蔡司xenos的測(cè)量創(chuàng)新

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1、蔡司xenos的測(cè)量創(chuàng)新一、Xenos測(cè)量機(jī)新標(biāo)桿XENOS，此名字易令人一下子聯(lián)想到超級(jí)英雄。鑒于新的ZEISS坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度和動(dòng)態(tài)特性正在全面步入創(chuàng)新的更高技術(shù)領(lǐng)域，超級(jí)英雄的形象對(duì)XENOS來(lái)說(shuō)是如此恰如其分。ZEISS測(cè)量機(jī)XENOS的長(zhǎng)度測(cè)量誤差竟達(dá)到0.3微米–該精度等級(jí)于同類機(jī)器中達(dá)到了絕無(wú)僅有的高度。ZEISS一直在不斷地推動(dòng)接觸式測(cè)量的技術(shù)極限，采用的系統(tǒng)包括ZEISSPRISMO、ZEISSUPMCultra或ZEISSF25。今天，它們?cè)谑澜绺鞯氐膰?guó)家機(jī)構(gòu)中已作為樣板機(jī)使用

2、。二、每立方米0.3微米在大約一升的測(cè)量體積上，ZEISS的F25只能測(cè)量小型工件。與之相較，ZEISSXENOS提供的測(cè)量范圍大約為一立方米(900×1500×700mm)。ZEISS的工程師們?cè)谘邪l(fā)XENOS時(shí)突破傳統(tǒng)，采用新的方法，為這種測(cè)量體積設(shè)置了新的標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)也極大地提高了測(cè)量速度。“所有的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量機(jī)只能優(yōu)化到某個(gè)水平上。這種可能性遲早會(huì)用盡，”ZEISSXENOS的生產(chǎn)經(jīng)理KonradOultra有明顯的區(qū)別。這種機(jī)械概念來(lái)自于成功的ZEISSCenterMax內(nèi)聯(lián)系統(tǒng)：自2001年

3、以來(lái)，參考機(jī)就已經(jīng)用于生產(chǎn)測(cè)量技術(shù)。固定的側(cè)壁能夠保證整個(gè)系統(tǒng)具有足夠的穩(wěn)定性。因?yàn)樵赮方向只有上橫桿，因此減少了移動(dòng)重量，也就是說(shuō)與工件移動(dòng)的方式相比，這樣的設(shè)計(jì)保證了更高的運(yùn)行穩(wěn)定性。同時(shí)，重量的減少和不變的移動(dòng)質(zhì)量，使驅(qū)動(dòng)裝置的加速度和最大速度具有最佳協(xié)調(diào)性。三、虛擬的中心驅(qū)動(dòng)與其它的系統(tǒng)不同，ZEISSXENOS在所有的軸上都采用直線驅(qū)動(dòng)，而不是摩擦驅(qū)動(dòng)。到目前為止，直線驅(qū)動(dòng)在測(cè)量機(jī)上的使用仍屬絕無(wú)僅有。其優(yōu)點(diǎn)在于：速度高、加速度快、定位精度高、驅(qū)動(dòng)無(wú)剪切力。由于整體設(shè)計(jì)的創(chuàng)新型概念，從而

4、首次降低了導(dǎo)軌和測(cè)量系統(tǒng)直線驅(qū)動(dòng)器之間的力傳遞。加之ZEISSXENOS高分辨率光柵尺的優(yōu)勢(shì)，新的驅(qū)動(dòng)器技術(shù)提供極高的路徑跟蹤能力以及極高的、低于100納米的定位精度。例如，探針的偏差保持更加恒定，從而保證了更高的精度。另一個(gè)好處是測(cè)量曲面時(shí)表現(xiàn)出的非常高的路徑跟蹤能力：探針更加可靠準(zhǔn)確地按指定的路徑移動(dòng)，可以更加精確地識(shí)別錯(cuò)誤。擁有30年精確驅(qū)動(dòng)器豐富經(jīng)驗(yàn)的蔡司，現(xiàn)在引進(jìn)了虛擬中央驅(qū)動(dòng)器這項(xiàng)專利。全新納入由最新一代的控制器和運(yùn)算法則啟用的動(dòng)態(tài)質(zhì)量分布功能。四、碳化硅高技術(shù)陶瓷過(guò)去，ZEISS對(duì)機(jī)

5、械結(jié)構(gòu)要求具有高精度的部件使用氧化鋁陶瓷或經(jīng)過(guò)CARAT處理的鋁材。如果不計(jì)溫度波動(dòng)的不利因素，這些材料具有自身重量輕、剛性高和高恒定性等眾所周知的優(yōu)勢(shì)。對(duì)于ZEISSXENOS來(lái)說(shuō)，我們的工程師再次提升了機(jī)器性能的高度，第一次將創(chuàng)新型的碳化硅陶瓷應(yīng)用在了測(cè)量機(jī)上。直到現(xiàn)在，針對(duì)類似零件的尺寸或精度的測(cè)量機(jī)，很少使用這種材料。與白色標(biāo)準(zhǔn)陶瓷相比，黑色的碳化硅陶瓷顯示出的熱膨脹性低50%左右，剛性高出30%，重量減少20%。與鋼材相比，其剛性增加了一倍，而重量減少了一半。五、新型VASTGold探頭

6、除了前面提到的新的創(chuàng)新技術(shù)，ZEISSXENOS還具有一些其它新型機(jī)器的特性。這包括設(shè)計(jì)強(qiáng)化的VASTGold參考探頭，以及具有更高精度和重復(fù)精度的優(yōu)化整合。經(jīng)過(guò)優(yōu)化的空氣軸承，一體化程度得到大大提升，不僅增強(qiáng)了穩(wěn)定性，也得以保證獲得更好的精度。通過(guò)改進(jìn)去耦裝置和新的電子技術(shù)概念，對(duì)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上使用的全部移動(dòng)電纜的精度影響已經(jīng)明顯減少。五、精度的基礎(chǔ)XENOS具有ZEISS標(biāo)準(zhǔn)的浮動(dòng)微晶玻璃光柵尺。微晶玻璃是一種幾乎沒(méi)有熱膨脹的玻璃陶瓷材料。鋼性光柵尺的熱膨脹必須進(jìn)行技術(shù)補(bǔ)償。溫度傳感器和估計(jì)的膨

7、脹系數(shù)造成不確定源，而這些影響因素在ZEISSXENOS上從一開始就得到了避免。產(chǎn)品經(jīng)理m，應(yīng)用范圍廣泛，適用于大型或小型工件；新型VASTGold探針，具有最高的精度和重復(fù)精度；新型ZEISSVASTGold探頭的研發(fā)，極大地滿足了在生產(chǎn)中對(duì)敏感性、準(zhǔn)確性和重復(fù)精度等諸多方面的最大需求。XENOS，是ZEISS測(cè)量機(jī)的新標(biāo)桿，在2014年的國(guó)際質(zhì)量控制及儀器儀表展（Control）上隆重推出。