聲表面波器件的模擬與仿真

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1、天津理工大學(xué)碩士學(xué)位論文聲表面波器件的模擬與仿真姓名：朱樹(shù)眾申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：物理電子學(xué)指導(dǎo)教師：楊保和201112 模型、????／??????多層膜結(jié)構(gòu)的頻散效應(yīng)、聲表面波器件的有限元仿真等內(nèi)容。其主要工作包括：曲線。此外，我們還詳細(xì)介紹了????和????鷒?材料常數(shù)的計(jì)算。聲表面波有限元多層膜克里斯托夫方程諧振器 ??????????????????????????曲???????甌?????????????????????????????????／?????????????現(xiàn)???????印??????????????????

2、?甧??????????／???????????舯?????隔?緎?????????’????????????甧????川?譽(yù)?肛髑．???痵????叮?????噦?????．?????????餷???．?????舭?鋤?????籹?????????鷇?????縨?????，????籹??；?仔????????觚???，?—????????????????? 第一章緒論和波長(zhǎng)小十萬(wàn)倍，這對(duì)實(shí)現(xiàn)電子器件的小型化很有利；和可靠性：要無(wú)線頻譜寬度更大和通信頻段更高。聲表面波器件因具有寬帶大、通帶選擇性良好、?世紀(jì)?年代前，廣范采用金屬外殼封裝形式的

3、聲表面波器件，后來(lái)，為了降低 第一章緒論??聲表面波的發(fā)展概況及仿真技術(shù)研究現(xiàn)狀系統(tǒng)。聲表面波識(shí)別系統(tǒng)也在此階段問(wèn)世。研究。浙江大學(xué)的朱大中教授等在??年提出?退??飛?礱娌ㄆ骷】，在??年人主要從事金剛石多層膜結(jié)構(gòu)的聲表面波器件的研究，這些年來(lái)在這方面取得了不小的成就??長(zhǎng)度，???納?ㄔ叢詿怪庇誆嬤傅緙ǖ姆較蚍⑸瀋?礱娌ā璊。?????熱擻???暝?函數(shù)模型基礎(chǔ)上提出了脈沖響應(yīng)模型。又指的幾何結(jié) 第一章緒論和能量存儲(chǔ)效應(yīng)。該模型用體聲波的梅森????刃У緶防疵枋鯯?器件，將繁?扒鷗將其用來(lái)分析聲表面?岢鯬矩陣模型，該模型是耦合模模型的系

4、數(shù)矩陣形式。通過(guò)周期格林函數(shù)，可以求解出周期柵陣中的電荷分布和電流，還可以分析周期柵陣中置的電學(xué)量和力學(xué)量。這也是有限元一邊界元法的核心【??思想。踟?盚?????步杓鳥(niǎo)????對(duì)周期柵陣的解決辦法與廣義格林函數(shù)的方法， 第一章緒論表面波器件的零頻率帶寬進(jìn)行了分析，后來(lái)又對(duì)傳統(tǒng)等效電路模型引入相速度頻散因果更加相符。??選題的依據(jù)及研究?jī)?nèi)容制作高頻聲表面波器件，有兩個(gè)方向努力：一，發(fā)展更加先進(jìn)的半導(dǎo)體平面工藝，制作多層膜結(jié)構(gòu)具有頻散效應(yīng)，器件性能受膜厚的響應(yīng)較大，因此，對(duì)多層膜結(jié)構(gòu)聲表 第一章緒淪面波器件的精確仿真模型進(jìn)行研究具有重大意義。本

5、文主要圍繞聲表面波諧振器展開(kāi)，有關(guān)的仿真也主要以諧振器為主。本論文主要完成工作如下：有良好的頻率選擇性。在第四章，我們建立了????／????鷒?多層膜的克里斯托夫 第二章聲表麗波的基本仿真模惻第二章聲表面波的基本仿真模型母一條義捂電檄口?雜酶玫縵?咴蕩Φ那??幽毅戶(hù)輻射源采捕述，因此，中心在‘?頡緁一互?怠?萬(wàn)【?煥糒二翌—蘭?，?．??．?砌?笛脅釩隡卜半弦％?．? ??籮竺竺三竺：等筆幽工???嘗?置?‘與?的電極極性有對(duì)應(yīng)關(guān)?廠?厚姑骵??衒??萬(wàn)??】?廠?窆磊??／等硼??鈧憊鄣姆治瞿Ｐ汀Ｂ齔逑煊δＰ偷幕?舅枷朧牽篒?的●??∑?

6、一?”萬(wàn)?—???等效電路模型 第二二章聲表面波的基本仿真模型??～一一———————————————————————————————————————————————————一圖????募し⒌緋》植??真實(shí)場(chǎng)??灰宄??共線場(chǎng)一一一一～? 第：二章聲表面波的藎本仿真模刑?嘉厶?慧?去?一個(gè)周期的等效電路 第．：章聲表面波的基本仿真模刪’’’聲學(xué)端圖????瓦考丟；并聯(lián)的三端口網(wǎng)絡(luò)來(lái)描述，如圖?．?所示，其網(wǎng)絡(luò)方程為：阱?綸立元素，可表示為：】?海?藝。、???！⒈??骸?，?籏，。其獨(dú)立矩陣元的表達(dá)式為：誓?低??驢√?轡等參數(shù)，但是計(jì)算量通

7、常很大，在??納??狡德矢澆?保?綴】導(dǎo)納矩陣元可以進(jìn)一步 第一：章盧表面波的基本仿真模恥—————?!!!!??———??—一??———————————。。‘’‘—‘。。?！??！?—————————————’—一?????。≈喪????三?≈擊Ⅳ仃秒????●?篢?一．卜一÷圖???Ф似ヅ涫?，I?等效電路厶??專(zhuān)巧一專(zhuān)州?電學(xué)端的輸入導(dǎo)納：?國(guó)，?綥‰??Ⅳ?／‰????雚 玨???一???％刪?卣笫且桓?宰?木卣螅?荂?模型的系數(shù)矩陣【??。?袸?看作一個(gè)三端口圖????腜矩陣模塑??腜矩陣為：阱巨曼，掌公式中：派????????

8、????騭???．?． 第二章聲表面波的基本仿真模型??????騭?????本章小結(jié)在本章中，我們?cè)敿?xì)介紹了聲表面波唯象模型。脈沖響應(yīng)模型是聲表面波??鈧憊鄣姆治瞿