esd測試項目操作規(guī)范

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1、程序文件：靜電接地系統(tǒng)操作規(guī)范版本：A文件編號:XA/QWI/7.5.3/14第-13-頁共13頁生效日期:2012-9-11.0目的:規(guī)范ESD測試項目正確的測量作業(yè)步驟和方法，減少因不同人員測量方法上的差異，而影響實際量測數(shù)值之精確度。2.0適用范圍:適用本公司靜電防護(hù)區(qū)域所有需測試項目。3.0定義:3.1EPA：ElectrostaticdischargeProtectedArea靜電防護(hù)區(qū)域3.2表面電阻：在一給定的通電時間之后，施加于材料表面上的標(biāo)準(zhǔn)電極之間的直流電壓對于電極之間的電流的

2、比值，在電極上可能的極化現(xiàn)象忽略不計。3.3體積電阻：在一給定的通電時間之后，施加于與一塊材料的相對兩個面上相接觸的兩個引入電極之間的直流電壓對于該兩個電極之間的電流的比值，在該兩個電極上可能的極化現(xiàn)象忽略不計。4.0權(quán)責(zé):4.1IQC負(fù)責(zé)靜電敏感組件來料包材及自購料輔助材料之入廠檢測項目；4.2行政科負(fù)責(zé)設(shè)備接地主線、靜電接地主線、接地樁和防靜電地板對地電阻項目測試；4.3各部門負(fù)責(zé)靜電皮/墊、靜電扣、靜電環(huán)、靜電鞋、靜電服/帽、流水線體、工作臺、料架/周轉(zhuǎn)車、防靜電工作椅、離子風(fēng)機(jī)、靜電地板表

3、面、電烙鐵、電動起子等項目測試；4.4各EPA部門主管負(fù)責(zé)監(jiān)督本部門人員進(jìn)入EPA靜電環(huán)和人體綜合電阻測試；4.5各EPA部門主管負(fù)責(zé)監(jiān)控本區(qū)域環(huán)境溫濕度并記錄；4.6各測試項目負(fù)責(zé)部門保存相關(guān)測試記錄；4.7各部門負(fù)責(zé)本部門ESD測試設(shè)備的維護(hù)與保養(yǎng)。5.0內(nèi)容：5.1包材/生產(chǎn)周轉(zhuǎn)輔材表面阻抗測試：5.1.1IQC負(fù)責(zé)供應(yīng)商靜電敏感組件來料之內(nèi)包裝材料入廠檢測，以及氣泡袋、保護(hù)膜自購料等包裝輔助材料之入廠檢測，測試設(shè)備使用重錘測試儀，被測件需放于絕緣臺上，絕緣臺的表面電阻和體積電阻均要大于1*

4、1013Ω，其幾何周邊尺寸均大于被測材料100mm，且兩錘之間的間距不小于300mm，測試方法如下：1）重錘測試儀測試線如下圖方式連接，將兩錘分別放置于被測材料表面；程序文件：靜電接地系統(tǒng)操作規(guī)范版本：A文件編號:XA/QWI/7.5.3/14第-13-頁共13頁生效日期:2012-9-12）按住紅色按鈕“TEST”鍵并保持開始測試，直至上面LED不跳動并讀數(shù)，LED假如在108下方，則表示被測材料表面電阻為108Ω；3）防靜電包裝材料表面阻抗規(guī)格具體如下：ESSD來料包裝輔材：＜1*1010Ω，

5、氣泡袋：1*104~1*1011Ω；保護(hù)膜：＜1*109Ω；泡棉墊＜1*1010Ω,Tray盤:1*104~1*1011Ω檢驗員需將測量結(jié)果記錄于檢驗報告中。5.2靜電皮/墊與靜電線導(dǎo)通、表面阻抗測試；靜電支線（含靜電扣）導(dǎo)通測試：5.2.1各部門負(fù)責(zé)靜電皮之體積電阻和表面阻抗測試，測試設(shè)備使用重錘測試儀，測試方法與步驟如下：1）重錘測試儀測試線如下圖方式連接，表面電阻測試如下左圖所示將兩錘分別放置于被測材料表面，兩錘之間的間距不小于300mm；體積電阻測試如下右圖所示將一錘放置于被測靜電皮上，另

6、一錘放置于靜電地板上，測靜電皮體積電阻時工作臺本身對地電阻需滿足標(biāo)準(zhǔn)要求（工作臺對靜電地板電阻測試見5.4），兩錘之間的間距不小于500mm；程序文件：靜電接地系統(tǒng)操作規(guī)范版本：A文件編號:XA/QWI/7.5.3/14第-13-頁共13頁生效日期:2012-9-12）按住紅色按鈕“TEST”鍵并保持開始測試，直至LED不跳動并讀數(shù)；3）靜電皮/墊之體積電阻和表面阻抗規(guī)格為1*104～1*109Ω，測試結(jié)束后即將測試值記錄于【靜電皮阻抗測試記錄表】上，并注明測試日期，各部門負(fù)責(zé)記錄之保存。5.2.

7、2各部門負(fù)責(zé)靜電支線（靜電扣）導(dǎo)通測試，測試設(shè)備使用萬用表，測試方法與步驟如下：1）打開萬用表開關(guān)，將測試檔位調(diào)整到“200Ω”檔；2）將萬用表的測試線一端接觸一靜電支線，另一測試線端接觸另一靜電支線金屬線部位，讀取電阻值。3）測試完關(guān)閉萬用表開關(guān)。4）各部門測試人員需將測試數(shù)據(jù)記錄于【靜電線阻抗測試記錄表】并保存，測試結(jié)果如大于4Ω，各部門自行負(fù)責(zé)進(jìn)行檢修5.2.3測量結(jié)果記錄于檢驗報告中，測試結(jié)果如判定合格，需在被測物上貼上測試合格標(biāo)簽，并注明測試有效期限，如測試后判定不合格，由各部門負(fù)責(zé)進(jìn)行

8、檢修或按更換，修理或更換后需經(jīng)再測試合格后方可投入使用。測試靜電支線導(dǎo)通測試萬用表兩側(cè)頭測試置位置5.3靜電服/帽子/手套表面阻抗測試：5.3.1各部門負(fù)責(zé)靜電服和帽子之表面阻抗測量，測試設(shè)備使用重錘測試儀，被測件需放于絕緣臺上，絕緣臺的表面電阻和體積電阻均要大于1*1013Ω，要有足夠的尺寸，點對點測量至少要測量3個不同位置的值，且兩錘之間的間距不小于300mm，點對點表面阻抗測量是指內(nèi)表面和外表面之間的電阻，測試方法與步驟如下：1）準(zhǔn)備工作：被測試靜電服/帽子應(yīng)預(yù)先洗凈。洗滌后