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1、自從人類(lèi)進(jìn)入商品經(jīng)濟(jì)社會(huì)以來(lái)，貿(mào)易即已成為人們?nèi)粘；顒?dòng)的主要部分，并成為一國(guó)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)的主動(dòng)力。國(guó)際分工的深化、大量國(guó)際統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)規(guī)則的建立微電機(jī)投稿模板 篇一：清華大學(xué)學(xué)報(bào)投稿模板 一款微型靜電旋轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)計(jì) 林奎成 ?。ㄇ迦A大學(xué)精儀系，北京） 摘要：微型靜電電機(jī)是MEMS技術(shù)中一種非常重要的機(jī)械驅(qū)動(dòng)裝置，相關(guān)的研究引起了國(guó)內(nèi)外學(xué)者的高度重視。本文從原理方案設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、集總參數(shù)建模、數(shù)值仿真計(jì)算等方面對(duì)一款典型的微型靜電旋轉(zhuǎn)電機(jī)進(jìn)行了設(shè)計(jì)。結(jié)合理論推導(dǎo)公式分析了靜電旋轉(zhuǎn)電機(jī)的性能優(yōu)化方法。根據(jù)理論轉(zhuǎn)矩公式設(shè)計(jì)了電機(jī)相關(guān)尺寸參數(shù)，計(jì)算出當(dāng)最大激勵(lì)電壓為50V時(shí)
2、，其理論最大轉(zhuǎn)矩為7N·nm，滿足實(shí)際要求。采用表面微機(jī)械加工、表面刻蝕以及氣相沉積相結(jié)合的方法設(shè)計(jì)了微型靜電電機(jī)的加工工藝?！ ￡P(guān)鍵詞：微型靜電電機(jī)；集總參數(shù)；結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；表面刻蝕中圖分類(lèi)號(hào)： Designofamicroelectrostaticrotarymotor LinKuicheng (DepartmentofPrecisionInstrumentsandMechanologyTsinghuaUniversity,Beijing) Abstract:Electrostaticmicro-motorisaveryimportanttechnology
3、intheMEMSmechanical隨著信息化和全球化的發(fā)展，國(guó)家及地區(qū)之間的貿(mào)易也已成為拉動(dòng)一國(guó)經(jīng)濟(jì)的三駕馬車(chē)之一，甚至是三駕馬車(chē)之首，奧巴馬政府成立之日起自從人類(lèi)進(jìn)入商品經(jīng)濟(jì)社會(huì)以來(lái)，貿(mào)易即已成為人們?nèi)粘；顒?dòng)的主要部分，并成為一國(guó)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)的主動(dòng)力。國(guó)際分工的深化、大量國(guó)際統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)規(guī)則的建立driveunit,relatedresearchhasarousedgreatattentionofscholarshomeandabroad.Fromtheprincipleofdesign,structuraldesign,lumpedparametermodeling
4、,numericalsimulationandotheraspects，atypicalmicroelectrostaticrotarymotorisdesigned.Combiningtheoreticalformula,thisarticleanalysedtheelectrostaticrotarymotorperformanceoptimizationmethods.Accordingtothetheoreticaldesignofthemotortorqueformula,thisarticledesignedsizeparameters,calculat
5、edthatwhenthemaximumexcitationvoltageof50V,itstheoreticalmaximumtorque7N?nm,meetingtheactualrequirements.Usingsurfacemicro-machining,surfaceetchingandvapordepositionmethoddesignedofamicroelectrostaticmotorprocesses. Keywords:electrostaticmicro-motor;lumpedparameter;structuraldesign;su
6、rfaceetching 0前言隨著信息化和全球化的發(fā)展，國(guó)家及地區(qū)之間的貿(mào)易也已成為拉動(dòng)一國(guó)經(jīng)濟(jì)的三駕馬車(chē)之一，甚至是三駕馬車(chē)之首，奧巴馬政府成立之日起自從人類(lèi)進(jìn)入商品經(jīng)濟(jì)社會(huì)以來(lái)，貿(mào)易即已成為人們?nèi)粘；顒?dòng)的主要部分，并成為一國(guó)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)的主動(dòng)力。國(guó)際分工的深化、大量國(guó)際統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)規(guī)則的建立 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的發(fā)展使得眾多的工業(yè)領(lǐng)域出現(xiàn)了革命性的發(fā)展，微型電機(jī)是MEMS中的非常重要的一種機(jī)械驅(qū)動(dòng)裝置，一定程度上代表著MEMS發(fā)展水平。1987年加州大學(xué)伯克利分?？茖W(xué)家研制出世界上第一臺(tái)微型靜電電機(jī)，此后掀起了微電機(jī)的發(fā)展的浪潮，相繼出現(xiàn)了頂驅(qū)動(dòng)電機(jī)、側(cè)驅(qū)
7、動(dòng)電機(jī)、擺動(dòng)電機(jī)、中心電機(jī)、法蘭盤(pán)電機(jī)、線性步進(jìn)電機(jī)等多種微電機(jī)。[1]微型靜電電機(jī)具有轉(zhuǎn)速 高、無(wú)直流功耗、易于控制以及加工工藝可與IC制造工藝相結(jié)合的特點(diǎn)，因而引起了國(guó)內(nèi)外學(xué)者的廣泛關(guān)注和研究。微型靜電電機(jī)技術(shù)主體包括五個(gè)方面，設(shè)計(jì)、建模和仿真、加工制造、應(yīng)用及其可靠性分析。一般來(lái)說(shuō)，微型靜電電機(jī)可適用于諸如靜電微泵等微驅(qū)動(dòng)器、微傳感器、半導(dǎo)體器件、光電子元件和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)等低轉(zhuǎn)矩、高速的應(yīng)用，且適合 [2] 于在芯片上完成工作。在制造工藝方面，以美國(guó)、日本以及德國(guó)分別代表了三種制造工藝，美國(guó)以硅表面超微加工技術(shù)為代表，利用犧牲層技術(shù)與集成電路工藝相結(jié)
