真空鍍膜設(shè)備與技術(shù)介紹.ppt

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1、真空鍍膜設(shè)備介紹北京迪通恒業(yè)科技有限公司遵化市富森鈦金設(shè)備有限公司聯(lián)合制作簡介真空鍍膜設(shè)備主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被成為基片，鍍的材料被成為靶材?；c靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來，并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長）形成薄膜。對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，

2、并且最終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，最終形成薄膜。2真空鍍膜設(shè)備3適用范圍1．建筑五金：衛(wèi)浴五金（如水龍頭）．門鎖．門拉手．衛(wèi)浴、門鎖、五金合葉、家具等2．制表業(yè)：可用于表殼．表帶的鍍膜、水晶制品3．其它小五金：皮革五金．不銹鋼餐具．眼鏡框、刀具、模具等．4．大型工件：汽車輪轂、不銹鋼板．招牌．雕塑等5、不銹鋼管和板（各種類型表面）6、家具、燈具、賓館用具7、鎖具、拉手、衛(wèi)浴五金、高爾夫球頭、不銹鋼餐具、器血等五金制品鍍超硬裝飾膜。8、手表、表帶、眼鏡、首飾等裝飾品鍍超耐磨裝飾（金銀）納米膜和納米膜和納米疊層膜。4薄膜均勻性概念1.厚度上的均勻性，也可

3、以理解為粗糙度，在光學(xué)薄膜的尺度上看（也就是1/10波長作為單位，約為100A），真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好，可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內(nèi)，也就是說對于薄膜的光學(xué)特性來說，真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子層尺度上的均勻度，也就是說要實現(xiàn)10A甚至1A的表面平整，具體控制因素下面會根據(jù)不同鍍膜給出詳細解釋。2.化學(xué)組分上的均勻性：就是說在薄膜中，化合物的原子組分會由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，如果鍍膜過程不科學(xué)，那么實際表面的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也

4、是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。具體因素也在下面給出。3.晶格有序度的均勻性：這決定了薄膜是單晶，多晶，非晶，是真空鍍膜技術(shù)中的熱點問題，容5單擊此處添加標(biāo)題此處添加內(nèi)容此處添加內(nèi)容內(nèi)容此處添加內(nèi)容此處添加內(nèi)容此處添加內(nèi)容此處添加內(nèi)容此處添加內(nèi)容此處添加內(nèi)容此處添加內(nèi)容此處添加內(nèi)容此處添加內(nèi)容內(nèi)容內(nèi)容內(nèi)容6單擊此處添加標(biāo)題標(biāo)題文字內(nèi)容單擊此處添加段落文字內(nèi)容單擊此處添加段落文字內(nèi)容單擊此處添加段落文字內(nèi)容單擊此處添加段落文字內(nèi)容單擊此處添加段落文字內(nèi)容單擊此處添加段落文字內(nèi)容標(biāo)題文字標(biāo)題文字標(biāo)題文字標(biāo)題文字標(biāo)題文字標(biāo)題文字90%單擊此處添加段落文字內(nèi)容單擊此處

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