氣體管路施工規(guī)范

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1、氣體管路工程施工規(guī)范一、工程簡(jiǎn)介1、生產(chǎn)設(shè)備所需之二次側(cè)制程氣體管路工程。2、各系統(tǒng)分別由機(jī)臺(tái)接頭處，經(jīng)二次配管至SUB-MAINPIPE預(yù)留閥。二、系統(tǒng)界面1、與原系統(tǒng)一次側(cè)之介面為SUB-MAINPIPE預(yù)留閥。2、與設(shè)備機(jī)臺(tái)之介面為設(shè)備出口接頭、承商應(yīng)按MOVEIN設(shè)備之實(shí)際接點(diǎn)來銜接管線。三、工程基準(zhǔn)依本公司準(zhǔn)備之下列資料及圖說來進(jìn)行本工程：1、制程氣體管路系統(tǒng)工程圖（附系統(tǒng)流程圖）。2、機(jī)臺(tái)位置圖。3、設(shè)備需求配管單線圖或utilitymatrix,動(dòng)力安裝條件表。4、制程氣體管路工程技

2、術(shù)規(guī)范。5、設(shè)備機(jī)臺(tái)MOVEINSCHEDULEo四、工程施工規(guī)范。1、承包商于進(jìn)行配管焊接時(shí)，必須穿戴上干凈無塵室專用手套及護(hù)具。2、配管材料氣體接觸部分，不可用污穢的手套或用手直接觸摸。3、配管時(shí)必須使用超高純度氮?dú)庾鳛楹附又畾怏w，施工完后所有管路須用高純度氮?dú)獠婚g斷PURGE,PURGE排氣須接至室外排放，以避免人員窒息危險(xiǎn)。4、配管焊接時(shí)，所有臨時(shí)管路須為SUS316硬管。5、所有配管焊接須于每H施工前，先做每一管徑試件試焊，并須記錄焊接機(jī)之焊接參數(shù)、合格試件及焊接參數(shù)，經(jīng)監(jiān)工人員檢驗(yàn)合格

3、后，施工人員才能開始施工。6、焊接時(shí)，須使用內(nèi)壓管理。7、1/2英寸（含）以下管道可以使用彎管器，管彎半徑R>5D（D為外徑）。若無法滿足上述要求則一律使用ELBOW施工。&配管時(shí)，切管、修倒角及端面，管子必須直立向下或平行，以避免鐵屑附著于管內(nèi)壁,且須小心進(jìn)刀避免刮傷管內(nèi)光滑表面。9、配管切割后須以潔凈N2GUN氣體清除，管內(nèi)壁切割而應(yīng)位于下流方向。10、施工進(jìn)行中，須按圖施工，如發(fā)現(xiàn)施工圖面出現(xiàn)問題或要求設(shè)計(jì)更改時(shí)，應(yīng)立即回報(bào)監(jiān)工處理，不可擅自做主。門、所有VCR接頭，在確定不會(huì)再拆或作最后復(fù)

4、原時(shí)，安裝Gasket鎖緊，并須于泄漏偵測(cè)孔標(biāo)示圓圈標(biāo)記。12、所有完工之管路每隔I.5公尺及轉(zhuǎn)彎、穿墻后，須加掛或貼上該種氣體名稱，流向之標(biāo)簽，標(biāo)簽須以劃線對(duì)準(zhǔn)，務(wù)求整齊一致。13、施工承包商應(yīng)將存儲(chǔ)及施工區(qū)域的機(jī)具、環(huán)境衛(wèi)牛整理干凈。14、須符合驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，若違反或不符此規(guī)定之項(xiàng)目，須配合垂新施工至合乎規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)，而因此衍生出之成本增加及進(jìn)度延誤責(zé)任，一律由承包商自行吸收。15、臨時(shí)性潔凈棚裝設(shè)在現(xiàn)場(chǎng)。管路工作中，所有的預(yù)作管線部份均需在臨時(shí)潔凈棚內(nèi)進(jìn)行,以控制其微塵數(shù)。16、焊接工作I?焊接尾端

