脈沖激光液相燒蝕法制備硅納米晶及其發(fā)光性能的研究

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1、摘要本文研究了脈沖激光液相燒蝕法制備硅納米晶,不同靶材,不同激光參數(shù)對硅納米晶形貌、結(jié)構(gòu)的影響,對合成理論和工藝進(jìn)行了研究;并研究硅納米晶尺寸形貌、成分、結(jié)構(gòu)和表面態(tài)對光致發(fā)光性能的影響,主要內(nèi)容如下:(1)用脈沖激光燒蝕硅片制備硅納米晶,該納米晶的尺寸在5rim以下,并隨著激光脈寬的增加尺寸不斷增大。對其結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析,發(fā)現(xiàn)硅納米晶具有面心立方的結(jié)構(gòu),而不是常見的金剛石結(jié)構(gòu)。研究了硅納米晶的發(fā)光性能以及隨在空氣中放置的時(shí)間延長發(fā)光強(qiáng)度的變化,通過對其帶隙和表面態(tài)的研究,發(fā)現(xiàn)硅納米晶能夠發(fā)光是量子限制效應(yīng)和表面態(tài)共同作用的結(jié)果。(2)用脈

2、沖激光燒蝕硅粉制備的硅納米晶,隨著激光脈寬的增加,獲得的納米晶的尺寸也不斷增加。與使用硅片做原料不同,使用硅粉得到的硅納米晶為常見的金剛石結(jié)構(gòu)。這種納米晶在可見光區(qū)有很強(qiáng)的發(fā)光,發(fā)光曲線用高斯擬合分為兩個(gè)峰,理論分析認(rèn)為,這兩個(gè)發(fā)光峰分別是量子限制效應(yīng)及表面態(tài)作用的結(jié)果。發(fā)光峰隨著激光脈寬的增加而紅移。(3)用脈沖激光燒蝕一氧化硅粉,制備出圓片狀的納米晶,直徑分布從lOnm到200nm,厚度為納米級。物相分析表明這種獨(dú)特形貌的納米晶具有金剛石結(jié)構(gòu)。結(jié)合形貌和表面態(tài)分析,認(rèn)為這種圓片狀硅晶的生長是由氧化和擴(kuò)散機(jī)制共同作用的結(jié)果。這種片狀的

3、硅納米晶在可見光區(qū)有強(qiáng)的發(fā)光。關(guān)鍵詞:硅納米晶脈沖激光燒蝕光致發(fā)光性能形核長大ABSTRACTInthisthesis,Sinanocrystals(Si—ncs)withdifferentmorphologiesands仃uctureswereobtainedbypulsedlaserablationusingdifferenttargetmaterialsandlaserparameters.ThisworkinvestigatesthetheoryandprocessoftheformationofSi—ncs,andclarif

4、iestheinfluenceofthesize,composition,s廿uctureandsurfacestatesofSi—ncsonthephotoluminescence(PL)properties.Themainconclusionsareasbelow:(1)NonagglomeratedSi-ncsweresynthesizedbytheablationofmicrosecond-pulselaseronSiwaferinwater.ThemeansizeofSi—ncswascalculatedunder5nm,an

5、dthesizeincreaseswiththelaserwidth.Inthiscase,Si—ncshavethefecs鋤ctureratllel"thanthediamondstructure.Itwasfoundthattheluminescenceisattributedtothequantumconfinementeffctandsurfacestates.(2)Si—ncswereperparedbyusingSipowderastarget.ThemeansizeoftheSi—ncsincreasesalongwit

6、hthelaserwidth.Unlikethefee—SiobtainedfromSiwafer,heretheSi-ncsshowsdiamondsⅡuctIlIIe.VisiblelightemissionsweredetectedfromthesuspensionofSi—ncs.Theluminescenceisattributedtothequantumconfinementeffectandsurfacestate,andthepeaksshowredshiftwiththeincreaseofthelaserwidth.

7、·(3)Disk—likeSi-ncsweresynthesizedbythephaseseparationofSiOunderlaserablation.Theformationsofdisk·likeSi—ncsareattributedtotheoxideassistedgrowthofSinanocrystalsfromtheSiOdecomposition.ThediameterofthesespecificSinanoparticlesisrangefrom10n】mto200am,andthethicknessisinll

8、anorange.TheSi·ncsshowsadiamonds仃ucnlI.c.VisiblelightemissionsweredetectedfromthesuspensionofSi—ncs.KEY

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