dB，

7、S21

8、＜0.86dB，VSWR＜1.20，中心頻率34GH

9、z的帶寬為6.0GHz；(2)雙Y結(jié)微帶環(huán)行器有S11＜-31dB，

10、S21

11、＜0.72dB，VSWR＜1.25，中心頻率34GHz的帶寬為8.2GHz。關(guān)鍵詞：NiCuZn鐵氧體厚膜，流延工藝，鐵磁共振線寬，Ka波段，微帶環(huán)行器仿真IABSTRACTABSTRACTNiCuZnferritematerialwithadjustablesaturationmagnetization,highCurietemperatur