機(jī)械設(shè)計(jì)制造及自動(dòng)化(機(jī)電)專業(yè)畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文)

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1、膄芅蚄袁襖肈蝕袀肆莃薆袀膈膆蒂衿袈莂莈袈羀膅蚆袇肅莀薂羆膅膃蒈羅裊莈莄羄羇膁螃羄腿蕆蠆羃節(jié)艿薅羂羈蒅蒁薈肄羋莇薈膆蒃蚆蚇袆芆薁蚆羈蒁蕆蚅肀芄蒃蚄芃肇螂蚃羂莃蚈螞肄膅薄螞膇莁蒀蟻袆膄莆螀罿荿蚅蝿肁膂薁螈膃莇薇螇羃膀蒃螆肅蒆荿螆膈艿蚇螅袇蒄薃螄羀芇葿袃肂蒂蒞袂膄芅蚄袁襖肈蝕袀肆莃薆袀膈膆蒂衿袈莂莈袈羀膅蚆袇肅莀薂羆膅膃蒈羅裊莈莄羄羇膁螃羄腿蕆蠆羃節(jié)艿薅羂羈蒅蒁薈肄羋莇薈膆蒃蚆蚇袆芆薁蚆羈蒁蕆蚅肀芄蒃蚄芃肇螂蚃羂莃蚈螞肄膅薄螞膇莁蒀蟻袆膄莆螀罿荿蚅蝿肁膂薁螈膃莇薇螇羃膀蒃螆肅蒆荿螆膈艿蚇螅袇蒄薃螄羀芇葿袃肂蒂蒞袂膄芅蚄袁襖肈蝕袀肆莃薆袀膈膆蒂衿袈莂莈袈羀膅蚆袇肅莀薂羆膅膃蒈羅裊莈莄羄羇膁螃羄

2、腿蕆蠆羃節(jié)艿薅羂羈蒅蒁薈肄羋莇薈膆蒃蚆蚇袆芆薁蚆羈蒁蕆蚅肀芄蒃蚄芃肇螂蚃羂莃蚈螞肄膅薄螞膇莁蒀蟻袆膄莆螀罿荿蚅蝿肁膂薁螈膃莇薇螇羃膀蒃螆肅蒆荿螆膈艿蚇螅袇蒄薃螄羀芇葿袃肂蒂蒞袂膄芅蚄袁襖肈蝕袀肆莃薆袀膈膆蒂衿袈莂莈袈羀膅蚆袇肅莀薂羆膅膃蒈羅裊莈莄機(jī)械設(shè)計(jì)制造及自動(dòng)化（機(jī)電）專業(yè)畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）論文題目硅單晶片有蠟拋光工藝自動(dòng)貼片設(shè)備設(shè)計(jì)學(xué)生姓名方勇華學(xué)號(hào)20081330070981指導(dǎo)教師姜獻(xiàn)華專業(yè)機(jī)械設(shè)計(jì)制造及自動(dòng)化（機(jī)電）年級(jí)2008年春季學(xué)校浙江電大開(kāi)化分校浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）目錄第一章硅拋光片基本概念和

3、工藝介紹11.1硅單晶拋光片的定義11.2有蠟拋光片工藝常用配件簡(jiǎn)介11.3目前使用有蠟拋光片工藝簡(jiǎn)介及特點(diǎn)2第2章本設(shè)計(jì)的任務(wù)和目的32.1自動(dòng)貼片的設(shè)計(jì)任務(wù)和目的32.2自動(dòng)與手動(dòng)貼片工藝對(duì)比3第3章制定設(shè)備基本要求33.1完成生產(chǎn)需要的設(shè)備基本參數(shù)要求33.2機(jī)械方向的基本要求43.3電氣方向的基本要求43.4管道設(shè)計(jì)的基本要求4第4章根據(jù)設(shè)備基本要求制定具體設(shè)計(jì)方案44.1陶瓷盤自動(dòng)搬運(yùn)和加熱控制的利用44.2整機(jī)機(jī)架的設(shè)計(jì)54.3陶瓷盤旋轉(zhuǎn)托盤轉(zhuǎn)速和傳動(dòng)的設(shè)計(jì)54.4陶瓷盤旋轉(zhuǎn)角度的設(shè)計(jì)64.5陶瓷盤托盤及與主軸聯(lián)接設(shè)計(jì)64.6托盤主軸承受壓力的設(shè)計(jì)74.7取硅片時(shí)中心定位設(shè)

