基于lcos相位調(diào)制器件的制備與測試

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1、隸。軔大◆粵碩士學(xué)位論文萬方數(shù)據(jù)基于LCoS相位調(diào)制器件的制備與測試萬方數(shù)據(jù)PREPARATIONANDMEASUREMENTOFLIQUIDCRYSTALONSILICONPHASEMODULATORAThesisSubmittedtoSoutheastUniversityfIlllIIlllIIIUllIIIIIIIIIIlrllIIfY2708596FortheAcademicDegreeofMasterofEngineeringBYLIUPeilinSupervisedbyPro.LIQingSchoolofElectronicScienceandEngineering

2、SoutheastUniversityMay2014萬方數(shù)據(jù)東南大學(xué)學(xué)位論文獨創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是我個人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進行的研究工作及取得的研究成果。盡我所知,除了文中特別加以標注和致謝的地方外,論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果,也不包含為獲得東南大學(xué)或其它教育機構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對本研究所做的任何貢獻均己在論文中作了明確的說明并表示了謝意。研究生簽名:日期:巡、么!三東南大學(xué)學(xué)位論文使用授權(quán)聲明東南大學(xué)、中國科學(xué)技術(shù)信息研究所、國家圖書館有權(quán)保留本人所送交學(xué)位論文的復(fù)印件和電子文檔,可以采用影印、縮印或其他復(fù)制手段保存論文

3、。本人電子文檔的內(nèi)容和紙質(zhì)論文的內(nèi)容相一致。除在保密期內(nèi)的保密論文外,允許論文被查閱和借閱,可以公布(包括以電子信息形式刊登)論文的全部內(nèi)容或中、英文摘要等部分內(nèi)容。論文的公布(包括以電子信息形式刊登)授權(quán)東南大學(xué)研究生院辦理。一簽名蛐搿瞧一.夕萬方數(shù)據(jù)摘要空間光調(diào)制器件是近代光信息處理系統(tǒng)中的關(guān)鍵型器件,在光學(xué)圖像處理,數(shù)據(jù)編譯碼,激光整形,光學(xué)鑷子等諸多領(lǐng)域內(nèi)得到了廣泛的應(yīng)用。特別是相位型的空間光調(diào)制器件,它通過改變?nèi)肷涔庀辔坏姆绞絹碚{(diào)制成像平面的振幅,與傳統(tǒng)液晶顯示器的光強調(diào)制方式相比,具備更高的光能利用率和更高的衍射效率,從而被廣泛的用在光電混合信息處理系統(tǒng)中。LCoS

4、器件則是一種新型的液晶器件,具備光能利用率高,集成度高及分辨率高等優(yōu)勢,基于LCoS的相位調(diào)制器件具有更為廣泛的應(yīng)用前景。本文以硅基液晶相位調(diào)制器件為研究對象,研究其工作原理及影響相位調(diào)制特性的因素。并利用TechWiz軟件進行模擬仿真,對比了不同的LCoS相位調(diào)制器件的工作模式,并對其優(yōu)化和選擇。采用反平行取向的工作模式,優(yōu)化了影響其相位調(diào)制特性的關(guān)鍵工藝參數(shù),并以理論計算及仿真模擬為指導(dǎo),設(shè)計了LCoS相位調(diào)制器的結(jié)構(gòu)材料參數(shù)。工藝中確定了各環(huán)節(jié)的工藝參數(shù),流通了整個工藝流程,制備了LCoS相位調(diào)制器的樣品。根據(jù)相位調(diào)制特性的測試方法,搭建了光學(xué)平臺,對樣品屏的光電特性及相

5、位調(diào)制特性進行了測試,分析了測試結(jié)果,為相位調(diào)制器件的進一步研究打下了良好的基礎(chǔ)。關(guān)鍵詞:硅基液晶器件,液晶工藝,相位調(diào)制器件,相位特性測試萬方數(shù)據(jù)AbstractSpatiallightmodulatorsarethecriticaldeviceinmodemopticalinformationprocessingsystemandhavebeenwidelyusedinopticalimageprocessing,datacoding,lasersurgery,opticaltweezersandotherrelatedsubjects.Inparticular,theph

6、asespatiallightmodulator,whichcanmodulatetheamplitudeoftheincidentwavebychangingthephase,hashigherenergyefficiencyandhigherdiffractionefficiencywhenitwascomparedwithconventionalliquidcrystaldisplaymode,soitwillbewidelyusedintheopticalinformationprocessingsystem.Asanewliquidcrystaldevices,LCo

7、Shasmanyadvantages,suchashighenergyefficiency,highintegration,highresolutionandSOon.TheseadvantagesmakeLCoShasawiderrangeofapplications.Inthispaper,westudiedLCOSphasemodulator’Sprinciplesandthefactorsthataffectthecharacteristicsofphasemodulation.We

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