資源描述：
《燃燒法制備ZnO基透明導(dǎo)電薄膜及其光電性能研究》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。
1、學(xué)號：S15010055碩士學(xué)位論文燃燒法制備ZnO基透明導(dǎo)電薄膜及其光電性能研究研究生姓名：王洋學(xué)科、專業(yè)：物理學(xué)、凝聚態(tài)物理學(xué)二○一八年六月分類號：O469密級：可公開UDC：________編號：_______燃燒法制備ZnO基透明導(dǎo)電薄膜及其光電性能研究STUDYONTRANSPARENTCONDUCTIVEFILMZNOPREPAREDBYRADICALCOMBUSTIONANDTHEPHOTOELECTRICPROPERTIES學(xué)位授予單位及代碼：長春理工大學(xué)（10186）學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：凝聚態(tài)物理（070205）研究方向：納米材料與低維物理申請學(xué)位級別：碩士指導(dǎo)教師：李金華
2、教授研究生：王洋副指導(dǎo)教師：徐銘澤論文起止時間：2016.9-2018.4摘要透明導(dǎo)電氧化物薄膜被應(yīng)用于眾多領(lǐng)域，氧化鋅基透明導(dǎo)電薄膜是替代氧化銦錫（ITO）薄膜的絕佳材料，可以降低材料成本。ZnO薄膜可以通過很多方法制備，主要分為兩類：一是物理制備方法，如脈沖激光沉積（PLD），分子束外延（MBE），原子層沉積（ALD），交流或直流磁控濺射法等，它們的成本高昂，過程復(fù)雜；二是濕化學(xué)法制備，如溶膠-凝膠法，制備薄膜的工藝簡單，但是需要在500℃以上的高溫下進行。燃燒法可以在低溫下制備金屬氧化物，所以我們提出了在低溫下使用化學(xué)法來制備透明導(dǎo)電薄膜，進而在柔性PET襯底上制備柔性導(dǎo)電薄膜。達到降
3、低工藝難度和制造成本的目的。本文研究主要內(nèi)容如下：1.利用溶膠-凝膠法和燃燒法的結(jié)合，得到醋酸鋅和硝酸鋅最優(yōu)比例為5:3。制備了In摻雜氧化鋅（IZO）薄膜。IZO薄膜光電性能良好。IZO薄膜的可見光波段的透過率在80%以上，導(dǎo)電性能達到了67.29?·cm。給出了溶膠-燃燒法的實驗機理。2.利用溶膠-燃燒法分別制備了Al和F摻雜ZnO薄膜，其中F摻雜氧化鋅（FZO）光電性能最佳，電阻率達到了36.87?·cm，可見光透過率在90%以上。250℃是溶膠-燃燒法的最佳退火溫度。3.利用溶膠-燃燒法在PET柔性襯底上成功制備了IZO、Al摻雜ZnO（AZO）和FZO導(dǎo)電薄膜，薄膜的光電性能良好。
4、實現(xiàn)了濕化學(xué)法在柔性襯底上制備透明導(dǎo)電氧化物薄膜。關(guān)鍵詞：ZnO摻雜透明導(dǎo)電薄膜低溫溶膠燃燒電阻率IABSTRACTTransparentconductiveoxidefilmsarewidelyusedinlarge-area.ZincOxidebasedtransparentconductivefilmisanexcellentsubstituteforindiumtinoxide(ITO)film.Thecostofmaterialcanbereduced.VariousgrowthtechniqueshavebeenemployedtoproduceAZO,Itisdividedin
5、totwocategories:Oneisthephysicalpreparationmethod,suchaspulsedlaserdeposition(PLD),molecularbeamepitaxy(MBE),atomiclayerdeposition(ALD),RForDCmagnetronsputteringmethodandsoon.Theequipmentofthephysicalpreparationmethodisexpensively,besidesthefabricationprocessisrelativelycomplicated;Thetwoistheprepa
6、rationofwetchemicalmethod,suchassol-gelmethod.Itissimplethatthepreparationofthinfilmbywetchemicalmethod,butitneedstobecarriedoutathightemperatureabove500°C.Combustionmethodcanpreparemetaloxidesatlowtemperature.Therefore,wehaveproposedthepreparationoftransparentconductingthinfilmsbythechemicalmethod
7、oflowertemperature.Further,flexibleconductivethinfilmswerepreparedonflexiblePETsubstrates.Thepurposeofreducingtechnologicaldifficultyandmanufacturingcostisachieved.Thiscontentofthisresearchareasfollows:1.We
