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《探析氮中四氟化碳氣體標準物質(zhì)的研制》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學術(shù)論文-天天文庫。
1、天津大學碩士學位論文氮中四氟化碳氣體標準物質(zhì)的研制姓名：劉曉林申請學位級別：碩士專業(yè)：化學工程指導教師：馬沛生;王少波20081201摘要本文的主要工作是研制氮中四氟化碳標準氣體，填補我國在這一領(lǐng)域的空白，并探索應用電子天平配制標準氣體的新方法。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子體蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)等方面也有大量應用。而四氟化碳又是一種很重要的溫室氣體，在生產(chǎn)和使用過程中，通過擴散并釋放到大氣中，破壞臭氧層。四氟化碳氣體標準物質(zhì)是在溫室氣體監(jiān)測中進行化學量值傳遞的重要組成部分，對我國環(huán)境科
2、學及經(jīng)濟發(fā)展具有重要的意義。四氟化碳標準氣體還可以應用于三氟化氮、六氟化鎢等特種氣體分析檢測過程中，為提高特種氣體的純度，增強國際市場競爭力，提供計量基礎。本文采用稱量法制備氮中四氟化碳標準氣體。方法是向容器充入已知純度的一定量的氣體組分前后，分別稱量容器的質(zhì)量，由兩次稱量的差值來確定所充氣體的量。依次向容器充入原料氣和稀釋氣，從而配制成一種混合氣體。該氣體經(jīng)過氣相色譜法比對分析，均勻性和穩(wěn)定性測試，不確定度評定。結(jié)果表明，配制的四氟化碳氣體組分濃度均勻、穩(wěn)定，標準混合氣定值準確，量值可靠，其主要技術(shù)指標如下，濃度范圍：5％～0．01％(mol／m01)；擴展不確定度U：
3、≤2．O％；(k：2)，均勻性良好；穩(wěn)定時間：12個月；充氣壓力：IOMPa；使用壓力下限：0．5Mpa。目前，我國稱量法配氣中主要采用傳統(tǒng)的懸臂式機械天平進行稱量，精度差，耗時長，本文探索和嘗試應用電子天平替代懸臂式機械天平作為質(zhì)量測量工具，配制標準氣體的方法，研究提高配氣準確度和減少不確定度來源的技術(shù)，是對標準物質(zhì)研制技術(shù)的一次有益的探索，符合國際發(fā)展方向。通過應用參比氣瓶和標準砝碼，配制的標準物質(zhì)溯源到了基本計量單位——質(zhì)量，從理論上證明了方法的合理性，又通過實踐證實了方法的可操作性。關(guān)鍵詞：四氟化碳稱量法標準氣體電子天平ABSTRACTInthearticle，m
4、ostlyworksareconcernedforcarbontetrafluoridestandardgas，supplyagapofourcountryinthisfield，andexplorethenewtechniqueofuseelectronbalancetoi／lakeupstandardgas．Thedosageofcarbontetrafluorideisthegreatestinthefieldofmicro-electronicsindustry．Itiswidelyusedtoetchsilicon,silicondioxideetc．filmy
5、materials．AnditisalsousedtOcleanthesufaceofelectro．a(chǎn)pparatus，manufacturesolarbattery,lasertechniqueetc．However,carbontetrafluorideisakindofimportantgreenhousegas．Intheprocessofproduceanduse，itdestroystheozonospherebydiffusingintotheatmosphere．Duringmeasuringthegreenhousegas，carbontetraflu
6、oridestandardmaterialistheoneofimportantpartinthecourseofchemistrycomputationnumericalvaluedeliver,whichtakesanimportantparttothedevelopmentofoBrenvironmentscienceandeconomy．ThestandardgasstillcouldbeappliedinmeasurementofNF3，WF6etc．specialgas．Itaffordsthecomputationfoundationtoenhancethe
7、purificationofspecialgasandstrengthencompetitiveabilityininternationalmarket．InthispaperquantifyingmethodWasadoptedtopreparecarbontetrafluoridestandardgas．ThemethodWastofillthepocketwiththestatedforegonecontentgas，weighupthequantitiesoftheformerpocketandthelateroner
