空間光調(diào)制法抑制相干成像系統(tǒng)中相干噪聲技術(shù)的研究

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1、＇分類巧密級(jí)ＵＤＣ＾纖南義寧ＮＡＮ朋ＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＫＣＩＥＮＣＥ＆ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ碩壬學(xué)位論文空間光調(diào)制法抑制相干成像系統(tǒng)中相干噪聲技術(shù)的研究（題名和副題名）濟(jì)林凱（作者姓名）指導(dǎo)娜幣姓名朱曰宏教授鳥駿副教授學(xué)位類別王學(xué)碩壬學(xué)科名稱光舉工程研究方向精密光學(xué)測(cè)試?yán)碚撆c技術(shù)論文提交時(shí)間２０１５．０１＇注：１注明《國(guó)際十進(jìn)分類法ＵＤＣ》的類聲明本學(xué)位論文是我在導(dǎo)師的指導(dǎo)下取得的研究成果，盡我所知，在本學(xué)位論文中，祿了加Ｗ標(biāo)注和

2、致謝的部分外，不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或公布過(guò)的研究成果，也不包含我為獲得任何教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或?qū)W歷而使用過(guò)的材料一。與我同工作的同事對(duì)本學(xué)位論文做出的貢獻(xiàn)均已在論文中作了明確的說(shuō)明。＾研究生簽名；爲(wèi)抹洗年Ｓ月日學(xué)位論文使用授權(quán)聲明南京理工大學(xué)有權(quán)保存本學(xué)位論文的電子和紙質(zhì)文檔，可Ｗ借閩或上網(wǎng)公布本學(xué)位論文的部分或全部?jī)?nèi)容，可向有關(guān)部口或機(jī)構(gòu)送交并授權(quán)其保存、借閱或上網(wǎng)公布本學(xué)位論文的部分或全部?jī)?nèi)容。對(duì)于保密論文，按保密的有關(guān)規(guī)定和程序處理。知Ｗｒ年。研究生簽名：為辦３月巧碩±學(xué)位論文空間光調(diào)制法抑制相干成像

3、系統(tǒng)中相干噪聲巧術(shù)的研究摘要光干涉檢測(cè)技術(shù)是光學(xué)元件高精度加工檢測(cè)過(guò)程中的必要環(huán)節(jié)，對(duì)于光學(xué)元件質(zhì)量判定起到終檢決定性作用。商用干涉儀中大多數(shù)采用相干性好的激光作為光源Ｗ此獲得較大的相干長(zhǎng)度。送種選擇大大降低了干涉檢測(cè)過(guò)程中的裝調(diào)難度。然而、瑕疵、，不利因素是光學(xué)系統(tǒng)中的雜散光Ｗ及光學(xué)元件表面高頻誤差。灰塵等造成的散射光將造成像面中存在相干噪聲，使得干涉系統(tǒng)的信噪比下降常巧的解決方法是對(duì)入射光源的相干性進(jìn)行調(diào)制，Ｗ降低其相干性，進(jìn)而抑制相。干噪聲和提高信噪比本論文中采用了能夠?qū)崟r(shí)控制的動(dòng)態(tài)光學(xué)元件，開展了干涉成

4、像系統(tǒng)中空間光調(diào)制抑制相干噪聲技術(shù)的研究。本論文從統(tǒng)計(jì)光學(xué)理論出發(fā)，對(duì)測(cè)試光路中光場(chǎng)傳輸及像面光場(chǎng)采集進(jìn)行了數(shù)理分析研究。研究了光場(chǎng)經(jīng)過(guò)局部相位調(diào)制情況下其相干性的變化及其對(duì)于成一定時(shí)像系統(tǒng)噪聲的影響。理論分析表明，，當(dāng)調(diào)制巧上圖案相位起伏標(biāo)準(zhǔn)差（＆）系統(tǒng)信噪比隨著調(diào)制頻率的增加先是增加然后在下降，；當(dāng)調(diào)制頻率不變時(shí)系統(tǒng)信噪比隨著調(diào)制場(chǎng)相位起伏標(biāo)準(zhǔn)差的增大而增大。為驗(yàn)證理論分析，本論文開展相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)工作ａｎ－Ｇｒｅｅｎ型干。ＷＴｗｙｍ涉光路為原型，在共光路部分引入空間光調(diào)制器作為光場(chǎng)調(diào)制器件對(duì)光場(chǎng)進(jìn)行局部相位調(diào)制，分析采

