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《用visualbasic6.0編程實(shí)現(xiàn)顯微圖像測量》由會員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在工程資料-天天文庫。
1、用VisualBasic6.0編程實(shí)現(xiàn)顯微圖像測量余厚云鄧善熙楊永躍丁興號摘要：VisualBasic6.0具有強(qiáng)大的圖形圖像處理功能，并廣泛應(yīng)用于圖形設(shè)計、圖像處理及多媒體技術(shù)中。本文著重介紹了VisualBasic6.0在實(shí)現(xiàn)顯微圖像測量中的編程技術(shù)，并應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片尺寸測量。關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體芯片，顯微技術(shù)，圖像測量，VisualBasic6.0編程Themicro-measurementofimagebasedonVisualBasic6.0programmingAbstract:VisualBasichasastrongfunctioninimageprocessinga
2、nditiswidelyusedinthedesignofgraph,imageprocessingandmultimedia.ThispaperfocusesontheVisualBasicprogramminginthemicro-measurementofimage.Theresearchresulthasbeenusedindimensionmeasurementofsemiconductorwafer.Keywords:semiconductorwafer,micro－technique,imagemeasurement,VisualBasicprogramming1．
3、引言在信息時代，半導(dǎo)體集成器件制造業(yè)快速發(fā)展，對半導(dǎo)體器件的檢測提出了越來越高的要求。其中顯微圖像的測量是一個關(guān)鍵問題。本文著重討論了VisualBasic6.0在實(shí)現(xiàn)顯微圖像測量中的編程技術(shù)。VisualBasic語言簡單易學(xué)，其可視化的用戶界面設(shè)計功能，把程序設(shè)計人員從煩瑣復(fù)雜的界面設(shè)計中解脫出來。VisualBasic6.0通過大量的繪圖函數(shù)為圖形圖像處理提供了強(qiáng)大的功能，使得它在圖形圖像處理領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。顯微圖像的處理作為圖像處理領(lǐng)域的一個重要組成部分，不僅具有一般圖像處理的特點(diǎn)，而且在圖像處理的內(nèi)容上更具自己的特色。這其中，對于整個顯微測量系統(tǒng)的標(biāo)定又是尤為重要的
4、一個內(nèi)容。本文在通過對VisualBasic6.0編程和顯微技術(shù)以及圖像處理技術(shù)等進(jìn)行認(rèn)真研究的基礎(chǔ)上，給出了VisualBasic顯微圖像處理及測量程序，實(shí)現(xiàn)了對半導(dǎo)體芯片的顯微測量。具體來說，顯微系統(tǒng)首先將被測對象放大，并成像于CCD的靶面上。接下來，CCD將所捕捉到的圖像通過圖像采集卡送到計算機(jī)，最后由計算機(jī)實(shí)現(xiàn)對所拍攝到的顯微圖像進(jìn)行處理和測量。這里計算機(jī)對圖像的處理和測量的編程運(yùn)用的都是VisualBasic6.0語言。2．實(shí)現(xiàn)方法（1）讀入圖像計算機(jī)通過采集卡采集到圖像后，VisualBasic的第一個任務(wù)就是讀入該圖像，這是進(jìn)行進(jìn)一步處理的前提條件。由于計算機(jī)是以位
5、圖形式保存所采集到的圖像的，因此可以按如下程序使用對話框CommonDialog將圖像讀入圖片框PictureBox。PrivateSubOpen_Click()OnErrorGoToErr_HandleCommonDialog1.Filter="picture(*.bmp)
6、*.bmp"CommonDialog1.ShowOpenPicture1.Picture=LoadPicture(CommonDialog1.FileName)Err_Handle:EndSub（2）二值化處理在讀入圖像后，我們現(xiàn)在要做的工作就是將上面讀入到PictureBox控件中的圖像進(jìn)行必要的處理，以
7、滿足進(jìn)一步測量的要求。其中最重要的，也是必不可少的就是對PictureBox中的圖像進(jìn)行二值化處理。二值圖像處理在圖像分割、圖像測量中有著廣泛的應(yīng)用。所謂二值化就是將原來的灰度圖像轉(zhuǎn)換成只有黑和白兩種顏色的圖像。對于大多數(shù)灰度圖像來說，圖像中的物體和背景是有明顯區(qū)別的，通過選擇閾值，區(qū)分圖像和背景，以便對物體進(jìn)行處理。具體的二值化程序段如下：Fori=0ToPicture1.ScaleWidth-1Forj=0ToPicture1.ScaleHeight-1c=Picture1.Point(i,j)r=(cAnd&HFF)Ifr>TValueThenPicture1.PSet(i
8、,j),RGB(255,255,255)ElsePicture1.PSet(i,j),RGB(0,0,0)EndIfNextjNexti其中，Tvalue為二值化的閾值，該閾值可以人為設(shè)定，也可以由程序用統(tǒng)計的方法計算得到。當(dāng)圖像顏色分解后的r值大于該閾值時，二值化的結(jié)果為白色，當(dāng)圖像顏色分解后的r值小于該閾值時，二值化的結(jié)果為黑色。（3）顯微系統(tǒng)的標(biāo)定無論是顯微圖像測量還是一般的圖像測量，我們都需要對整個測量系統(tǒng)進(jìn)行標(biāo)定。標(biāo)定的方法很多，通常最常用的就是標(biāo)準(zhǔn)件標(biāo)定法。對于本文所
