電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材

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1、電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材編制說明（審定稿）2014.10.087電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)編制說明一、工作簡(jiǎn)況1.1產(chǎn)品簡(jiǎn)況高純鎢及鎢合金濺射靶材由于具有高的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能和抗氧化性能，已被成功地應(yīng)用于電子薄膜布線的擴(kuò)散阻擋層，并且由高純鎢及鎢合金濺射靶材制備的各種薄膜如WOx-TOx、W-Ti-O和W-Ti-N等也在半導(dǎo)體行業(yè)和太陽能行業(yè)濺射鍍膜方面得到了廣泛的研究和應(yīng)用。目前65納米級(jí)、45納米以下級(jí)的線寬代表了最先進(jìn)的半導(dǎo)體芯片制程，同時(shí)也是最為主流且將會(huì)成為主要半導(dǎo)體芯片制造業(yè)的

2、布線技術(shù)，這些級(jí)別的布線均采用的是超高純銅材料，超高純銅材質(zhì)的芯片布線已經(jīng)占據(jù)了市場(chǎng)主導(dǎo)地位，而與銅布線配套使用的阻擋層材料高純鎢及鎢合金濺射靶材的消耗量逐漸增加，因此高純鎢及鎢合金濺射靶材成為靶材制備研究的熱點(diǎn)之一，也越來越成為集成電路行業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。但國(guó)內(nèi)電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材的生產(chǎn)仍處于初級(jí)階段，還沒有相應(yīng)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，很大程度上制約了國(guó)內(nèi)電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材的研發(fā)、制作及工業(yè)化生產(chǎn)。因此，需要制定相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)，以促進(jìn)現(xiàn)有產(chǎn)品質(zhì)量的提高，確保電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材的檢測(cè)規(guī)范統(tǒng)一，符合統(tǒng)一

3、標(biāo)準(zhǔn)。1.2項(xiàng)目來源根據(jù)工信部《工業(yè)和信息化部辦公廳關(guān)于印發(fā)2013年第二批行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂計(jì)劃的通知》（工信廳科[2013]102號(hào)）精神，有色標(biāo)委【[2013]19】號(hào)“關(guān)于轉(zhuǎn)發(fā)2013年第一批有色金屬國(guó)家、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制（修）訂項(xiàng)目計(jì)劃的通知”文下達(dá)本標(biāo)準(zhǔn)的制定任務(wù)，由寧波江豐電子材料股份公司負(fù)責(zé)起草制定《電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材》有色行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，項(xiàng)目計(jì)劃編號(hào)為2013-0379T-YS，計(jì)劃完成年限2014年。1.3承擔(dān)單位情況及主要工作過程1.3.1承擔(dān)單位情況寧波江豐電子材料股份有限公司是2005年由海外高層

4、次歸國(guó)留學(xué)人員創(chuàng)建的一家高科技企業(yè)，專業(yè)從事集成電路制造用超高純金屬材料及濺射靶材的研發(fā)與生產(chǎn)。江豐電子是國(guó)家科技部、發(fā)改委及工信部重點(diǎn)扶植的高新技術(shù)企業(yè)，先后承擔(dān)了國(guó)家02重大專項(xiàng)、國(guó)家863引導(dǎo)和重點(diǎn)項(xiàng)目、發(fā)改委高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、工信部電子發(fā)展基金等國(guó)家級(jí)科研及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。填補(bǔ)了我國(guó)在這一領(lǐng)域的技術(shù)及產(chǎn)業(yè)空白，打破了我國(guó)集成電路制造業(yè)同類產(chǎn)品長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的局面。經(jīng)過97年的創(chuàng)業(yè)歷程，江豐電子已經(jīng)進(jìn)入快速發(fā)展的軌道，銷售年平均增長(zhǎng)速度達(dá)70%以上，目前已成為國(guó)內(nèi)材料最齊全、工藝最完整、設(shè)備能力最強(qiáng)、產(chǎn)能最大的超高純度金

5、屬材料及濺射靶材生產(chǎn)基地，產(chǎn)品覆蓋了半導(dǎo)體芯片制造、平板液晶顯示及薄膜太陽能電池用高端物理氣相沉積工藝（PVD）用材料。江豐電子產(chǎn)品成功進(jìn)入國(guó)際主流半導(dǎo)體制造企業(yè)，銷售網(wǎng)絡(luò)覆蓋歐洲、北美及亞洲各地。產(chǎn)品的大量出口打破了美國(guó)、日本企業(yè)在市場(chǎng)上的壟斷格局，江豐電子在此行業(yè)已經(jīng)成為唯一一家能與跨國(guó)公司競(jìng)爭(zhēng)的中國(guó)企業(yè)。江豐電子十分注重技術(shù)研發(fā)及人才培養(yǎng)，擁有完整自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和核心技術(shù)，截至2014年4月底，公司累計(jì)申請(qǐng)專利279項(xiàng)，其中授權(quán)專利130項(xiàng)，其中發(fā)明專利85項(xiàng)，擁有了Al、Ti、Cu、Ta等多種金屬材料，覆蓋靶材全工

6、藝流程的完整自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。產(chǎn)品榮獲“中國(guó)半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎(jiǎng)”、“中國(guó)電子學(xué)會(huì)電子信息科學(xué)技術(shù)三等獎(jiǎng)”、“國(guó)家戰(zhàn)略性創(chuàng)新產(chǎn)品”，并作為國(guó)家重大科技成果在2011年“兩會(huì)”期間參加國(guó)家“十一五”重大科技成果展，接受國(guó)家領(lǐng)導(dǎo)人的檢閱。江豐電子已通過國(guó)家ISO9000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001環(huán)境管理體系認(rèn)證、汽車行業(yè)TS16949質(zhì)量管理體系認(rèn)證，并獲得Sony綠色合作伙伴認(rèn)證。1.3.2主要工作過程自寧波江豐電子材料股份有限公司接到標(biāo)準(zhǔn)制定任務(wù)后，便組織相關(guān)技術(shù)人員，成立了標(biāo)準(zhǔn)編制修訂小組，查閱和檢索了國(guó)內(nèi)外有關(guān)技術(shù)

7、標(biāo)準(zhǔn)和資料，并征求了相關(guān)生產(chǎn)和使用企業(yè)的意見，作為建立本技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)依據(jù)。同時(shí)也考慮了國(guó)內(nèi)生產(chǎn)、加工能力和分析水平等實(shí)際情況，于2014年5月完成討論稿。2014年5月28日～29日，由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)委員會(huì)組織，在遼寧省大連市召開了《電子薄膜用高純鎢及鎢合金濺射靶材》行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)討論會(huì)。來自全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)、寧波江豐電子材料股份有限公司、有研億金新材料有限公司、西北有色金屬研究院、大連融德特種材料有限公司等公司及代表對(duì)該標(biāo)準(zhǔn)討論稿進(jìn)行了認(rèn)真細(xì)致的討論，并形成會(huì)議紀(jì)要，編制組對(duì)代表所提意見進(jìn)行了歸納整理，并

8、對(duì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了如下認(rèn)證修訂：序號(hào)修改要求改進(jìn)方案1英文題目部分“sputtering”應(yīng)跟在“target”前面；各單詞只需首字母大寫；題目改為“High-puritytungstenandtungstenalloysputteringtargetusedinelectronicfilm”2引用標(biāo)準(zhǔn)文件按順序排列；引用