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《大范圍激光直寫系統(tǒng)的激光掃描研究》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫(kù)。
1、B皇墨壁壘!竺塾Q望L星墨璺￡S￡壘墜墜i塾g＆X墨!曼堡Ql!叢星墜壘￡2星：苧￡壘!星L壘璺星￡墜i盥￡!型￡i蔓i望2苧Y璺!星坐ByChunningHaoADissertationSubmittedtoGraduateUniversityofChineseAcademyofSciencesInpartialfulfillmentoftherequirementForthedegreeofMasterofEngineeringShanghaiInstituteofOpticsandFineMec
2、hanics(SIOM)June，2012中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)搠研究所碩士學(xué)位論文IIIIrIllll[1llllIIlUIIUIY2255048研究生入學(xué)時(shí)間2009．092012年06月01日大范圍激光直寫系統(tǒng)的激光掃描研究，郝春寧獨(dú)創(chuàng)性聲明本人聲明所呈的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得的研究成果．據(jù)我所知．除了文中特別加以標(biāo)注和致謝的地方外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所或其他教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或證：島而使用過的材料。與
3、我一同工作的同志對(duì)本研究工作所做的任何貢獻(xiàn)，均已在論文中做了明確的說明并表示謝意。學(xué)位論文作者簽名：簽字日期：伽解堙，月．叫同學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作者完全了解中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，有權(quán)保留并向國(guó)家有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電予文件。允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所可以將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存、匯編學(xué)位論文。(保密的學(xué)位論文在解密后適用本授權(quán)書)學(xué)位論文
4、作者簽名：茲串憲哆．簽字開期‰≯以月一日，)勺I■。J1指導(dǎo)教師虢孑輜，簽字日期：々斫埤羅月訓(xùn)日學(xué)位論文作者畢業(yè)去向：垡發(fā)拉盎直阻公司工作單位：垡發(fā)技苤互眍公圄電話：15墨Ql墨33墨2受通信地址：上篷壹濫壅塹區(qū)塹坌援壁2蟄曼郵編：電子郵件地址：．．叢Q曼迎l@監(jiān)些：墮盟；蛔籃墜延鶩iQ孌：絲：壘娶201206中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所碩士研究生畢業(yè)論文／2012大范圍激光直寫系統(tǒng)的激光掃描研究郝春寧指導(dǎo)老師：徐文東研究員摘要20世紀(jì)80年代發(fā)展起來的“納米科技”引發(fā)了科技的深刻變革，給人們的工
5、作和生活帶來了翻天覆地的變化?！凹{米科技”發(fā)展的源動(dòng)力來自于微納加T技術(shù)的進(jìn)步。激光直寫技術(shù)作為一種先進(jìn)的微納加T技術(shù)，已經(jīng)獲得廣泛的應(yīng)用，并引發(fā)了各研究單位對(duì)于此項(xiàng)技術(shù)研究的熱潮。Pl前，國(guó)際上激光直寫技術(shù)發(fā)展較為迅速，與其他技術(shù)相結(jié)合，在醫(yī)學(xué)、消費(fèi)電子、汽車電子、微光學(xué)、材料學(xué)等領(lǐng)域不斷開疆拓土，而國(guó)內(nèi)激光直寫技術(shù)發(fā)展相對(duì)較晚，工藝水平較國(guó)際領(lǐng)先水平有相當(dāng)?shù)牟罹?。隨著國(guó)內(nèi)各相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，急需開展對(duì)激光直寫技術(shù)原理、工藝、材料及其應(yīng)用的研究，提升激光直寫技術(shù)水平，滿足國(guó)家相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需求。本論文
6、的目的在于開發(fā)一套激光直寫光刻系統(tǒng)，提供一種研究平臺(tái)，為進(jìn)行大范圍、高速度、高精度的激光直寫提供支持。木論文首先介紹了各種微納加工技術(shù)的特點(diǎn)，比較了激光直寫技術(shù)同其它微納加上技術(shù)的4i同和優(yōu)勢(shì)，回顧了激光直寫技術(shù)的國(guó)內(nèi)外研究進(jìn)展，分析了該技術(shù)的演進(jìn)路線和發(fā)展趨勢(shì)，闡述了本論文的研究目的和內(nèi)容，然后介紹了系統(tǒng)原理、架構(gòu)與設(shè)計(jì)，系統(tǒng)的分析了本系統(tǒng)及其各組成部分設(shè)計(jì)的原理和思路，最后設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證本系統(tǒng)的實(shí)際效果。本系統(tǒng)采用的主要技術(shù)有振鏡掃描技術(shù)、自動(dòng)聚焦技術(shù)、共聚焦成像技術(shù)大范圍激光直寫系統(tǒng)的激光掃描研究
7、，郝舂寧和微納拼接技術(shù)，本論文簡(jiǎn)要的分析了各種技術(shù)，著重分析了跟激光掃描相關(guān)的振鏡掃描技術(shù)和自動(dòng)聚焦技術(shù)，及其相關(guān)的控制系統(tǒng)，其中振鏡掃描為激光掃描的主體，自動(dòng)聚焦技術(shù)為保證。關(guān)鍵詞：激光直寫、振鏡掃描、自動(dòng)聚焦、納米技術(shù)中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所碩士研究生畢業(yè)論文／2012ResearchonLaserScanningSystemoftheLarge-ScaleLaserDirectWritingSystemChunningHaoDirectedby：ProfessorWendongXuAbs
8、tractThedevelopmentof”nanotechnology”，whichwasoriginatedin1980s，hastriggeredprofoundchangesintechnologyandbroughtgreatrevolutionsinpeople’Sworkandlife．Thesourcesforthedevelopmentof”nanotechnology”areadvancesinnanofabricationtechn
