《esd訓練教材》ppt課件

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1、ESD制作：BruceLin時間：2009.01.12目錄序言第一部分：ESD基本原理介紹第二部分：半導體的抗靜電能力第三部分：靜電防護序言在電子產(chǎn)品越來越細小，越來越復雜的今天，半導體材料的質(zhì)量要求也是越來越高的.而靜電對半導體的破壞卻因半導體的高集成化而變得更加容易。為了產(chǎn)品的質(zhì)量和提升客戶的滿意度，我們必須在靜電的防護方面作出更有效的行動，來迖成我們的質(zhì)量目標。ESD基本原理介紹ESD基本原理介紹一、靜電放電(ESD)現(xiàn)象嚴寒的冬天，當您脫下暖和的毛衣，您會聽到嗶嗶啪啪聲。握手或手接觸時常被電擊一下，是由于人身帶了靜電，接觸時突然放電所致。云層相互

2、摩擦而帶大量的電荷，相互放電形成能量巨大的雷電，對地放電則可能形成雷擊。這些就是靜電瞬間放電(ESD)所主導產(chǎn)生的現(xiàn)象ESD?ElectroStaticDischarge二、靜電的本質(zhì)物質(zhì)由分子和原子組成，原子由原子核和電子組成，原子核帶正電，電子帶負電。自然條件下，正負電荷平衡，物體不帶電.這類物體叫電中性物體。在某種條件下，正負電荷的平衡被打破，則物體帶電?這種現(xiàn)象叫物體帶電。所謂靜電指對觀察者而言，電荷靜止不動或運動非常緩慢。動電則有電荷的快速運動和變化。ESD基本原理介紹三、靜電起電靜電可有很多種方式產(chǎn)生，如物體間的摩擦，電場感應，介質(zhì)極化，帶電

3、顆粒粘附等等。摩擦起電：當兩個物體產(chǎn)生摩擦時，摩擦表面的電子會從一種物體跑到另一種物體上，分離后，兩個物體的正負電荷失去平衡，得到電子的帶負電，失去電子的帶正電。感應起電：當有強電場(大的帶電體)存在時，附近的物體被感應，局部或整體產(chǎn)生電荷，這類帶電稱為感應帶電。ESD基本原理介紹四、靜電放電當帶電的物體與一些導體等接觸時或靠的很近時，電荷會找到一途徑途突然釋放掉，這種現(xiàn)象叫靜電放電。靜電放電的條件是：首先有靜電存在，其次要有一定的途徑。靜電放電的原因和條件多種多樣，控制靜電放電是在人們生活和工作中的各個方面所追求的。ESD基本原理介紹五、靜電產(chǎn)生原理靜

4、電產(chǎn)生1.分離2.摩擦ESD基本原理介紹分離，摩擦等起電的過程：ESD基本原理介紹五、靜電產(chǎn)生原理ESD基本原理介紹五、靜電產(chǎn)生原理分離，摩擦等起電的過程：物質(zhì)產(chǎn)生靜電大小排列如下表，其中愈正性與愈負性物質(zhì)互相摩擦產(chǎn)生之靜電愈大。空氣石棉人手玻璃云母頭發(fā)尼龍羊毛毛皮鉛絲綢鋁紙棉花鋼木材琥珀封蠟橡膠鎳銅黃銅纖維聚酯奧璐珞聚氨酯聚乙烯聚丙烯硅硅橡膠ESD基本原理介紹五、靜電產(chǎn)生原理摩擦起電：操作中的動作和肢體運動，由衣服，鞋子與其他物體，地面摩擦，使衣服和鞋子帶電，再通過傳導和感應，使人體帶電。感應起電：當不帶電的人體進入帶電的電場，靜電感應而起電。傳導起電

5、：人體直接接觸帶電體，或與帶電體發(fā)生靜電放電，另人體在靜電的微塵粉體和霧狀液粒空間活動，使帶電微粒附在人體及衣服上產(chǎn)生靜電。ESD基本原理介紹五、靜電產(chǎn)生原理?人體帶電研究ESD基本原理介紹五、靜電產(chǎn)生原理?人體活動帶電示意圖六、靜電電壓?典型靜電電壓我們在經(jīng)受3000伏的靜電電壓!!ESD基本原理介紹ESD基本原理介紹六、靜電電壓?人體電容典型值ESD基本原理介紹六、靜電電壓?人體的典型靜電電壓值實際過程中，靜電一邊產(chǎn)生一邊衰減靜電的衰減符合指數(shù)規(guī)律：電容越大，電阻越大，衰減越慢七、靜電放電?靜電荷的衰減規(guī)律ESD基本原理介紹大體而言只要100V以上的

6、靜電壓就可以對半導體產(chǎn)生傷害，故ESD之防護工作，我們不可不慎。電子元器件靜電損傷的典型電壓閥值半導體的抗靜電能力損傷具有隱蔽性：人體不能直接感知靜電除非發(fā)生靜電放電，但是發(fā)生靜電放電人體也不一定能有電擊的感覺，這是因為人體感知的靜電放電電壓為2~3KV，所以靜電具有隱蔽性。失效分析的復雜性：靜電放電損傷的失效分析工作，因電子產(chǎn)品的精、細、微小的結構特點而費時、費事、費錢，要求較高的技術并往往需要使用掃描電鏡等高精密儀器。即使如此，有些靜電損傷現(xiàn)象也難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別，使人誤把靜電損傷失效當作其他失效。這在對靜電放電損害未充分認識之前，常常

7、歸因于早期失效或情況不明的失效，從而不自覺地掩蓋了失效的真正原因。所以靜電對電子器件損傷的分析具有復雜性。電子產(chǎn)品靜電損傷的特點半導體的抗靜電能力損傷具有潛在性：有些電子元器件受到靜電損傷后的性能沒有明顯的下降，但多次累加放電會給器件造成內(nèi)傷而形成隱患。因此靜電對器件的損傷具有潛在性。損傷的隨機性：電子元件甚么情況下會遭受靜電破壞呢？可以這么說，從一個元件產(chǎn)生以后，一直到它損壞以前，所有的過程都受到靜電的威脅，而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機動性性。其損壞也具有隨機動性性。半導體的抗靜電能力電子產(chǎn)品靜電損傷的特點電子產(chǎn)品靜電損傷的形態(tài)A.突發(fā)性完全失效自身短路

8、、幵路、功能喪失、參數(shù)變異。電壓相關失效：介質(zhì)擊穿、PN節(jié)反向漏電。功率相關失效