mems萬(wàn)向慣性開(kāi)關(guān)制作工藝研究

《mems萬(wàn)向慣性開(kāi)關(guān)制作工藝研究》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫(kù)。

1、犬？大學(xué)ＤＡＬＩＡＮＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹｆｉ頁(yè)士＃位論文ＭＡＳＴＥＲＡＬＤＩＳＳＥＲＴＡＴＩＯＮ＿ＭＥＭＳ萬(wàn)向慣性開(kāi)關(guān)制作工藝研究／精密儀器及機(jī)械丨學(xué)科專彳作者姓名指導(dǎo)教師２０１５答辯日期＿＿＾Ｊ＾＾碩士學(xué)位論文ＭＥＭＳ萬(wàn)向慣性開(kāi)關(guān)制作工藝研究ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＰｒｏｃｅｓｓｉｎＴｅｃｈｎｉｅｏｆＭＥＭＳＯｍｎｉｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌｇｑｕＩｎｅｒｔｉａ?。牐樱鳎椋簦悖瑁崳妵?guó)家自然科學(xué)基金

2、項(xiàng)目（Ｎ０．５１３７５０７７）資助作者姓名：趙明學(xué)科、專業(yè)：精密儀器及機(jī)械學(xué)號(hào)：２１２０４１６３指導(dǎo)教師：杜立群教授完成日期：２０１５年０６月大遠(yuǎn)理工大營(yíng)ＤａｌｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ大連理工大學(xué)學(xué)位論文獨(dú)創(chuàng)性聲明：作者鄭重聲明所呈交的學(xué)位論文，是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下進(jìn)行研究工作所取得的成果。盡我所知，除文中巳經(jīng)注明引用內(nèi)容和致謝的地方外，本論文不包含其他個(gè)人或集體巳經(jīng)發(fā)表的研究成果，也不包含其他巳申請(qǐng)一學(xué)位或其他用途使用過(guò)

3、的成果。與我同工作的同志對(duì)本研究所做的貢獻(xiàn)均已在論文中做了明確的說(shuō)明并表示了謝意。若有不實(shí)之處，本人愿意承擔(dān)相關(guān)法律責(zé)任。ｉ工石學(xué)位論文題目：系ＨＦｔ巧底Ｐ丨作者簽名：ｋ晚日期：年月／曰大連羾大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要一隨著微機(jī)電系統(tǒng)（ＭＥＭＳ）技術(shù)的不斷發(fā)展，微傳感器、微執(zhí)行器已經(jīng)被應(yīng)用于些工業(yè)領(lǐng)域。ＭＥＭＳ慣性開(kāi)關(guān)作為振動(dòng)傳感器和微加速度計(jì)，在玩具、配件、軍事武器和工業(yè)領(lǐng)域有著很大的應(yīng)用潛力。因此，其加工制作方法越來(lái)越受到人們的關(guān)注。本文在研宄基于ＵＶ－ＬＩＧＡ技術(shù)

4、的ＭＥＭＳ慣性開(kāi)關(guān)制作工藝技術(shù)的基礎(chǔ)上６層，制作了具有結(jié)構(gòu)的ＭＥＭＳ萬(wàn)向慣性開(kāi)關(guān)。本文的研究成果對(duì)ＭＥＭＳ慣性開(kāi)關(guān)制作的研究和發(fā)展具有借鑒意義。ＭＥＭＳＵＶ－ＬＩＧＡ首先，基于現(xiàn)有的慣性開(kāi)關(guān)制作工藝，本文確定了結(jié)合技術(shù)制作ＭＥＭＳ萬(wàn)向慣性開(kāi)關(guān)的方法。并通過(guò)對(duì)微電鑄工藝、犧牲層技術(shù)、犧牲層材料的選擇、疊層光刻膠工藝等基礎(chǔ)工藝的研宄，確定了犧牲層材料，提出了改善疊層光刻膠工藝中電鑄的不均勻性和膠模厚度的不均勻性的方法。－－，ＵＶＬＩＧＡＳＵ８膠作為犧牲層材料然后本文結(jié)合技術(shù)使用，利用疊層光

