石墨烯基氣體傳感器的傳感性能研究

石墨烯基氣體傳感器的傳感性能研究

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1、'分類號.密級UDC編號中作r已大考束碩壬學(xué)位論文....^《晏妹基備體媒惠系巧媒成巧能研完學(xué)位申請人姓名;?義為申請學(xué)位學(xué)生類別;全巧申請學(xué)位學(xué)科專業(yè);獎^愛秦抵巧指導(dǎo)教師姓名;黃如妻乂後如學(xué)位論文’MASTERSTHESIS碩±學(xué)位論文石墨廢基氣體傳感器的傳感性能研究論文作者:董笑鵬指#??:黃親i^i教授學(xué)科專業(yè);凝聚巧艦研究方向:三隹材做墨?。崳娙A中!技術(shù)學(xué)院2016年4月恥學(xué)位論文'HEMASTERSTSISStudyonthesensinroerties

2、gppofrahene-basedgpassensorgAThesisSubmittedinPartialFulfillmentoftheRequirementFor化eM.S.DegreeinMaterialsPhysicsandChemistryByXiaopengDongPostraduateProramggColleeofPhsicalScienceandTechnologygyCentralChinaNormalUniversitySijervisor:XintanHuanqg

3、g^AcademicTitle:ProfessorSignatureArovedppApril2016,巧壬學(xué)位論文MASTER’STHES巧華中師范大學(xué)學(xué)位論文原戀聲關(guān)使用授權(quán)說明原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明:所呈交的學(xué)位論文,是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下,獨立進(jìn)行研巧工作所取得的研究成果。除文中己經(jīng)標(biāo)明引用的內(nèi)容外,本論文不包含任何其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研巧成果。對本文的研究做出貢獻(xiàn)的個人和集體,均己在文中?。蓿廾鞔_方式標(biāo)明。本聲明的法律結(jié)果由本人承擔(dān)。》作者簽名:日期|^巧傳:>^年長月如日學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書、,學(xué)位論

4、文作者完全了解華中師范大學(xué)有關(guān)保留使用學(xué)位論文的規(guī)定即:研究生在校攻讀學(xué)位期間論文工作的知識產(chǎn)權(quán)單位屬華中師范大學(xué)。學(xué)校有權(quán)保留并向國家有關(guān)部口或機構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電子版;,允許學(xué)位論文被查閱和借閱學(xué)??桑坠紝W(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容,可W允許采用影印、縮印或其它復(fù)制手段保存、匯編學(xué)位論文。(保密的學(xué)位論文在解密后遵守此規(guī)定)保密論文注釋:本學(xué)位論文屬于保密,在年解密后適用本授權(quán)書。非保密論文注釋:本學(xué)位論文不屬于保密范圍,適用本授權(quán)書。作者簽名:#導(dǎo)師簽名:t玄義1如^:2曰期年iT月曰曰期^告年月ye""本人己經(jīng)認(rèn)真閱讀CALIS離校學(xué)位論

5、文全文數(shù)據(jù)庫發(fā)布章程,同意將本人的""""學(xué)位論文提交CALIS高校學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫中全文發(fā)布,并可按章程中的規(guī)定享受相關(guān)權(quán)益-。同意論義提巧后滯后□半年□年:□二年發(fā)布。;;、::作者簽名;?|導(dǎo)師簽名主義||寒為日期:年月從日日年^月又00恥學(xué)位論文MA'STERSTHESIS摘要在快速發(fā)展的現(xiàn)代社會中,隨著人們逐步提高的環(huán)保意識,對有毒、有害氣體的檢測,對大氣污染和工業(yè)廢氣的監(jiān)測都提出了更髙的要求,這就需要研究靈敏度。更高,響應(yīng)更快的新型氣體傳感器而氣敏材料是氣體傳感器的核也元件,決定了22004氣體傳感器性能的好壞。自從年石墨

6、賭被發(fā)現(xiàn)^來,這種由單層碳原子[^89雜化而形成的六角蜂巢晶格排布的獨特二維平面結(jié)構(gòu),在電、熱及機械性能等方面、的優(yōu)良性能表現(xiàn)出巨大的應(yīng)用前景,石墨嫌大的比表面積高的載流子遷移率和低噪聲等特性,使其在氣體傳感器領(lǐng)域備受矚目。相比于常見的半導(dǎo)體金屬氧化物氣體傳感器需要較高的工作溫度,石墨稀可W在室溫下進(jìn)行氣體檢測,但是石墨婦氣、。體傳感器存在著靈敏度低響應(yīng)恢復(fù)速度慢等問題,這也限制了石墨婦的實際應(yīng)用針對W上石墨帰氣體傳感器中的問題,我們對改善石墨叛氣體傳感器的靈敏度W及響應(yīng)恢復(fù)速度等氣敏性能進(jìn)行研究,主要工作包括:(1)研巧了CVD法制備石墨帰的氣體傳感性能。通過

7、常壓化學(xué)氣相沉積(APCVD)的方法在銅基底上成功制備了單層石墨煉,經(jīng)過直接接觸轉(zhuǎn)移這種簡單有效的辦法把石墨轉(zhuǎn)移到絕緣基底上,進(jìn)行微觀操作制成傳感器元件。在室溫的條件下,檢測了對N02、NH3、和CXhH種氣體的響應(yīng)情況。在研巧對C化的氣敏性能時,通過對轉(zhuǎn)移之后的石墨帰進(jìn)斤C〇2氣體干燥處理,相比于沒有經(jīng)過C〇2氣體。處理的石墨帰,其氣體響應(yīng)靈敏度有所提升,并簡要分析了其原因(2)研究

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