設備配置及技術規(guī)格要求

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1、設備配置及技術規(guī)格要求包A:場發(fā)射掃描電子顯微鏡1套1.工作條件1.1環(huán)境溫度20±5℃1.2相對濕度<65%1.3電源220V(±10%),50Hz1.4連續(xù)工作時間連續(xù)操作2.技術說明2.1該儀器由真空系統(tǒng)、電子光學系統(tǒng)、二次電子探測器、背散射電子探頭、能量過濾器(r-filter)、電子束減速裝置(GB)、X射線能譜等、附件和零部件組成。2.2技術參數*2.2.1分辨率1.0nm(at15kV)1.4nm(at1kV)2.2.2加速電壓：0.1kv~30kVSEM模式：0.5kv~30kvG

2、B減速模式：0.1kv~3.5kv*2.2.3電子束流最小束流≤1pA；最大束流≥1.7nA*2.2.4放大倍數x25~x1,000,000低放大模式：x25~x19,000普通放大模式：x100~x1,000,0002.3電子光學系統(tǒng)2.3.1電子槍場發(fā)射2.3.2對中自動*2.3.3光欄孔徑角最優(yōu)控制鏡標配2.3.4物鏡強勵磁圓錐形物鏡2.3.5像散器自動消像散記憶功能2.3.6r-過濾器：標配（利用二次電子探頭可以得到二次電子像和二次電子與背散射像的不同比例的混合像）2.3.7電子束減速裝置

3、（GB）：標配（可以保證低電壓下的1.4nm的分辨率）2.4樣品室和樣品臺2.4.1樣品臺全對中樣品臺*2.4.2類型五軸（X；Y；R；T；Z）馬達驅動樣品臺*2.4.3行程X≥60mm;Y≥48mm;Z≥25mm2.4.4傾斜-5~7002.4.5旋轉3600連續(xù)2.4.6樣品更換快速氣鎖更換樣品2.4.7真空系統(tǒng)2.4.7.1自動真空抽氣及診斷系統(tǒng)2.4.7.2真空度：≤10-7Pa(電子槍)；≤10-4Pa(樣品室)*2.4.7.3真空泵：分子泵（磁懸浮型）≥296L/S；機械泵≥130L/

4、Min；離子泵×3臺2.4.7.4保護：斷電、漏電、真空保護2.4.7.5帶有冷阱減小樣品污染*2.4.8主動式減震系統(tǒng)標配2.5探測器*2.5.1二次電子探頭：提供高位二次電子探頭和低位二次電子探頭（兩個探測器）*2.5.2背散射電子探頭：提供高靈敏半導體背散射電子探頭2.6X射線能譜儀性能指標2.6.1高效高分辨能譜儀探測器(電制冷，即開即用)2.6.1.1元素分析范圍:Be--Am(95)2.6.1.2探測器晶體面積:30平方毫米*2.6.1.3分辨率:優(yōu)于129eV，MnKa線,（2000

5、cps～100000cps分辨率保持不變）。C元素分辨率優(yōu)于55eV*2.6.1.4晶體類型：第五代水滴形SDD晶體，低噪音嵌入式場效應管2.6.1.5封閉式真空系統(tǒng)，無需借助SEM抽放真空。2.6.1.6開機時間：即開即用，開機30秒即可達到正常工作狀態(tài)。*2.6.1.7致冷方式：電致冷，無需液氮，無需離子泵，水冷，壓縮機等附屬致冷設備2.6.1.8工作溫度：零下25-30度。2.6.1.9日常維護：完全免維護，無任何消耗品*2.6.2.0最大輸入計數:1,000,000cps，最大輸出計數:4

6、00,000cps2.6.3X－射線分析系統(tǒng)2.6.3.1采用具有自動選擇最佳時間常數的數?；旌咸幚砥?.6.3.1.1獨立的零峰設計，自動和手動的能譜校正，處理器硬件過濾“和”峰*2.6.3.1.2數字電子束控制系統(tǒng):可與任意型號的掃描電鏡連接，保證圖像質量與電鏡圖像一致。2.6.4能譜儀分析軟件*1)方便快捷的WindowsXP操作系統(tǒng)，中英文軟件界面2)分析數據及參數采用項目文件統(tǒng)一管理；3)智能化的自動定性分析工具；自動譜峰鑒定；自動背底修正；4)定量分析系統(tǒng)，進行自動實時的背底扣除,重疊

7、峰剝離和得到定量分析結果；5)加強的Phi-Rho-Z用于最新矩陣修正計算；6)可視化的譜峰擬合剝離，有效鑒別重疊峰；7)譜圖和分析數據可一鍵轉換為Word格式文檔或PDF文檔格式2.6.5數字圖象處理軟件:1)分辨率不低于4096×3072的圖像采集和顯示，元素面分布分辨率不低于4096*30722)自動調節(jié)對比度，亮度；3)圖像數據庫，并可同時顯示圖像及其樣品信息。*2.6.6X－射線面分布軟件可采集任意數量幅的X-射線元素面分布圖；元素面分布分辨率不低于4096*30722.6.7附屬設備1

8、）主流計算機一臺2）用戶手冊、相關圖紙一套2.6.8設備的驗收及售后1）設備到貨后，賣方應在接到買方電話邀請后一周內派專業(yè)技術人員到買方現(xiàn)場負責儀器的安裝，調試。設備最終驗收在買方現(xiàn)場進行。設備安裝調試最終驗收后，由賣方專業(yè)技術人員進行現(xiàn)場免費培訓，并提供完整的中英文技術資料，包括操作使用說明手冊、維護維修手冊和電路圖等。2）儀器在買方現(xiàn)場且通過最終驗收合格后進入質保期。質保期一年。3)如在使用過程中出現(xiàn)問題時，賣方在二十四小時內進行回應，并在兩個工作日內提出解決問題方案，如需現(xiàn)場