納米鈦酸鋇濕敏元件介電特性及感濕機(jī)理地研究

納米鈦酸鋇濕敏元件介電特性及感濕機(jī)理地研究

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1、大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要濕度監(jiān)測、控制在工業(yè)、農(nóng)業(yè)、日常生活、科學(xué)研究等方面受到越來越多重視,對濕敏元件的材料、結(jié)構(gòu)、特性、感濕機(jī)理等的研究日益增多。對濕敏元件的已有研究往往是將電阻式、電容式兩種結(jié)構(gòu)單獨(dú)分析討論。本論文用納米鈦酸鋇濕敏材料制作了電阻式和電容式兩種不同結(jié)構(gòu)的濕敏元件,將兩種結(jié)構(gòu)的濕敏元件的各種特性進(jìn)行對比、綜合分析,為人們應(yīng)用濕度傳感器時(shí)根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的結(jié)構(gòu)提供一定的參考。在此基礎(chǔ)上對該材料兩種結(jié)構(gòu)的濕敏元件的介電特性及感濕機(jī)理進(jìn)行研究探討。本論文采用實(shí)驗(yàn)與理論分析相結(jié)合的方法對同種材料、不同結(jié)構(gòu)的濕敏元件

2、進(jìn)行研究。首先用納米鈦酸鋇濕敏材料分別制作出電阻式、電容式兩種結(jié)構(gòu)的濕敏元件:然后用LCR測試儀測量不同濕度、不同頻率、不同溫度時(shí)元件的電容、電阻、復(fù)阻抗、介電損耗等電學(xué)參量,應(yīng)用O瞄g-m等軟件對實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,得出電阻一相對濕度、電容一相對濕度、阻抗一相對濕度、濕滯、響應(yīng)一恢復(fù)時(shí)間、復(fù)阻抗、介電損耗等各種特性曲線,并對不同頻率、不同溫度下各種曲線進(jìn)行對比;最后根據(jù)濕敏元件的特性曲線,應(yīng)用電介質(zhì)物理等理論分析研究,對感濕材料的介電特性、介電損耗進(jìn)行重點(diǎn)討論,并對兩種結(jié)構(gòu)的濕敏元件的感濕機(jī)理進(jìn)行探討。隨著各種理論的不斷發(fā)展、實(shí)驗(yàn)條

3、件的繼續(xù)改善,該研究還將不斷的深入進(jìn)行。關(guān)鍵詞:濕敏元件;納米鈦酸鋇:電阻式;電容式;介電特性;介電損耗;感濕機(jī)理塾鲞叢墼堡堡塹絲墮坌墮堂鱟壟壁塑塑堡墮塞StudyondielectricpropertiesandhumiditysensingmechanismofnanometerBaTiOahumiditysensorAbstractHumiditymonitoringandcontrollingaremoreandmoreemphasizedonindustry,agriculture,da坶life,scienceetc.S

4、tudiesonmaterial,structures,propertiesandhumiditysensingmechanismofhumiditysensorsareincreasing.Reslstive-typeandcapacitive-typehumiditysensorswerediscussedindividuaUy.Inthispaper,thesetwokindsofhumiditysensorsweremadeinnanometerBaTi03.Theirpropertieswereanalyzedandcom

5、pared.Itisareferenceforchoosingsuitablestructureaccordingtodifferentuses.Furthermore,dielectricpropertiesandhumiditysensingmechanismofresistlve-typeandcapacitive—typehumiditysensorsofnanometerBaTi03wereinvestigated.Thehumiditysensorsofthesamematerial(nanometerBaTi03)wi

6、thtwokindsofstructureswerestudied.Firstly,resistive-typeandcapacitive-typehumiditysensorsweremadefromnanometerBaTi03respectively.Secondly,electronicparameters,suchascapacitance(C),resistance(R),compleximpedance(z)anddielectriclossOD),weremeasuredatdifferentrelativehumi

7、dities皿砷,frequenciesandtemperaturesbyLCRintelligentmeter.CurvesofR-RH,C-RH,lZI-RH,D-RH,humidityhysteresis,response-recoverlimeetc,wereobtainedfromexperimentdatabyoriginandcurvesobtainedatdifferentfrequenciesandtemperatureswerecompared.Finally,dielectricpropertiesandlos

8、sofhumiditysensingmaterialandhumiditysensingmechanismofhumiditysensorsofthesetwokindsofstructureswerediscussedparticu

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