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《分層微細(xì)電鑄基礎(chǔ)研究及裝置設(shè)計》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、南京航空航天大學(xué)碩士學(xué)位論文分層微細(xì)電鑄基礎(chǔ)研究及裝置設(shè)計姓名：毛計慶申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：機(jī)械制造及其自動化指導(dǎo)教師：云乃彰20080301南京航空航天大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要微細(xì)制造技術(shù)被廣泛地認(rèn)為是21世紀(jì)最重要的技術(shù)之一隨著微機(jī)電系統(tǒng)
MicroElectroMechanicalSystem,MEMS的發(fā)展對微機(jī)構(gòu)所提出的要求也越來越高高深寬比微細(xì)結(jié)構(gòu)就是其中關(guān)鍵之一一種分層電化學(xué)電沉積制造技術(shù)ElectrochemicalFabrication,EFAB可以直接快速批量生產(chǎn)出復(fù)雜的高深寬比三維微細(xì)金屬結(jié)構(gòu)與其它
2、機(jī)械加工相比具有較好的經(jīng)濟(jì)性但是EFAB制造高深寬比三維微細(xì)金屬存在著材料單一質(zhì)量不穩(wěn)定生產(chǎn)效率低等
缺點(diǎn)這嚴(yán)重制約了EFAB及高深寬比三維金屬結(jié)構(gòu)的應(yīng)用本文針對這些問題提出了改進(jìn)方案形成了一種新的分層電鑄技術(shù)并通過理論分析和試驗(yàn)對該工藝進(jìn)行了基礎(chǔ)性研究本文主要研究了以下四個方面的內(nèi)容1首先調(diào)查了國內(nèi)外高深寬比微細(xì)結(jié)構(gòu)制造技術(shù)的現(xiàn)狀與發(fā)展著重介紹
了EFAB加工技術(shù)在此基礎(chǔ)上提出改進(jìn)技術(shù)措施形成了基于EFAB的新的分層電鑄技術(shù)2專用于EFAB的數(shù)控機(jī)床研發(fā)機(jī)床具有結(jié)構(gòu)簡單成本低擴(kuò)展性好的特點(diǎn)能夠較好地滿足工藝試驗(yàn)的要求
3、3利用LabVIEW軟件及PCI-7344運(yùn)動控制卡根據(jù)運(yùn)動控制系統(tǒng)的需求分析劃分功能模塊對運(yùn)動控制及壓力數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)進(jìn)行設(shè)計4進(jìn)行基礎(chǔ)工藝試驗(yàn)論文最后對提出的改進(jìn)分層微細(xì)電鑄技術(shù)的后續(xù)研究提出了展望關(guān)鍵詞MEMS高深寬比微細(xì)結(jié)構(gòu)EFABLabVIEW運(yùn)動控制I分層微細(xì)電鑄基礎(chǔ)研究及裝置設(shè)計AbstractMicro-technologyiswidelyrecognizedasoneofthemostimportant
technologiesofthe21stcenturyWiththedevelopmentofME
4、MSthedemandsto
micro-structuresaremoreandmorehighThehigh-aspect-ratio3D-microstructureis
oneofkeytechnologiesamongthemOneofthemajorchallengesinMEMSisthe
developmentof3Dfabricationmethods.EFABtechnologyisanadditive
micromachiningprocessbasedontheselectiveelectrod
5、epositionofmultiplepatterned
layersofmaterialssuchasnickelorcopper.Itwillmakemicro-technologyaccessible
tomainstreamapplicationsinindustriesButtherearesomeproblemsofEFABsuch
asthesinglenessofmaterials,somedefaultsemergingindepositionlayerslow
efficiencyandsoonAn
6、ewEFABtechnologywasproposeditnotonlycansolve
someproblemsoftraditionalEFABtechnologybutalsocanelectroformalloyandthe
elementalresearchonthenewtechnologywascarriedoutThetheoreticalanalysis
andexperimentalverificationarealsogiveninthisthesisAlsothetheoreticalmodel
7、
ofthistechniqueisperformedindetailAnewmicroEFABset-upisdevelopedindependentlybytheauthorDouble
verticalcolumnIIstyle-Cstylehybridstructureischosenasthemainmechanical
structurewhichhastheadvantageofexcellentstructurerigiditycompactframework
dimensionaswellasgood
8、maneuverabilityandmaintainsabilityTheauthorindependentlydevelopsacontrolsystembasedonthePCI-seriesbus
motioncontrollerThecontrolsoftwareisprogrammedbyLabVIEWgraphic
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