5、集到的干涉條紋圖的信噪比。通過(guò)實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，驗(yàn)證了理論模型。此外，應(yīng)選用相位起伏標(biāo)準(zhǔn)差〇產(chǎn)０．２５化的謂審?。眻D案Ｗ及刷新頻率戶３０Ｈｚ左右進(jìn)行調(diào)審?。保桑椎玫捷^高的干涉’條紋可見度和系統(tǒng)信噪比。關(guān)鍵詞：空間光調(diào)制，信噪比，相位起伏標(biāo)準(zhǔn)差ＩＡｂｓｔｒａｃｔ碩±學(xué)位論文ＡｂｓｔｒａｃｔＯｐｔｉｃａｌｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ化Ｓｔｉｎｇｉｓｏｎｅｏｆｔｈｅｎｅｃｅｓｓａｒｙｐａｒｔｄｕｒｉｎｇｔｈｅｈｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎｏｐｔｉｃａｌｃｏｍｐｏｎｅｎｔｒｏｃｅｓｓｉｎｇ．Ｉｔｉｓ

6、ｄｅｃｉｓｉｖｅｉｎｄｅｔｅｒｍｉｎｉｎｔｈｅｑｕａｌｉｔｙｏｆｏｐｔｉｃａｌｐｇｃｏｍｐｏｎｅｎｔＣｏｍｍｅｒｃｉａｌｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｕｓｅｓｌａｓｅｒａｓｌｉｇｈｔｓｏｕｒｃｅｔｏｇｅｔｌｏｎｇｃｏｈｅｒｅｎｃｅｌｅｎｇｔｈ．Ｔｈｉｓｍｅｔｈｏｄｍａｋｅｓｏｐｔｉｃａｌｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ化ｓｔｉｎｇｍｕｃｈｅａｓｉｅｒ．Ｈｏｗｅｖｅｒ，ｔｈｉｓｍｅ化ｏｄａｌｓｏｈａｓｉｔｓｄｉｓａｄｖａｎｔａｇｅ．Ｔｈｅｄｉｆｆｕｓｉｖｅｌｉｇｈｔｉｎｏｐｔｉｃ

7、ａｌｓｙｓｔｅｍａｎｄｔｈｅｓｃａｔｔｅｒｉｎｌｉｔｗｈｉｃｈｉｎｄｕｃｅｄｂｈｉｈｆｒｅｕｅｎｃｅｒｒｏｒｄｕｓｔａｎｄｉｍｅｒｆｅｃｔｉｏｎｇｇｈｙｇｑｙ，ｐｏｆｔｈｅｓｕｒｆａｃｅａｒｅｔｈｅｍａｉｎｄｉｓａｄｖａｎｔａｇｅｓ．Ｓｉｇｎａｌ化打ｏｉｓｅｒａｔｉｏＳＮＲｗｉｌｌｄｅｃｒｅａｓｅ（）ｂｅｃａｕｓｅｏｆｔｈｅｓｔｅｄｉｓａｄｖａｎｔａｇｅｓ．Ｔｏｓｕｐｐｒｅ巧ｔｈｅｃｏｈｅｒｅｎｔｎｏｉｓｅａｎｄｉｎｃｒｅａｓｅＳＮＲ，ｅｏｌｅｕｓｕａｌｌｏｄｕｌ

8、ａｔｅｔｈｅｃｏｈｅｒｅｎｃｅ反ａｔｕｒｅｏｆｔｈｅｌｉｈｔｓｏｕｒｃｅ化ｄｅｃｒｅａｓｅ