功能梯度薄膜的脈沖激光沉積研究進(jìn)展

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1、------------------------------------------------------------------------------------------------功能梯度薄膜的脈沖激光沉積研究進(jìn)展10  《激光雜志》2004年第25卷第5期 LASERJOURNAL(Vol.25.No.5.2004)何建平1,江 超1,2,胡少六1,王又青1(1.華中科技大學(xué)激光技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,武漢 430074;2.湖北師范學(xué)院物理系,湖北黃石 435002)提要:介紹了功能梯度薄膜材料的特點(diǎn)和應(yīng)用;比較了功能梯度薄膜常用制備方法;概

2、括了功能梯度薄膜制備中的摻雜技術(shù)并給出了脈  沖激光沉積功能梯度薄膜的模型;論述了脈沖激光沉積技術(shù)在制備功能梯度薄膜材料方面的應(yīng)用與最新進(jìn)展。關(guān)鍵詞:功能梯度薄膜;摻雜技術(shù);脈沖激光沉積中圖分類號(hào):O484.1 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼:A 文章編號(hào):0253-2743(2004)05-0010-04Progressofpulsed-laserdepositionoffunctiongradientthinfilmHEJian-ping1,JIANGChao1,2,HUShao-liu1,WANGYou-qing11.StateKeyLaboratoryofLaser

3、Technology,HuazhongUniversityofScienceandTechnology,Wuhan430074,China2.DepartmentofPhysics,HubeiNormalUniversity,Huangshi 435002,China——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------Abstract:The

4、characteristicandtheapplicationoffunctiongradientthinfilmisintroduced,comparingtotheeverymethodofpreparingthefunctiongradientthinfilm,generalizingthedopingtechnologyofpreparingthefunctiongradientthinfilmandpresentingthemodelofpulsedlaserdepositionfilm.Theapplicationandthelatestpr

5、ogressofpulsedlaserdepositionthefunctiongradientthinfilmisdiscussed.Keywords:functiongradientthinfilm;dopingtechnology;pulsedlaserdeposition1 功能梯度薄膜材料的提出20世紀(jì)80年代以來,隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展,對(duì)材料的性能要求越來越高,特別是在極限環(huán)境下(超高溫、超低溫、超高壓、超音速和極高真空度等)工作的零件要求有特殊的性能。國(guó)內(nèi)外學(xué)者除了深入地從工程技術(shù)方面完善已有的材料之外,又從理論上陸續(xù)提出了許多新的材料概

6、念,并努力在實(shí)踐中制備出一些具有特殊性能的新材料,來滿足在各種特殊環(huán)境下工作的零件的性能要求。而且在許多領(lǐng)域中具有單一功能的材料已不能滿足需要,要求具有多種功能的材料來代替。1984年,日本學(xué)者新野正之、平井敏雄和渡邊龍三等首1〕(FunctionaryGradientMaterials,簡(jiǎn)先提出功能梯度材料概念〔稱FGM)。所謂FGM是指組份、結(jié)構(gòu)、性能等,隨空間或時(shí)間連——————————————————————————————————————------------------------------------------------------

7、------------------------------------------續(xù)變化或階梯變化的高性能材料。我國(guó)武漢工業(yè)大學(xué)袁潤(rùn)章教授在1984年前后也提出了功能梯度材料的概念,并在金屬-陶瓷復(fù)合刀具的研究中開始了這方面的工作。隨后,國(guó)內(nèi)許多單位在材料設(shè)計(jì)、工藝合成和評(píng)估等方面作了2〕大量的工作,取得了可喜的成果〔??茖W(xué)家研究表明,自然界有許多物質(zhì),如貝殼、骨、竹、樹木等其組織和結(jié)構(gòu)在內(nèi)部是連續(xù)變化的,隨之相伴的功能也是連續(xù)變化的(功能梯2〕度)〔,功能梯度材料就是根據(jù)自然界的這一現(xiàn)象提出的。在功能梯度材料的啟示下,又派生出了功能梯度薄膜的概念。功

8、能梯度薄膜材料也就是使成份、組織從基體到表面呈無界面連續(xù)變化。功能梯度薄膜與一般

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