基于ltcc技術(shù)的ka波段鐵氧體移相器設(shè)計研究

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1、朵擊糾故＊資ＵＮＩＯＬＯＧＹＯＦＣＨＩＮＡＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳＣＥＮＣＥＡＮＤＴＥＣＨＮ碩壬學(xué)位淪文ＭＡＳＴＥＲＴＨＥＳＩＳ■－＾＼Ｖ／＇＼／ｓｓｅ■＾＾論支題目基于ＬＴＣＣ技術(shù)的Ｋａ波段鐵氧化移相器設(shè)汁妍究學(xué)科專業(yè)材料科學(xué)與ＩＩ：程學(xué)號２０１３２１０３０６１９化者姓名趙元沛指導(dǎo)教師賈利軍教授獨創(chuàng)性聲明本人聲明所呈巧的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進行的研究工作及取得的研究成果。據(jù)我所知，除了文中特別加標注和致謝的地方夕

2、ｈ，論文中不包含其他人己經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得電子科技大學(xué)或其它教育機構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料。與我＾同工作的同志對本研究所做的任何貢獻均己在論文中作了明確的說明并表示謝意。作者簽名＝擊賽日期Ｉ砰：如居年月日論文使用授權(quán)本學(xué)位論文作者完全了解電子科技大學(xué)有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，有權(quán)保留并向國家有關(guān)部口或機構(gòu)送交論文的復(fù)印件和磁蟲，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)電子科技大學(xué)可將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進行檢索，可臥采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存、匯編學(xué)位論文。（保密的學(xué)位論文

3、在解密后應(yīng)遵守此規(guī)定）、Ｓ作者簽名：導(dǎo)師簽名：￣女支可日期；年Ｓ月９日分類號密級UDC學(xué)位論文基于LTCC技術(shù)的Ka波段鐵氧體移相器設(shè)計研究（題名和副題名）趙元沛（作者姓名）指導(dǎo)教師賈利軍教授電子科技大學(xué)成都（姓名、職稱、單位名稱）申請學(xué)位級別碩士學(xué)科專業(yè)材料科學(xué)與工程提交論文日期2016.3.18論文答辯日期2016.5.18學(xué)位授予單位和日期電子科技大學(xué)2016年6月27日答辯委員會主席評閱人注1：注明《國際十進分類法UDC》的類號。RESEARCHONKABANDFERRITEPHASESHIFTERBASEONLTCCTECHNOLOGY

4、AMasterThesisSubmittedtoUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor：MaterialsScienceandEngineeringAuthor：ZhaoYuanpeiAdvisor：Prof.JiaLijunSchool：SchoolofMicroelectronicandSolid-stateElectronics摘要摘要作為相控陣雷達的核心組件，移相器的性能和體積直接關(guān)系到相控陣雷達性能的優(yōu)劣。鐵氧體移相器因其相移量大、插入損耗小等優(yōu)點一向被廣泛應(yīng)用于相控陣雷達中。然而隨著

5、微波組件小型化、集成化的發(fā)展趨勢，鐵氧體移相器的體積已成為制約其發(fā)展的關(guān)鍵問題。LTCC技術(shù)的出現(xiàn)，為鐵氧體移相器的小型化和集成化提供了一條有效的解決之道。將LTCC技術(shù)與鐵氧體器件相結(jié)合，具有極其重要的發(fā)展意義。本文中我們主要進行了針對具有高剩磁比和高居里溫度的LiZn鐵氧體材料的低溫?zé)Y(jié)研究和基于LTCC技術(shù)的鐵氧體移相器設(shè)計。首先，通過改進配方和制備工藝，在900℃燒結(jié)溫度下制得一種高飽和磁化強度且一定范圍可調(diào)、高剩磁比（>0.83），低矯頑力（114.64A/m），低鐵磁共振線寬（155Oe）的可適用于LTCC工藝的LiZn鐵氧體旋磁材料；其次，結(jié)合LTC

6、C工藝步驟進行了實驗研究，成功實現(xiàn)在該材料在LTCC技術(shù)下的應(yīng)用；最后，采用耦合傳輸線結(jié)構(gòu)仿真設(shè)計了兩種Ka波段鐵氧體移相器，其中微帶線結(jié)構(gòu)移相器在30~31GHz內(nèi)插損小于2.5dB，駐波比小于2，相移量可達280°，帶狀線結(jié)構(gòu)在32~34GHz內(nèi)插損小于0.4dB，駐波比小于1.5，相移量在32.8~33.4GHz內(nèi)可達328°。關(guān)鍵詞：鐵氧體移相器LTCC低溫?zé)Y(jié)耦合傳輸線ⅠIABSTRACTABSTRACTPhasedarrayradar'sperformancequitelydependsonthevolumeandperformanceofphases

7、hifterwhichiscorecomponentofphasedarrayradar.Duetoitslargephaseshift,lowinsertionloss,etc.Ferritephaseshifterhasbeenwidelyusedinphasedarrayradar.However,withthetrendofminiaturizationandintegrationofmicrowavecomponents,thevolumeofferritephaseshifterhasbecomethekeyissuerestrictingitsdev

8、elopm