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鋅、錫半導(dǎo)體金屬氧化物的制備及其氣敏性能的研究

鋅、錫半導(dǎo)體金屬氧化物的制備及其氣敏性能的研究

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時(shí)間:2019-03-04

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1、分類(lèi)號(hào):0卿密級(jí):⑧單位代碼:10422學(xué)號(hào):加¨llk-;fl∥戶(hù)蒙只番SHANDONGUNTVERSITY碩士學(xué)位論文ThesisforMasterDegree論文題目:旃.楣槲金饜龜仳物悌釗備嫩敏懶蜘砑吮..鉀樅兇b一觚,鋤;呻f>叩濺Ⅸ。fQ朋?}∞似“c76叼Md訓(xùn)0k記l餃2九D,5-o≥口一z九D一友q)e“鱺DvM門(mén)oM捌“s?作者培養(yǎng)專(zhuān)業(yè)指導(dǎo)合作口。I卜姓名單位名稱(chēng)泵誨趣化尊與化L曾院應(yīng)闡化學(xué)教師圣益翌矗!l熬絲導(dǎo)師遺金堡數(shù)量砂心年r月叢El原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明:所呈交的學(xué)位論文,是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下,獨(dú)立進(jìn)行研究所取得的成果。除文中已經(jīng)

2、注明引用的內(nèi)容外,本論文不包含任何其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫(xiě)過(guò)的科研成果。對(duì)本文的研究作出重要貢獻(xiàn)的個(gè)人和集體,均已在文中以明確方式標(biāo)明。本聲明的法律責(zé)任由本人承擔(dān)。論文作者簽名:霪迄墊日期:絲I生:豎西關(guān)于學(xué)位論文使用授權(quán)的聲明本人完全了解山東大學(xué)有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定,同意學(xué)校保留或向國(guó)家有關(guān)部門(mén)或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電子版,允許論文被查閱和借閱;本人授權(quán)山東大學(xué)可以將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索,可以采用影印、縮印或其他復(fù)制手段保存論文和匯編本學(xué)位論文。(保密論文在解密后應(yīng)遵守此規(guī)定)論文作者簽名:醯墊導(dǎo)師簽名:日期:2蟛

3、f刻一山東大學(xué)碩士學(xué)位論文目錄中文摘要??????????????????????????????IAbstract??????.?????????????????????????????????..III符號(hào)說(shuō)明????????????????????????????V第一章緒論????????????????????????????.11.1半導(dǎo)體氣體傳感器???????????????????????..11.1.1半導(dǎo)體氣體傳感器簡(jiǎn)介????????????????????11.1.2半導(dǎo)體氣體傳感器分類(lèi)????????????????????31.

4、1.3半導(dǎo)體氣體傳感器氣敏機(jī)理??????????????????41.1.4提高半導(dǎo)體氣體傳感器氣敏性能方法??????????????61.2半導(dǎo)體金屬氧化物氣敏材料的制備方法和研究進(jìn)展?????????101.2.1半導(dǎo)體金屬氧化物氣敏材料的制備方法????????????..101.2.2ZnO氣敏材料研究進(jìn)展???????????????????.151.2.3Sn02氣敏材料研究進(jìn)展???????????????????171.3本論文的研究背景、意義及內(nèi)容?????????????????181.3.1研究背景及意義??????????????

5、????????一l81.3.2本論文的主要內(nèi)容?????????????????????..18參考文獻(xiàn)????????????????????????????.20第二章不同鋅鹽合成多孔ZnO氣敏材料及其氣敏性能的對(duì)比研究????..282.1引言?????????????????????????????282.2實(shí)驗(yàn)部分???????????????????????????292.2.1試劑?????????????????????????????.292。2.2實(shí)驗(yàn)過(guò)程?????????????????????????..292.2.3形貌與結(jié)構(gòu)表征

6、??????????????????????..292.2.4氣敏元件的制作及氣敏性能的測(cè)試??????????????..302.3實(shí)驗(yàn)結(jié)果與討論????????????????????????312.3.1形貌與結(jié)構(gòu)????????????????????????..31山東大學(xué)碩士學(xué)位論文2.3.2ZnO氣敏性能的測(cè)試????????????????????.362.4本章小結(jié)???????????????????????????40參考文獻(xiàn)????????????????????????????.41第三章界面氧化脫水誘導(dǎo)合成多孔Sn02中空納米球及

7、其氣敏性能的研究?.463.1引言??????????????????????????????????????..463.2實(shí)驗(yàn)部分???????????????????????????473.2.1化學(xué)試劑?????????????????????????..473.2.2合成過(guò)程?????????????????????????..473.2.3形貌與結(jié)構(gòu)表征??????????????????????..473.2.4氣敏元件的制作及氣敏性能的測(cè)試??????????????..483.3結(jié)果與討論??????????????????????????4

8、83.3.1形貌和結(jié)構(gòu)???????????????

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