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1、SilvacoTCAD工藝仿真（一）Tangshaohua,SCU*1Silvaco學習E-Mail:shaohuachn@126.comshaohuachn@qq.comATHENA工藝仿真軟件ATHENA能幫助工藝開發(fā)工程師開發(fā)和優(yōu)化半導體制造工藝。ATHENA提供一個易于使用，模塊化的，可擴展的平臺?？捎糜谀M離子注入，擴散，刻蝕，淀積，以及半導體材質的氧化。它通過模擬取代了耗費成本的硅片實驗，可縮短開發(fā)周期和提高成品率。*2Silvaco學習工藝仿真模塊ATHENA工藝仿真軟件SSuprem4二維硅工藝仿真器MC蒙托卡諾
2、注入仿真器硅化物模塊的功能精英淀積和刻蝕仿真器蒙托卡諾沉積刻蝕仿真器先進的閃存材料工藝仿真器光電印刷仿真器DeckBuild集成環(huán)境*3Silvaco學習ATHENA工藝仿真軟件所有關鍵制造步驟的快速精確的模擬，包括CMOS，bipolar，SiGe，SOI，III-V，光電子學以及功率器件技術精確預測器件結構中的幾何結構，摻雜劑量分配，和應力有助于IDMs，芯片生產廠商以及設計公司優(yōu)化半導體工藝，達到速度、產量、擊穿、泄漏電流和可靠性的最佳結合*4Silvaco學習ATHENA工藝仿真軟件分析和優(yōu)化標準的和最新的隔離流程，包括
3、LOCOS，SWAMI，以及深窄溝的隔離在器件制造的不同階段分析先進的離子注入方法——超淺結注入，高角度注入和為深阱構成的高能量注入支持多層次雜質擴散，以精確預測襯底與鄰近材料表面的雜質行為*5Silvaco學習ATHENA工藝仿真軟件考慮多重擴散影響，包括瞬態(tài)增強的擴散，氧化/硅化加強的擴散，瞬態(tài)激活作用，點缺陷和簇群構造以及材料界面的再結合，雜質分離，和傳輸精確地對幾何刻蝕和共形淀積，以及個別結構和網格處理技術建模，用以允許進行多器件幾何結構的模擬和分析。*6Silvaco學習ATHENA工藝仿真軟件通過MaskViews的
4、掩模構造說明，工程師可以有效地分析在每個工藝步驟和最終器件結構上的掩模版圖變動的影響。與光電平面印刷仿真器和精英淀積和刻蝕仿真器集成，可以在物理生產流程中進行實際的分析。與ATLAS器件模擬軟件無縫集成*7Silvaco學習可仿真的工藝（FeaturesandCapabilities）BakeCMPDepositionDevelopmentDiffusionEpitaxyEtchExposureImagingImplantationOxidationSilicidation具體描述請參見手冊中Table1.1Featuresan
5、dCapabilities*8Silvaco學習ATHENA的輸入和輸出工藝步驟GDS版圖掩膜層一維和二維結構E-test數據(Vt)分析電阻和CV分析涂層和刻蝕外形輸出結構到ATLAS材料厚度，結深CD外形，開口槽ATHENA工藝模擬軟件*9Silvaco學習工藝仿真流程1、建立仿真網格2、仿真初始化3、工藝步驟4、抽取特性5、結構操作6、Tonyplot顯示*10Silvaco學習定義網格網格定義對仿真至關重要定義方式:網格間距會根據loc和Spac自動調整Xy0x1x2s1s2y1y2s3s4*11Silvaco學習lin
6、exlocation=x1spacing=s1linexlocation=x2spacing=s2lineylocation=y1spacing=s3lineylocation=y2spacing=s4網格定義的例子Linexloc=0.0spac=0.1Linexloc=1.0spac=0.1Lineyloc=0.0spac=0.2Lineyloc=2.0spac=0.2Linexloc=0.0spac=0.02Linexloc=1.0spac=0.10Lineyloc=0.0spac=0.02Lineyloc=2.0spac
7、=0.20*12Silvaco學習非均勻網格的例子：均勻網格的例子：網格定義需要注意的地方1，疏密適當在物理量變化很快的地方適當密一些2，不能超過上限（20000）3，仿真中很多問題其實是網格設置的問題，要注意查看報錯的信息和網格定義相關的命令和參數還有：命令，Relax；淀積和外延時的dy,ydy等參數*13Silvaco學習仿真初始化工藝仿真中的初始化（initialize）可定義襯底，也可以初始化仿真定義襯底:material,orientation,c.impurities,resitivity…初始化仿真：導入已有的結
8、構，infile…仿真維度，one.d,two.d…網格和結構，space.mult,scale,flip.y…*14Silvaco學習初始化的幾個例子*Silvaco學習15Initinfile=test.strInitgaasc.selenium=1e15o
