2、差的模擬結(jié)果表明陣列波導(dǎo)的有效折射率和相鄰陣列波導(dǎo)長度差(G的偏移將會對使中心波長"+偏離設(shè)計值$平板波導(dǎo)有效折射率’陣列波導(dǎo)的間距’羅蘭圓聚焦長度]的偏移會使通道間隔偏離設(shè)計值2隨機(jī)誤差的模擬結(jié)果表明相鄰陣列波導(dǎo)長度差’陣列波導(dǎo)中芯區(qū)折射率’芯區(qū)寬度’芯區(qū)厚度的隨機(jī)波動對$UX的串?dāng)_影響較大$而波導(dǎo)上’下包層折射率的波動對$UX串?dāng)_影響較小2關(guān)鍵詞’陣列波導(dǎo)光柵(串?dāng)_(相位誤差(數(shù)值分析’’%&&)(,0+中圖分類號’[QW*Wb,,!!!文獻(xiàn)標(biāo)識碼’$!!!文章編號’+*.0J(,))$*++.&%+J+**+J+.下包層
3、折射率(各參數(shù)的波動2本文在光程誤差的,!!引言基礎(chǔ)上$將決定光程誤差的幾個典型參數(shù)進(jìn)行細(xì)化$進(jìn)一步分析這些參數(shù)的隨機(jī)性對$UX器件的輸出隨著信息交換的持續(xù)增長$大通信容量的傳輸波譜的影響$所得的結(jié)果更接近于具體工藝$為網(wǎng)絡(luò)需求變得越來越迫切$密集波分復(fù)用系統(tǒng)$UX器件制備中工藝誤差控制提供理論依據(jù)2#NUN=%是提升網(wǎng)絡(luò)傳輸能力的最佳方案2硅基二氧化硅陣列波導(dǎo)光柵#$UX%具有大的輸出通道數(shù)’"!理論模型低的傳輸損耗$因而成為NUN=系統(tǒng)中的核心器*,$*+件2$UX是一種干涉型器件$對相位的變化極"#!!%aQ系統(tǒng)誤差分析
4、理論基礎(chǔ)其敏感$當(dāng)有規(guī)律的相位被破壞時$其輸出譜將變差2在最近的幾年中$不少研究者對隨機(jī)性相位誤差在進(jìn)行相位誤差對輸出譜的影響的分析時$可做了不同的研究$但都是從相位誤差的整體出發(fā)來以不考慮插損$所以可用簡單傳輸函數(shù)來評估相位*0"’+討論對串?dāng)_的影響$尤其是模式折射率(E對誤誤差對輸出譜的影響2在系統(tǒng)誤差分析時只需在關(guān)*)+差的影響$并沒有細(xì)化到具體各物理量$如陣列波導(dǎo)鍵常數(shù)上附加一偏離值即可$具體見#,%式)的寬度B’厚度&’芯層折射率(’上包層折射率(’+*K*#7$+%*9KG;**Y#(HX(#(H%%#3X(3%#
5、:3X(3%XY#(%#(GX(#(G%%%4)8*EX((E+9"?X(?7TUK#,%=TK*#7$+%*%4)7TUK#國家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展規(guī)劃#批準(zhǔn)號)X*++++0’’+*%和國家自然科學(xué)基金#批準(zhǔn)號)’W--W)+,%資助項(xiàng)目!安俊明!男$,W’W年出生$博士$現(xiàn)從事硅基二氧化硅陣列波導(dǎo)光柵的研究2!*++(J,,J+-收到$*++(J,*J,)定稿’*++.中國電子學(xué)會增刊安俊明等)!硅基二氧化硅陣列波導(dǎo)光柵相位誤差數(shù)值分析**,分布2D>HH#I%g,+D7=#*%其中!#7$+%為功率分布函數(shù)$本文取高斯分
6、布(4)(H$?$3$(E$(G分別為$UX平板波導(dǎo)有效折射率’羅蘭圓聚焦長度’陣列波導(dǎo)的間距’陣列波導(dǎo)的有效折射率’相鄰陣列波導(dǎo)長度差$相應(yīng)的偏離量分別為((H$(?$(3$((E和(#(G%2"#"!%aQ隨機(jī)誤差分析理論基礎(chǔ)圖,!波導(dǎo)示意圖K*#7$+%*9KG;***Y#(E(GXF5I#’#7%%+%4)89^;72,!N;57F51>@R5P97<;I9"7TUK=TK*#7$+%*%4)7TUK(!模擬結(jié)果及討論#0%!!$UX制備的工藝誤差是一種隨機(jī)’無規(guī)律的(#!!折射率差為4?^*d%aQ的相位系統(tǒng)誤差分因
7、素2這種無規(guī)律性可破壞相鄰陣列波導(dǎo)固定的光析程差($在只分析中心通道輸出譜時$表達(dá)式Em(G為#0%式$在相鄰陣列波導(dǎo)光程差中引入隨機(jī)的光程!!本文對相位誤差的分析是針對折射率差為波動F5I#’#7%%$這一隨機(jī)項(xiàng)的引入可使輸出譜的+b)./$通道數(shù)為,’的硅基二氧化硅$UX$其設(shè)旁瓣變大$增加串?dāng)_2在模擬中隨機(jī)光程隨機(jī)項(xiàng)計參數(shù)如表,所示*-+2圖*是,’通道$UX在中心F5I#’#7%%服從正態(tài)分布)波長處的理想輸出譜與(H$3$?$(E和(G分別偏離,#!U.%*表,設(shè)計值+b,$,$j.++$j+b+++,和U’#7%T
8、9*0*#(%&1&1!**0j+b+,+&1的輸出譜比較$其中實(shí)線為理想的輸出其中!.為均值(0為標(biāo)準(zhǔn)偏差2在實(shí)際的輸出譜分譜$在,b..*.&1附近帶星號線為(E偏離設(shè)計值析中$將光程的隨機(jī)項(xiàng)只做為一個變量來分析是不j+b+++,的輸出譜$虛線為(G偏離設(shè)計值詳盡的2因?yàn)?/p>
