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《單晶車間事故應急預案》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、單晶車間事故應急預案停電事故一.供電公司計劃停電（檢修設施，計劃供電等）針對以上情況，需要注意以下幾個方面：1、供電公司必須提前二天通知公司配電負責人，確定停電，送電的時間及停電的線路等；公司配電負責人通過行政辦向相關部門發(fā)文通知；2、單晶車間根據單晶爐的每爐拉晶時間，決定各爐的停爐時間，在停電之前5小時必須停爐冷卻，防止停電時爐體過熱。3、停電時，相關部門安排人員仔細檢查電器，供水系統(tǒng)是否正常，單晶車間對單晶爐進行維修保養(yǎng)。二.突發(fā)性停電在正常生產過程中出現突然斷電，當班組長首先保持冷靜，做出正確指揮1.班組長工
2、作內容：發(fā)生斷電后立即前往一樓開啟備用電源（指定熟悉備用電源的員工），在備用電源也無電時，立即啟動柴油發(fā)電機，啟動后觀察發(fā)電機電壓380V穩(wěn)定后，合上送電開關。保證冷卻水的正常供應。送水后指導輔助工協(xié)同操作工注意各爐臺水壓變化，水壓在2.5-3.0，如有異常及時上報班長及相關部門。在一樓送電的同時，組織現場搶救工作，各爐臺操作工處理好自己的爐臺，檢查是否處理得當。等待來電的同時安排好崗位工作，操作看好爐內變化記錄結晶時間。停電時采取的措施：若爐子工作時，加熱部分停電：第7頁共7頁1、在控制面板上點擊工序重置【此時U
3、PS自動供電給籽晶馬達，坩堝馬達。在自動狀態(tài)下(在引晶之后)：180S之后，籽晶自動上升100mm，坩堝自動下降50mm。但是在180S之內退出自動或在手動狀態(tài)下則不會有以上動作?！渴蛊滢D換為手動狀態(tài),關閉所有轉動開關,降低堝位50mm左右,,使晶體脫離液面.加熱電源轉換為功率控制，然后將功率調整至零。2、如果斷電時間較短,液面未結晶或已結晶且小于4分鐘則重啟加熱電源,將功率慢慢的升至熔料功率融化結晶面如果晶體長度小于我們規(guī)定的長度,則進行回熔處理,如果大于規(guī)定的長度則按照一段標準取出,然后在進行引晶等工作?？刂齐?/p>
4、源斷電的處理方法：1、控制電源斷電;在控制面板上點擊工序重置，使其轉換為手動狀態(tài)，降堝位50mm左右,使晶體脫離液面.2、如果控制電源無法恢復供電,當不能及時恢復通電時，則必須關閉加熱器，關閉S/L、S/R、C/L、C/R，提升晶棒脫離液面，升高坩堝位置（液面結晶后半小時頂起熱屏），充氬氣至常壓自然冷卻。3、控制電源恢復供電,液面未結晶或已結晶且小于4分鐘則重啟加熱電源,將功率慢慢的升至熔料功率融化結晶面，打開S/L、S/R、C/L、C/R，在打開S/R晶轉和C/R堝轉之前確保S/R和C/R電位器處于零位。如果我們
5、等徑長度大于規(guī)定的長度則按照一段標準取出,然后在進行引晶等工作,如果晶體長度小于我們規(guī)定的長度,則進行回熔處理三.來電后班組長現場指揮工作：第7頁共7頁a.電源恢復時，立即開真空泵，待半分鐘后開抽空閥門，將氬氣流量恢復正常。b．若時間較短（液面未結晶或液面已結晶但小于10分鐘且石英坩堝未破），按加熱功率開，將功率升至熔料功率。c．若時間較短（液面未結晶或液面已結晶但小于10分鐘且石英坩堝未破），按加熱功率開，將功率升至熔料功率。d．熔化結晶面，在此期間應密切注意硅料液面熔化情況，一旦發(fā)生硅液面下降，立即停爐并上報管
6、理人員。e．晶體處理同晶變單晶一致，待結晶全熔后，手動調節(jié)功率為引晶功率，溫度穩(wěn)定后，開始引晶作業(yè)。f．若停電時間較長（液面結晶已經大于10分鐘或石英坩堝破裂），快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。g．在熔體結晶40分鐘時，快速提升坩堝，使坩堝頂起導流筒100mm(堝內原料不足30kg不必頂起)。停爐，充分冷卻后拆爐。重點提示：如若顯示電腦控制面板和加熱部分電源一起出現斷電，操作員工應該頭腦冷靜，必須在2分鐘內關閉爐臺下部氬氣球閥，防止爐臺副室門自動沖開，引起重大事故。漏硅的應急處理：1．立即關閉功
7、率。2．退出控制柜面板上單晶生長控制器，使其處于手動狀態(tài)。3．關閉堝轉。4．快速提升晶體或籽晶，使晶體或籽晶脫離液面150mm。5．在熔體結晶40分鐘時，如有可能，快速提升坩堝，使坩堝頂起導流筒100mm。6.關閉真空泵抽氣蝶閥，防止硅液進入管道，開啟副室球閥進行抽空，等液面結晶后再開啟主室蝶閥，關閉副室蝶閥。7.檢查各處電線是否緊靠著受熱抽空管道，防止引起電線明火。8.停爐，充分冷卻后拆爐。重點提示：做好前幾步后，氬氣充到常壓第7頁共7頁的一半左右，使其自然冷卻，處理完成后去爐臺下觀察坩堝軸波紋管是否破裂漏硅，真
8、空管道、波紋管邊上是否有電線緊挨住，有無起火等安全隱患，其它地方也要仔細觀察，如有異常及時做出處理。停水事故（供水設備故障，水泵控制電路故障，管路故障，水池缺水，停電）發(fā)生停水時采取的措施：發(fā)生停水時，立即打開停水爐子的事故水進水閥（一般為消防水，）。1.當爐臺水壓不夠或完全停止的時候，爐臺會做出自我保護措施停止加熱從而出現DC電源打火報警.2.如果水壓不能
