白光干涉術(shù)的測(cè)量系統(tǒng)與處理算法的研究

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1、中ｆｉ討《泉從ＣＨＩＮＡＪＩＬＩＡＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ碩±學(xué)位論文ＭＡＳ了Ｅ民ｍＳＳＥ民ＴＡＴＪＯＮ白光干涉術(shù)的測(cè)景系統(tǒng)與處理算法的研究？‘、產(chǎn)心＜－備京令＾夢(mèng)皆ＷｈｉｔｅＬ礎(chǔ)ｔＩｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｙＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ＾ＳｙｓｔｏｎａｎｄＡｌｇｏｒｉｔｈｍ答矣。讀－每／次黃作者鄧林渭．餐籌獲．‘身襄挙３菁結(jié)．心校內(nèi)導(dǎo)師李東升教授校外導(dǎo)師李源高工胃．＾＂’１Ｖ、聲＼專業(yè)領(lǐng)域儀器儀表工程；？一．ｒ聲請(qǐng)護(hù)擠如：也＇．．＾讀灣唯麵．．巾

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3、工作的同志對(duì)本研究所做的任何責(zé)獻(xiàn)均邑在論文中作了明確的說(shuō)明并表示了謝意。學(xué)位論文作者簽名：簽字日期；＾?。荆辏┰拢拢崳妼W(xué)位論文版權(quán)使用授極書本學(xué)位論文作者完全了解中菌計(jì)量學(xué)臨有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定。特授權(quán)中國(guó)巧畳學(xué)院可Ｗ將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)＇匯據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索，并采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存、編ｙｊｉ洪查閱和錯(cuò)閱。同意學(xué)校向國(guó)家有關(guān)部口或化梅送交論文的復(fù)印件和磁盤。（保密的學(xué)位論文在解密后適用本授權(quán)說(shuō)明）學(xué)位論文作者簽名；導(dǎo)師簽名■’＇簽字曰期：年）月０曰簽字曰期；年）月５目

4、WhiteLightInterferometryMeasurementSystemandAlgorithmByLinjuanDengADissertationSubmittedtoChinaJiliangUniversityInpartialfulfillmentoftherequirementForthedegreeofMasterofEngineeringChinaJiliangUniversityMarch,2015中圖分類號(hào)TH711學(xué)校代碼10356UDC621密級(jí)公開碩士學(xué)位論文MASTERDISSERTATION白光干涉

5、術(shù)的測(cè)量系統(tǒng)與處理算法的研究WhiteLightInterferometryMeasurementSystemandAlgorithm作者鄧林涓專業(yè)領(lǐng)域儀器儀表工程校內(nèi)導(dǎo)師李東升教授校外導(dǎo)師李源高工申請(qǐng)學(xué)位工學(xué)碩士論文類型應(yīng)用研究二〇一五年三月致謝感謝我的導(dǎo)師李源高工，他嚴(yán)謹(jǐn)治學(xué)、實(shí)干派的作風(fēng)鼓舞著我，他積極向上、樂觀的態(tài)度影響著我，讓我在輕松愉悅的環(huán)境下，學(xué)習(xí)到具有創(chuàng)新性的做事方法和樂觀的生活態(tài)度，在整個(gè)課題完成的過(guò)程中給予了我指導(dǎo)和幫助，讓我受益匪淺，在此表示誠(chéng)摯的謝意！感謝我的校內(nèi)導(dǎo)師李東升教授，不僅在學(xué)術(shù)上教育我前進(jìn)的方向和分析科

6、研的能力，同時(shí)也不斷教導(dǎo)我如何做人做事，整個(gè)研究生期間在生活上和學(xué)習(xí)上均給予了我莫大的指導(dǎo)和關(guān)心，在此致上我最衷心地感謝！在上海計(jì)量院實(shí)習(xí)期間，非常感謝傅云霞教授在工作和課題上給予我很大的幫助和指導(dǎo)，感謝孫薇斌處長(zhǎng)對(duì)于我工作和學(xué)習(xí)上支持與幫助。特別感謝陳欣老師，他認(rèn)真負(fù)責(zé)的工作態(tài)度、嚴(yán)謹(jǐn)求真的科研精神值得我一直努力學(xué)習(xí)，是我科研和工作的榜樣。在論文研究和撰寫過(guò)程中，首先感謝雷李華師兄在科研和實(shí)踐性工作上給予了我很大的幫助和指導(dǎo)，不僅使我提高了科研和動(dòng)手的能力，還鍛煉了我工作的能力，同時(shí)也得到了蔡瀟雨師姐、吳俊杰師兄、翁浚靖碩士、簡(jiǎn)黎師妹、

7、王梅寶碩士和許鵬碩士的建議和幫助，在此向他們表示感謝！最后，我要感謝我的爸爸媽媽，感謝他們一直以來(lái)對(duì)于我的理解和支持，對(duì)我學(xué)業(yè)、工作的關(guān)心和身體的照顧，感謝他們無(wú)私的付出和支持。感謝那些沒有提及姓名但也同樣給予我?guī)椭睦蠋?、同學(xué)和朋友們。本文得到國(guó)家重大儀器專項(xiàng)“跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開發(fā)和應(yīng)用（編號(hào)：2014YQ090709）”、上海市科委納米專項(xiàng)基金資助項(xiàng)目“跨尺度工藝集成納米平面尺寸標(biāo)準(zhǔn)樣板的制備及溯源表征技術(shù)研究（編號(hào)：11nm0506800）”和上海市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局科研項(xiàng)目“跨尺度微納米測(cè)量機(jī)的研究（編號(hào)：2013QK129）”的

8、資助，在此表示感謝。鄧林涓2015年3月白光干涉術(shù)的測(cè)量系統(tǒng)與處理算法的研究摘要：超精密加工與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展對(duì)微納米測(cè)量技術(shù)也提出了更高的要求。傳統(tǒng)的接觸式測(cè)頭測(cè)量效率較低，對(duì)越來(lái)越復(fù)雜