5、覆以有孔之干凈塑料套蓋再接上差壓計(jì)做焊接管內(nèi)壓力控制管理，以隔絕大氣中之塵埃、水氣及不純物。II.即使焊接完成也要繼續(xù)通氮?dú)獗３盅h(huán)狀態(tài)，并將焊接處金屬基底降溫。附錄Q管道分析測(cè)試和驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)1?測(cè)試前檢查要項(xiàng)a）所有管道測(cè)試前必須先確認(rèn)管路標(biāo)簽與實(shí)際氣體管路是否相符，標(biāo)簽氣體流向，焊道品質(zhì)確認(rèn)。b）目測(cè)，查看是否有歪斜、扭曲，是否有管夾松脫。c）現(xiàn)場(chǎng)使用的測(cè)試儀器均要有校正記錄資料。2.所有管路現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試結(jié)果必須經(jīng)過測(cè)試人員和CSMC相關(guān)人員簽字。3.所有焊點(diǎn)和VCR連接點(diǎn)必須在通過測(cè)試后粘貼Q.C

6、.標(biāo)簽。4?測(cè)試結(jié)果審核：a）測(cè)試結(jié)果，須經(jīng)過CSMC現(xiàn)場(chǎng)人員簽名認(rèn)可，才算完成。b）測(cè)試完成后，測(cè)試報(bào)告必須填寫完整并由相應(yīng)的CSMC人員簽名。5.保壓測(cè)試a）記錄方式須采圓盤式或電子式記錄。b）須有連續(xù)記錄功能。c）測(cè)試吋間BulkGas及SpecialtyGas都須要保壓超過24hr,壓力正負(fù)值不得大于2%。d）所有管路一律使用PN2作為測(cè)試氣體。e）銜接完，開始測(cè)試前要先觀察保壓計(jì)上的表面壓力30分鐘，確認(rèn)壓力沒有變化，才開始記錄。f）保壓測(cè)試務(wù)必確認(rèn)記錄器通往測(cè)試管路之閥門已打開，否則等

7、于沒在做氣密測(cè)試。g）嚴(yán)禁使用檢漏液作為測(cè)漏工具。h）保壓壓力為1.5倍工作壓力。6.管路吹掃——N2Purgea）管路吹掃的標(biāo)準(zhǔn)聯(lián)結(jié)與保壓測(cè)試相同，吹掃須用UHPN2b）N2Purge必須排放廠外或GeneralExhaust,禁止向Fab或Sub-fab排放。7.HeliumLeak測(cè)試a）測(cè)試吋，CSMC人員必須在場(chǎng)。b）須確認(rèn)氨測(cè)漏機(jī)已經(jīng)抽至1X10-9atm*cc/sec,^可以進(jìn)行。c）測(cè)試人員須從焊接人員獲得焊點(diǎn)清單，并依照清單檢查實(shí)際焊點(diǎn)。在做HeLeakTest吋務(wù)必每一個(gè)焊道和

8、VCR接點(diǎn)均做噴氨氣測(cè)試，確認(rèn)沒問題后于焊道旁邊貼Heleaktestpassok標(biāo)簽并簽名，并予以記錄在焊點(diǎn)清單上。d）測(cè)試點(diǎn)噴He吋，務(wù)必遵行“由近而遠(yuǎn)，由上而下”的原則進(jìn)行測(cè)漏，以免He飄散而達(dá)不到測(cè)漏之效果與反應(yīng)真實(shí)漏率。e）噴氫氣測(cè)試吋，當(dāng)管路較長(zhǎng)吋，噴He氣測(cè)試一個(gè)焊道，需等3分鐘后確認(rèn)數(shù)值沒有上升的情況下，才可以再對(duì)下一個(gè)焊道做測(cè)試。（根據(jù)管路的長(zhǎng)度來適當(dāng)調(diào)節(jié)確認(rèn)數(shù)值沒有上升的時(shí)間）f）氨測(cè)漏測(cè)試指標(biāo)：小于5x109atm-cc/sec.g）本次工程中HeliumLe