太陽能多晶硅片的檢測

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1、天威新能源(成都)硅片有限公司文件編號(hào)TNG.JJY.015-2009版次A硅片檢驗(yàn)規(guī)程生效日期2009年02月10日1目的為加強(qiáng)成品質(zhì)量控制，規(guī)范成品檢驗(yàn)方法及步驟，特制定此規(guī)程。2范圍本文件規(guī)定了對成品進(jìn)行檢驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)等。本文件適用于硅片公司品管部硅片分選包裝檢驗(yàn)員。3設(shè)備、工模具、材料Manz硅片分選設(shè)備、PVC手套、標(biāo)簽打印機(jī)、工作臺(tái)、包裝盒、包裝箱、封口膠帶等。4內(nèi)容4.1檢驗(yàn)方式4.1.1外觀全檢，即對全部生產(chǎn)的硅片外觀逐件用肉眼進(jìn)行檢測，從而判斷每一件產(chǎn)品是否合格。4.1.2電學(xué)及其他性能抽檢，每個(gè)硅塊抽取200片用Man

2、z硅片分選設(shè)備對其導(dǎo)電類型、電阻率、、厚度、TTV、少子壽命等進(jìn)行檢驗(yàn)。在有特殊要求時(shí)，按一定比例對硅片的氧碳含量進(jìn)行抽檢。4.2檢驗(yàn)步驟a)每個(gè)硅塊抽取200片用Manz硅片分選設(shè)備對其導(dǎo)電類型、電阻率、少子壽命等進(jìn)行檢驗(yàn)；b)在抽檢的200片當(dāng)中如果有30及30片以上的硅片（導(dǎo)電類型、電阻率、厚度、TTV、少子壽命等不符合要求硅片數(shù)的總計(jì)）不滿足4.3中相關(guān)要求，則對該硅塊所有的硅片用Manz硅片分選設(shè)備進(jìn)行檢驗(yàn)，之后再對所有硅片進(jìn)行外觀上的檢驗(yàn)；c)在抽檢的200片當(dāng)中如果只有30片以下的硅片（導(dǎo)電類型、電阻率、厚度、TTV、少

3、子壽命等不符合要求硅片數(shù)的總計(jì)）不滿足4.3中相關(guān)要求，則將這些硅片判定為導(dǎo)電類型不符、電阻率不符等，該硅塊其他硅片不再進(jìn)行導(dǎo)電類型、電阻率、厚度、TTV、少子壽命等的檢驗(yàn)，連同抽檢的200片硅片中剩下的硅片進(jìn)行外觀上的全檢；例如：如某一硅塊理論切片數(shù)為535片，抽檢了200片，當(dāng)中有29片不滿足4.3中相關(guān)要求。則將29片判定為導(dǎo)電類型不符、電阻率不符等，剩下的171（200-29）片連同前面的335片（535-200）進(jìn)行外觀上的全檢；編制：校對：審核：標(biāo)準(zhǔn)化：批準(zhǔn)：發(fā)送部門份數(shù)第5頁共5頁天威新能源(成都)硅片有限公司文件編號(hào)T

4、NG.JJY.015-2009版次A硅片檢驗(yàn)規(guī)程生效日期2009年02月10日a)依據(jù)4.3中相關(guān)要求對硅片進(jìn)行分類。4.3技術(shù)要求按質(zhì)量要求將硅片分為A級(jí)硅片、B級(jí)硅片、C級(jí)硅片、D級(jí)硅片四級(jí)，如下表1。其中將A級(jí)硅片按電阻率分為A1（0.5～3Ω.cm），A2（3～6Ω.cm）2個(gè)類別，B級(jí)硅片按部分性能不滿足A級(jí)硅片要求分為B1，B2，B3，B4，B5，…，B9共9種類別；C級(jí)硅片指由清洗、檢測和包裝過程中產(chǎn)生的碎片，經(jīng)判定能將其劃成一定尺寸的小規(guī)格硅片（如125mm×125mm），其他檢驗(yàn)參數(shù)符合A級(jí)硅片標(biāo)準(zhǔn)。具體要求見下表。

5、硅片公司按A級(jí)硅片生產(chǎn)，允許按用戶要求提供B級(jí)硅片或是C級(jí)硅片。表1太陽能多晶硅片質(zhì)量等級(jí)分類方法序號(hào)檢驗(yàn)項(xiàng)目ABCD檢測方法檢驗(yàn)方式A1A2B1、B2、B3…B91導(dǎo)電類型PP可劃片（不合格產(chǎn)品），但在劃為小規(guī)格尺寸（125×125）硅片后，其他性能符合A級(jí)硅片標(biāo)準(zhǔn)不合格產(chǎn)品，即不滿足A、B、C級(jí)要求的硅片均歸為D級(jí)硅片分選設(shè)備抽檢2隱裂、針孔無隱裂、無針孔無隱裂、無針孔硅片分選設(shè)備抽檢3崩邊長度≤1mm，深度≤0.5mm，每片崩邊總數(shù)≤2處；長度≤1mm，深度≤0.5mm，每片崩邊總數(shù)≤2處；B1—1mm＜崩邊長度≤5mm，1mm

6、＜深度≤2mm，1＜崩邊總數(shù)≤3目測全檢4TTV≤30μm≤30μmB2—30μm＜TTV≤50μm；硅片分選設(shè)備抽檢5厚度200±20μm200±20μmB3—厚度偏差超過±20μm但小于±40μm硅片分選設(shè)備抽檢6尺寸156±0.5mm156±0.5mmB4—硅片尺寸偏差超過±0.5mm但小于±1.0mm硅片分選設(shè)備抽檢7倒角1±0.5mm、45°±10o1±0.5mm、45°±10oB5—倒角尺寸偏差超過±0.5mm但小于±0.8mm硅片分選設(shè)備抽檢8線痕深度≤8μm深度≤15μmB6—15μm＜深度≤30μm目測、必要時(shí)使用表

7、面粗糙度儀幫助判定全檢9電阻率0.5-3Ω?cm；3-6Ω?cm0.5-3Ω?cm；3-6Ω?cmB7—電阻率＜0.5Ω.cm硅片分選設(shè)備抽檢10少子壽命≥2μs≥2μsB8—0.5μs≤少子壽命＜2μs少子壽命測試儀按硅塊檢驗(yàn)規(guī)程進(jìn)行抽檢第5頁共5頁天威新能源(成都)硅片有限公司文件編號(hào)TNG.JJY.015-2009版次A硅片檢驗(yàn)規(guī)程生效日期2009年02月10日續(xù)表1序號(hào)檢驗(yàn)項(xiàng)目ABCD檢測方法檢驗(yàn)方式A1A211表面質(zhì)量狀況硅片表面及側(cè)面無凹坑，無沾污，無氧化，無穿孔，無裂紋，無劃傷；硅片表面及側(cè)面無凹坑，無明顯沾污（表面沾污

8、總面積小于3mm2，每一百片單邊側(cè)面沾污總面積小于20mm2）（判斷時(shí)參照沾污樣本片進(jìn)行判定），無氧化，無穿孔，無裂紋，無劃傷；B9—硅片表面有沾污但硅片顏色不發(fā)黑；油點(diǎn)或其他贓物不得有3處，每處沾污或其他贓物面積≤1m