4、計(jì)74.8取硅片部分設(shè)計(jì)84.9壓硅片氣缸設(shè)計(jì)94.10壓片氣囊設(shè)計(jì)94.11電氣控制設(shè)計(jì)104.12局部環(huán)境設(shè)計(jì)10第5章自動(dòng)運(yùn)行過(guò)程詳解10結(jié)論13參考文獻(xiàn)13浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）硅單晶片有蠟拋光工藝自動(dòng)貼片設(shè)備設(shè)計(jì)[摘要]：當(dāng)今社會(huì)以進(jìn)入了電子信息的時(shí)代，微處理芯片的發(fā)明徹底改變了世界，微電子、信息技術(shù)的水平己被視為一個(gè)國(guó)家現(xiàn)代化水平的重要標(biāo)志。IC級(jí)硅單晶拋光片是半導(dǎo)體芯片和功率集成電路的主體功能材料，也是多種高能探測(cè)器和特殊功率器件等的主體功能材料。在目前國(guó)內(nèi)剛開(kāi)始研發(fā)硅單晶拋光片的初期，需要硅行業(yè)產(chǎn)家自己開(kāi)發(fā)一些簡(jiǎn)單實(shí)用的設(shè)備，對(duì)生產(chǎn)工藝進(jìn)行初步的研究和探索，以

5、便為將來(lái)批量生產(chǎn)提供確實(shí)可行的生產(chǎn)依據(jù)。硅單晶片拋光工藝是IC級(jí)半導(dǎo)體晶片加工中最關(guān)鍵的生產(chǎn)環(huán)節(jié)，本自動(dòng)貼片設(shè)備就是針對(duì)解決硅片拋光生產(chǎn)中，有蠟拋光生產(chǎn)工藝出現(xiàn)問(wèn)題。[關(guān)鍵詞]：硅單晶片有蠟拋光自動(dòng)貼片緒論本設(shè)計(jì)為硅單晶片拋光片無(wú)蠟拋光工藝生產(chǎn)設(shè)備，設(shè)計(jì)的目是為了改善有蠟拋光生產(chǎn)工藝的參數(shù)提高產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性并有效降低生產(chǎn)成本和工人勞動(dòng)強(qiáng)度。本設(shè)計(jì)設(shè)備所需完成的生產(chǎn)工作，是基于有蠟拋光生產(chǎn)工藝手工操作全過(guò)程演變而來(lái)。本文將簡(jiǎn)單介紹硅單晶片有蠟拋光生產(chǎn)工藝流程，著重講解本設(shè)備機(jī)械自動(dòng)化各部件的設(shè)計(jì)思路、設(shè)計(jì)目和本設(shè)計(jì)設(shè)備的工作原理和自動(dòng)化運(yùn)行全過(guò)程。本設(shè)備在功能設(shè)計(jì)方向，充分考慮生產(chǎn)需要

6、和人身、產(chǎn)品、設(shè)備的安全。本設(shè)備在自動(dòng)化設(shè)計(jì)方向，充分利用了中央廣播電視大學(xué)本科學(xué)習(xí)所掌握的機(jī)械自動(dòng)技術(shù)。第一章硅拋光片基本概念和工藝介紹1.1硅單晶拋光片的定義硅單晶拋光片的定義：通過(guò)化學(xué)和機(jī)械作用，來(lái)獲得的表面無(wú)損傷、平整、光亮鏡面的硅單晶硅片，稱為硅單晶拋光片。硅單晶拋光片有許多定性的參數(shù)如TTV、TIR、STIR、TAPER等，因?yàn)橄掠萎a(chǎn)品的要求不同，沒(méi)有一個(gè)確定的數(shù)值。1.2有蠟拋光片工藝常用配件簡(jiǎn)介硅單晶拋光片在使用手動(dòng)貼片的有蠟拋光工藝生產(chǎn)過(guò)程中，常用到一些設(shè)備或工具，通過(guò)了解常用設(shè)備或工具的性能，能更好的了解硅片自動(dòng)貼片設(shè)備對(duì)有蠟拋光工藝帶來(lái)的影響和提高。在手動(dòng)貼片有蠟

7、拋光工藝中，常用的設(shè)備或工具有：1．陶瓷盤：為直徑520mm、重量為15kg陶瓷材質(zhì)的圓盤.作用是固定待拋光的單晶硅硅片。第13頁(yè)共13頁(yè)-浙江廣播電視大學(xué)畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）2．自制帶有耐高溫橡膠墊的金屬桿：長(zhǎng)約1500mm.凸起的耐高溫橡膠墊直徑比與配用硅片的直徑略大，配合金屬桿用來(lái)壓需要固定在陶瓷盤上的硅片。3．拋光機(jī)是拋光生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備：作用是固定并帶動(dòng)貼有硅片的陶瓷旋轉(zhuǎn)，并能進(jìn)行對(duì)陶瓷盤加壓、水、拋光液、拋光時(shí)間等一系列控制。4．其它輔助工