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《DWDM窄帶濾光片膜層的誤差分析與監(jiān)控策略.pdf》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、第!"卷#第!期激##光##技##術(shù)2345!"，.35!$""%年%月&’()*+),-./&/016789，$""%##文章編號：:"":;!<"%（$""%）"!;"!:!;"=!"!#窄帶濾光片膜層的誤差分析與監(jiān)控策略:，$:!$李曉平，易新建，史鐵林（:5華中科技大學(xué)光電子工程系，武漢=!"">=；$5華中科技大學(xué)微系統(tǒng)研究中心，武漢=!"">=）摘要：為了提高密集波分復(fù)用（?@?A）薄膜窄帶濾光片制備的成品率，討論了用于?@?A薄膜窄帶濾光片在鍍制過程中的監(jiān)控方法及誤差，采用A38B9,CD43允差分析原理分析用于?@?A窄帶濾光片膜層的容差，以便選擇更易制備的膜系；計(jì)算膜
2、層的ACE493F極值靈敏度，得到所選膜系各個(gè)膜層的誤差要求；模擬光學(xué)監(jiān)控過程和計(jì)算膜層導(dǎo)納，能夠得到膜層制備過程中膜層之間膜厚的補(bǔ)償關(guān)系。實(shí)驗(yàn)表明，據(jù)此制定的膜厚監(jiān)控策略，對于?@?A窄帶濾光片膜層的制備和保證成品率是非常關(guān)鍵的。關(guān)鍵詞：光學(xué)；窄帶濾光片；誤差與膜厚監(jiān)控；密集波分復(fù)用G中圖分類號：/=<=5=:###文獻(xiàn)標(biāo)識碼：’$%%&%’(’)*+,+’(-.&’/,(0/1,.2(3++.&(/%&)43/1&-5&%/13(’%%&67’(-!"!#5,)/3%:，$:$!"#$%&’($)*，+"#$)’,$%)，-."/$0’1$)（:5?9HCDBI98B3J/HB3;
3、)49EBD38KEL)8MK899DK8M，-N(+，@7OC8=!"">=，,OK8C；$5P8LBKB7B93JAKED3LQLB9IL，-N(+，@7OC8=!"">=，,OK8C）87+/%’./：+3KIHD3R9BO9HD3F7EBKRKBQ3JJCSDKECBK383JBO98CDD3TSC8F?@?AJK4IJK4B9D，BO9I38KB3DK8MI9BO3FC8F9DD3DK8E3CBK8MBOKLJK4IKLFKLE7LL9F5A38B9,CD43I9BO3FKL7L9FB3I3F94BO9B349DC8E93JBO94CQ9DJ3DBO9JK4B9D，C8FBO
4、9D9L74BLCD97L9FB3L949EBBO99CLQE3CBK8MJK4ILQLB9I5+O9JK4IBOKEU89LL9DD3D3J9CEO4CQ9DKL3SBCK89FSQEC4E74CBK8MBO9ACE493FICVKI7IL98LKBKRKBQ5+O9E3IH98LCBK383JBO9JK4IBOKEU89LLS9BT9989CEO4CQ9DKL3SBCK89FSQI3F94K8MBO93HBKEC4I38KB3DK8MHD3E9LL9LC8FBO9JK4ICFIKBBC8E95+O9LBDCB9MQ3JE38BD344K8MBO9JK4IBOKEU89LLKL3SB
5、CK89FBOD37MOBO9CS3R9I9CL7D9L，C8FBO99VH9DKI98BLOCR9HD3R9FBOCBBOKLKLED7EKC4B3E3CBK8MBO9JK4IJ3DBO9JK4B9DC8FKIH3RK8MBO9HD3F7EBKRKBQ593*6&%-+：3HBKEL；8CDD3TSC8FJK4B9D；9D3DDC8FBOKEU89LLE38BD34；F98L9TCR9498MBOFKRKLK38I74BKH49VK8（M?@?A）［:=］的工作。合理地監(jiān)控膜層的光學(xué)厚度，要求對所引#言選膜系進(jìn)行誤差分析，以制定合理的鍍膜工藝。密集波分復(fù)用（F98L9TCR9498
6、MBOFKRKLK38I74BKH49;:;誤差分析VK8M，?@?A）濾光片是薄膜型復(fù)用解復(fù)用模塊的核心元件，它能通過極窄光譜范圍波長的光，反射另外一些:<:;膜系的容差分析波長的光。多個(gè)濾光片串置起來，可將不同波長的光了解所設(shè)計(jì)膜系的工藝可實(shí)施性，需要知道每層耦合進(jìn)光纖或者從光纖中分解出不同波長的光，形成膜厚容許的誤差范圍，采取哪種工藝能夠滿足設(shè)計(jì)指復(fù)用器與解復(fù)用器。與陣列波導(dǎo)光柵和光纖布喇格光標(biāo)；了解膜層誤差的靈敏度，即在有誤差的前提下，哪柵等復(fù)用解復(fù)用方式比較，它以其使用的穩(wěn)定性成為幾層膜要求苛刻，計(jì)算它的監(jiān)控曲線，以便制定膜層鍍市場的主流。?@?A濾光片雖有可靠性很高的專用制
7、的監(jiān)控策略。下面以:""0-]濾光片為例說明濾光鍍膜機(jī)制備其薄膜，先進(jìn)離子源保證膜層的致密性，高［[］片技術(shù)指標(biāo)。由于濾光片膜層有:""層$""層，速旋轉(zhuǎn)工件盤可使濾光片獲得較好的均勻性，但高精計(jì)算時(shí)考慮了兩方面的誤差：（:）第,層的光學(xué)監(jiān)控誤度監(jiān)控系統(tǒng)的合理使用仍是保證成品率的一個(gè)很重要差；（$）第,層前面若干層傳遞或累積的誤差。［%］根據(jù)光學(xué)膜層A38B9,CD43允差分析原理，對!種設(shè)計(jì)的膜系結(jié)構(gòu)（見表:）分別作了容差分析。!種##基金
