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1、第十五章平板顯示器中的薄膜技術(shù)與薄膜材料平板顯示器顯示技術(shù)：將電信號(hào)變換成可見(jiàn)光信號(hào)的技術(shù)。平板顯示器(FPD)：FlatPanelDisplay，一般是指顯示器的深度小于顯示屏幕對(duì)角線1/4長(zhǎng)度的顯示器件。平板顯示器電子顯示器件顯示器的分類(lèi)—液晶顯示器LCDLCD顯示原理：通過(guò)給液晶施加一個(gè)電場(chǎng)，改變它的分子排列，配合偏振光片，它就具有阻止光線通過(guò)的作用，再配合彩色濾光片，改變加給液晶電壓大小，就能改變某一顏色透光量的多少，也就是說(shuō)通過(guò)改變液晶兩端的電壓就能改變它的透光度和光的波長(zhǎng)，達(dá)到顯示出圖像的效果。背光源(加電壓)(不加電壓)液晶顯示器LCD有源矩陣驅(qū)動(dòng)LCD(A
2、M-LCD)器件結(jié)構(gòu),ITO電極,ITO電極類(lèi)似開(kāi)關(guān)，可控制IC中信號(hào)電壓，進(jìn)而決定LC分子偏轉(zhuǎn)角度。由RGB三種過(guò)濾片組成,通過(guò)三者混合調(diào)節(jié)顏色與亮度。讓光線單向通過(guò)液晶顯示器LCDAM-LCD中的開(kāi)關(guān)元件：TFT薄膜晶體管(TFT)是AM-LCD中非常重要的一個(gè)部件，它的作用類(lèi)似于一個(gè)開(kāi)關(guān)。TFT的溝道中所采用的半導(dǎo)體薄膜主要為：a-Si:H和poly-Si。采用a-Si:HTFT的AM-LCD在a-Si:HTFT中，柵絕緣膜(SiN)/溝道膜層(a-Si:H)以及刻蝕掩膜(SiN)、電導(dǎo)n+膜(P摻雜的a-Si:H)、最終保護(hù)膜(SiN)等都用等離子體CVD沉積制備
3、。像素電極用的透明導(dǎo)電膜(ITO)，電極、布線(Cr、Al、Ti、Mo等)，絕緣膜(TaOx)等多采用射頻磁控濺射法沉積。液晶顯示器LCDAM-LCD中的開(kāi)關(guān)元件：TFT采用poly-SiTFT的AM-LCD相比a-Si:HTFT，以poly-Si為溝道層的TFT具有多種優(yōu)勢(shì)，如無(wú)光電導(dǎo)現(xiàn)象、遷移率大、能制作p型溝道等；且目前已可在玻璃基板、低溫條件下制備poly-SiTFT。制備低溫poly-SiTFT的關(guān)鍵是溝道層材料Si薄膜的制備。一般以SiH4或Si2H6為原料氣體，通過(guò)PECVD或LPCVD制備出非晶或微晶Si薄膜(300~550?C)，再經(jīng)退火處理得到poly
4、-Si薄膜。低溫poly-SiTFT的柵絕緣膜為PECVD法制備的SiN膜或者NPCVD/PECVD法制備的SiO2膜。液晶顯示器LCDLCD顯示屏的封裝技術(shù)封裝：即將驅(qū)動(dòng)電路等于液晶屏組裝成器件，實(shí)現(xiàn)最終的顯示功能。QFP：四邊扁平封裝COB：板上芯片TAB：帶載自動(dòng)鍵合COG：玻璃上芯片COF：膜上芯片封裝形式液晶顯示器LCDLCD顯示屏的封裝技術(shù)COG：將IC元件以裸芯片的形式直接貼裝在作為液晶盒構(gòu)成部分的同一玻璃基板上。需要利用薄膜技術(shù)在芯片電極上形成凸點(diǎn)，在ITO布線上形成電極，以保證可靠的電氣連接。COG關(guān)鍵技術(shù)是采用了各向異性導(dǎo)電膜(ACF)。ACF的兩大作
5、用：1)將芯片固定粘結(jié)在玻璃基板上；2)實(shí)現(xiàn)電氣連接。液晶顯示器LCDLCD技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)：低壓，微功耗平板型結(jié)構(gòu)顯示信息量大易于彩色化長(zhǎng)壽命無(wú)輻射，無(wú)污染LCD技術(shù)的缺點(diǎn)：顯示視角小(目前已基本解決)響應(yīng)速度慢(毫秒級(jí))屏幕均勻性差色彩不夠豐富對(duì)環(huán)境溫度要求比較高非主動(dòng)發(fā)光，需要背光源LCD的進(jìn)展實(shí)用IPS(面內(nèi)切換)技術(shù)和PVA(利用電極花樣的垂直取向模式)技術(shù)，視角問(wèn)題得到解決；選用低粘稠度液晶，將驅(qū)動(dòng)電路改為過(guò)驅(qū)動(dòng)，提高了響應(yīng)速度；改造工藝保證了大平板的質(zhì)量，較少了掩膜次數(shù)；改變器件結(jié)構(gòu)，綜合布線，集成器件，減小了整機(jī)體積。液晶顯示器LCD等離子體平板顯示器PDPPD
6、P工作原理：PDP采用等離子管(放電胞)作為發(fā)光元件，每一個(gè)等離子管對(duì)應(yīng)一個(gè)像素。屏幕以玻璃作為基板，基板間的封閉放電空間內(nèi)充入Ne、Xe等混合惰性氣體。玻璃基板的內(nèi)側(cè)面上涂有ITO薄膜激勵(lì)電極用于加電壓?；旌蠚怏w在電信號(hào)作用下發(fā)生等離子體放電，放電產(chǎn)生的紫外線激發(fā)涂有紅綠藍(lán)熒光粉的熒光屏，進(jìn)而發(fā)射出可見(jiàn)光，顯現(xiàn)出圖像。等離子體平板顯示器PDPITO膜Cr-Cu-Cr、Cr-Al、Ag薄膜等MgO薄膜Al/Ag薄膜PDP結(jié)構(gòu)圖等離子體平板顯示器PDPMgO薄膜AC型PDP前玻璃板上的保護(hù)膜，決定了顯示屏的電子特性，而且很大程度上左右著屏的壽命。PDP中的常用保護(hù)膜材料是M
7、gO，具有以下特性：耐離子濺射二次電子發(fā)射系數(shù)高放電起始電壓和放電維持電壓低光透過(guò)性好表面絕緣性能優(yōu)良電子束蒸鍍法成膜速率高，可保證MgO膜的質(zhì)量（壽命達(dá)2~3萬(wàn)小時(shí)），是目前PDP用保護(hù)膜的主要制備方法。等離子體平板顯示器PDPPDP的特點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)：（1）容易實(shí)現(xiàn)大屏幕和超大屏幕;（2）可視角大（達(dá)160度以上）;（3）響應(yīng)時(shí)間小，運(yùn)動(dòng)圖像拖尾時(shí)間短，動(dòng)態(tài)清晰度高（優(yōu)于LCD電視機(jī)）;（4）PDP為主動(dòng)發(fā)光型(不像LCD采用背光源)，采用R、G、B三色熒光粉自發(fā)光，因此具有：亮度高；對(duì)比度高；色域覆蓋率大，彩色還原特性好，顯示圖
