激光多普勒干涉儀介紹

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1、激光多普勒干涉儀介紹美國(guó)光動(dòng)公司(OPTODYNE,INC)美國(guó)光動(dòng)公司OPTODYNE，INC.2美國(guó)光動(dòng)公司總裁王正平教授3激光干涉儀測(cè)量原理比較激光多普勒干涉儀其它激光于涉儀測(cè)量基準(zhǔn)激光波長(zhǎng)激光波長(zhǎng)測(cè)量原理多普勒效應(yīng)分光干涉測(cè)量方法測(cè)量多普勒頻率偏移(測(cè)量相位差)測(cè)量干涉條紋數(shù)雙頻(FM)LDDMHP技術(shù)發(fā)明年代1985年單頻激光干涉儀1960年雙頻激光干涉儀1975年4邁克遜干涉儀1860年MICHELSON干涉儀白光參考鏡反射鏡分光鏡探測(cè)器產(chǎn)生干涉測(cè)量光束參考光束5單頻激光干涉儀1960年單頻激光干涉儀激光角錐反射鏡角錐反射鏡分光鏡探測(cè)器測(cè)量光束參考光束產(chǎn)生

2、干涉6線偏振光線偏振光雙頻激光干涉儀1970年雙頻激光干涉儀激光角錐反射鏡角錐反射鏡偏振分光鏡探測(cè)器測(cè)量光束參考光束產(chǎn)生干涉7激光多普勒干涉儀1985年LDDM電光調(diào)制、外差式激光角錐反射鏡探測(cè)器光電調(diào)制8位移測(cè)量安裝比較9對(duì)光方便10MCV-500主要技術(shù)指標(biāo)序號(hào)技術(shù)指標(biāo)名稱(chēng)指標(biāo)1激光穩(wěn)定性0.1ppm(特殊訂貨可小于0.05ppm)2分辨率0.01微米3測(cè)量精度(不確定度)1ppm(特殊訂貨可小于0.5ppm)4測(cè)量范圍15米(特殊訂貨可加長(zhǎng)到100米)5光靶最大移動(dòng)速度3.6米/秒6電源電壓90～265VAC7電源頻率50～60赫8操作環(huán)境溫度5～38℃9高度0

3、～3000米10相對(duì)濕度0～95%11MCV-500選購(gòu)附件的測(cè)量功能12直線位移測(cè)量靶標(biāo)反射鏡MCV-500反射鏡移動(dòng)方向13非接觸主軸精度測(cè)量MCV-500主軸聚光鏡MCV-500+DI-50014陀羅徑向跳動(dòng)曲線采樣：2000點(diǎn)/秒15低頻振動(dòng)測(cè)量適用于最高為100Hz的低頻振動(dòng)測(cè)量16中頻振動(dòng)測(cè)量適用于最高為100KHz的中頻振動(dòng)測(cè)量17高頻振動(dòng)測(cè)量適用于極高頻率的振動(dòng)測(cè)量18MCV-5000系列激光干涉儀19X軸上下同步測(cè)量實(shí)例20Y軸左右同步測(cè)量實(shí)例21