摩擦副對(duì)不含氫glc薄膜摩擦學(xué)性能的影響 畢業(yè)論文

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1、摩擦副對(duì)不含氫GLC薄膜摩擦學(xué)性能的影響摘要本文通過非平衡磁控濺射沉積離子鍍膜的方法制備了GLC薄膜,在旋轉(zhuǎn)式球-盤摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)上考察了對(duì)偶材料對(duì)GLC薄膜的摩擦性能的影響。在摩擦完畢后,采用掃描電鏡對(duì)磨痕形貌進(jìn)行了觀察,使用非接觸式三維表面輪廓儀測量了磨痕深度和寬度并對(duì)磨損率進(jìn)行了計(jì)算分析。研究結(jié)果表明:1、固定載荷,隨著速度的增大,GLC/GCr15體系的摩擦系數(shù)逐漸減小,比磨損率由小變大后又變小;GLC/Si3N4、GLC/Al2O3體系的摩擦系數(shù)則逐漸增大,比磨損率則大體上呈增大趨勢。2、固定速度,隨著載荷的增大,三

2、個(gè)體系的摩擦系數(shù)均不斷下降,GLC/GCr15體系的比磨損率大體上呈下降趨勢;GLC/Si3N4、GLC/Al2O3體系的比磨損率則不斷增大。關(guān)鍵詞:GLC薄膜,速度,載荷,摩擦,磨損43EFFECTOFCOUNTERPARTMATERIALSONTRIBOLOGICALPROPERTIESOFH-FREEGLCFILMSABSTRACTH-freeGLCfilmswerepreparedbyusinganunbalancedmagnetronsputteringdepositionmethod.Effectsofcounte

3、rpartmaterialsontribologicalpropertiesofGLCswereexaminedonarotation-typeball-on-disctribometer.Afterthetests,theweartracksanddebriswereobservedusingascanningelectronmicroscope.Inaddition,anon-contactthree-dimensionalsurfaceprofilerwasemployedtomeasurethedepthandwidt

4、hofweartracksandtocalculatethespecificwearrate.Themajorresultsareshownasbelow:1.Astheslidingspeedincreasesunderaconstantload,thefrictioncoefficientgenerallydecreases,butthewearratefirstincreasesandthendecreasesfortheGLC/GCr15system.WhilefortheGLC/Si3N4andGLC/Al2O3sy

5、stems,boththefrictioncoefficientandwearrateincreasegenerally.2.Astheloadincreasesataconstantslidingspeed,thethreesystemscommonlydisplayareductioninfrictioncoefficient.Butthewearratedoesnotchangeconsistently.ItdecreasesfortheGLC/GCr15pairbutincreasesfortheGLC/Si3N4an

6、dGLC/Al2O3pairswithincreasingload.KEYWORDS:GLCfilm,speed,load,friction,wear43目錄第一章前言1§1.1碳膜的發(fā)展和應(yīng)用1§1.1.1碳膜的發(fā)展1§1.1.2碳膜的應(yīng)用2§1.2碳膜的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)3§1.3碳膜的制備原理和結(jié)構(gòu)表征3§1.3.1碳膜的制備原理3§1.3.2碳膜結(jié)構(gòu)表征5§1.4GLC薄膜的研究現(xiàn)狀6§1.5GLC薄膜的研究意義8§1.6本課題的研究方法9第二章試驗(yàn)設(shè)備和方法10§2.1制備GLC薄膜的試驗(yàn)設(shè)備10§2.1.1試驗(yàn)裝置10§2.

7、1.2試驗(yàn)材料10§2.1.3制備過程10§2.2GLC薄膜摩擦學(xué)性能的研究方法及過程11§2.2.1試驗(yàn)裝置11§2.2.2試驗(yàn)材料12§2.2.3試驗(yàn)方法及過程12§2.3磨損率計(jì)算13第三章結(jié)果與分析14§3.1GLC/GCr15體系的摩擦磨損性能14§3.1.1速度對(duì)GLC/GCr15體系摩擦磨損性能的影響14§3.1.2載荷對(duì)GLC/GCr15體系摩擦磨損性能的影響17§3.1.3不同載荷下GLC薄膜與GCr15對(duì)摩后的表面形貌分析1943§3.2GLC/Si3N4體系的摩擦磨損性能21§3.2.1速度對(duì)GLC/Si

8、3N4摩擦磨損性能的影響21§3.2.2載荷對(duì)GLC/Si3N4摩擦磨損性能的影響24§3.2.3不同載荷下GLC薄膜與Si3N4對(duì)磨后磨痕表面形貌分析26§3.3GLC/Al2O3體系的摩擦磨損性能28§3.3.1速度對(duì)GLC/Al2O3體系的摩擦磨損性能的影響28§3.3

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