高真空機(jī)組項(xiàng)目設(shè)計方案（含設(shè)計圖）及有關(guān)匯總

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1、高真空機(jī)組項(xiàng)目設(shè)計方案（含設(shè)計圖）一、分子泵機(jī)組I設(shè)計方案1、主要技術(shù)指標(biāo)1）極限壓力：≤5×10-5Pa2）抽氣速率：1400L/S3）裝置與真空室連接：DN250（CF250接口，向上水平）2、分子泵機(jī)組I結(jié)構(gòu)圖3、主要配置說明1）P2：直聯(lián)式真空泵3臺2）P1：分子泵2臺3)VI：氣動高真空插板閥2個4)V2：氣動高真空擋板閥（不銹鋼）2個5)G1G2：電阻、電離復(fù)合真空計2臺6)過度管道（長250mm，法蘭DN250）2根7)不銹鋼波紋管（長1m）2根8)控制柜（三項(xiàng)集成）1套9)電源、測量、控制線（50米）配套相符二、分子泵機(jī)組II

2、設(shè)計方案1、主要技術(shù)指標(biāo)1）極限壓力：≤5×10-5Pa2）抽氣速率：450L/S3）裝置與真空室連接：DN150（CF150接口，向上方向）2、分子泵機(jī)組II結(jié)構(gòu)圖3、主要配置說明1）P2：型直聯(lián)式真空泵1臺2)P1：型分子泵1臺3）VI：氣動高真空插板閥1個4）V2：氣動高真空擋板閥（不銹鋼）2個5）G1G2：電阻、電離復(fù)合真空計1臺6）過度真空管道等（長250mm，法蘭DN150）1根7）不銹鋼波紋管1根8）電源、測量、控制線（50米）配套相符