5、刻膠技術(shù)完成了ＭＥＭＳ萬(wàn)向慣性幵關(guān)的制作。制作過(guò)程分為基底的預(yù)處理、背面標(biāo)記點(diǎn)的刻燭和正面多層結(jié)構(gòu)的制作三部分，。同時(shí)通過(guò)對(duì)制作過(guò)程中的工藝問(wèn)題分析，解決了鑄層之間結(jié)合力差－、多層結(jié)構(gòu)對(duì)準(zhǔn)精度和效率低、鑄層應(yīng)力大、高深寬比膠模制作困難、ＳＵ８膠去膠困難等問(wèn)題。通過(guò)對(duì)解決制作中的工藝問(wèn)題，提高了ＭＥＭＳ萬(wàn)向慣性開(kāi)關(guān)的成品率。。最后，本文完成了ＭＥＭＳ萬(wàn)向慣性開(kāi)關(guān)的封裝，并進(jìn)行了相關(guān)測(cè)試通過(guò)結(jié)構(gòu)參、數(shù)測(cè)試，給出了支撐彈簧線寬止擋柱與質(zhì)量塊間隙、徑向電極和質(zhì)量塊距離三種關(guān)鍵。結(jié)構(gòu)尺

6、寸的制作誤差然后利用沖擊實(shí)驗(yàn)平臺(tái)完成了動(dòng)態(tài)沖擊實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明在與Ｘ軸夾角°４５方向和Ｚ軸方向分別施加半正弦加速度信號(hào)時(shí)，ＭＥＭＳ萬(wàn)向慣性開(kāi)關(guān)的閉合時(shí)間延長(zhǎng)，可以獲得更穩(wěn)定的導(dǎo)通信號(hào)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明柔性結(jié)構(gòu)有助于延長(zhǎng)開(kāi)關(guān)的閉合時(shí)間。－關(guān)鍵詞：ＭＥＭＳ萬(wàn)向慣性開(kāi)關(guān)ＵＶＬＩＧＡ技術(shù)；結(jié)合力差；高深寬比；ＩＭＥＭＳ萬(wàn)向慣性幵關(guān)制作工藝研宄ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＴｅｃｈｎｉｕｅｏｆＭＥＭＳＯｍｎｉｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌＩｎｅｒｔｉａｌｑＳｗｉｔｃｈＡ

7、ｂｓｔｒａｃｔＷｉｔｈｔｈｅｄｅｖｅｌｏｍｅｎｔｏｆＭＥＭＳｔｅｃｈｎｏｌｏｍｉｃｒｏｓｅｎｓｏｒｓａｎｄｍｉｃｒｏａｃｔｕａｔｏｒｓｈａｖｅｐｇｙ，ｂｅｅｎｕｓｅｄｉｎｓｏｍｅｉｎｄｕｓｔｒｉａ．ｔｔｓｔｌｆｉｅｌｄｓＭＥＭＳｉｎｅｒｉａｌｓｗｉｃｈｅｓａｌｓｏｋｎｏｗｎａｏｓｈｏｃｋｓｅｎｓｏｒｓ，ｏｒｔｈｒｅｓｈｏｌｄａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｓ，ｈａｖｅｒｅａｔｐｏｔｅｎｔｉａｌｔｏｂｅｗｉｄｅｌｙｕｓｅｄｉｎｔｏｙｓ，ａ

8、ｃｃｅｓｓｏｒｉｅｓｇ，ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅｍｉｌｉｔａｒｗｅａｏｎｓａｎｄｉｎｄｕｓｔｒｉａｌａｌｉｃａｔｉｏｎｓ．Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅｔｈｅｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｏｆ，ｙｐｐｐ，ｉｎｅｒｔｉａｌｓｗｉｔｃｈｅｓｈａｓａｔｔｒａｃｔｅｄｍｏｒｅａｎｄｍｏｒｅａｔｅｎｔｉｏｎＩｎｔｈｉｓｐａｐｅｒｔｈｅｒｏｃｅｓｓ