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1、4.2厚膜導體材料4.2.1厚膜導體材料實現(xiàn)的功能:(1)在電路節(jié)點之間提供導電布線;(2)提供多層電路導體層之間的電連接;(3)提供端接區(qū)以連接厚膜電阻;(4)提供元器件與膜布線以及更高一級組裝的電互連;(5)提供安裝區(qū)域,一邊安裝元器件.兩大類:貴金屬和賤金屬。對于厚膜導體金屬的要求主要有以下幾點:1)電導率高,TCR?。?)與玻璃不發(fā)生反應(yīng),不向厚膜介電體及厚膜電阻體中擴散;3)與介電體及電阻體的相容性好;4)不發(fā)生遷移現(xiàn)象;5)可以焊接及引線鍵合6)不發(fā)生焊接浸蝕;7)耐熱循環(huán);8)資源
2、豐富,價格便宜。4.2.2厚膜導體材料選用導體時,通常要進行下述試驗:1)測定電阻值(按需要有時也包括TCR)2)浸潤性。測量導體膜上焊料液滴的展寬直徑。3)耐焊料浸蝕性。將導體膜反復浸入焊料液體中,測量到明顯發(fā)生浸蝕的浸入次數(shù)。4)遷移性。在導體圖形間滴上水滴,并施加一定的電壓,測量達到短路經(jīng)過的時間。5)結(jié)合強度。在導體膜上焊接引線,沿垂直于膜面方向拉伸,測量拉斷時的強度,確定破斷位置,分析斷面形貌結(jié)構(gòu)等。6)熱老化后的強度。焊接后,在150攝氏度下放置48小時,測量導線的結(jié)合強度等。下面介
3、紹幾種能較好滿足上述要求的常用厚膜導體材料:a)AgAg漿料的最大優(yōu)點是電導率高。焊接后的Ag厚膜導體,隨時間加長及溫度上升,其與基板的附著強度下降。這是由于Ag與玻璃層間形成Ag-O鍵,以及與焊料擴散成分生成所致。為了防止或減少的發(fā)生,或者使Ag膜加厚,或者在Ag上電鍍Ni.Ag的最大缺點是易化學遷移。這是由于Ag與基板表面吸附的水分相互作用,生成AgOH,它不穩(wěn)定,容易被氧化而析出Ag,從而引起Ag的遷移。為了抑制,一般要在漿料中添加pd或pt.b)Ag-Pd在Ag中添加Pd,當Pd/(Pd
4、+Ag)>0.1左右時,即可較好的抑制Ag的遷移。但當Pd的添加量較多時,會發(fā)生氧化生成PdO,不僅使導體焊接性能變差,而且造成電阻的增加。因此,Ag/Pd比一般控制在(2.5:1)~(4:1).最近,通過粒度控制,采用球形Ag顆粒,防止其凝聚等,使膜的導電性提高,由此開發(fā)出Ag/Pd為(5:1)~(10:1)的制品。為提高Ag-Pd導體的焊接浸潤性,以及導體與基板間的結(jié)合強度,需要添加。在燒成過程中,部分溶入玻璃中,在使玻璃的相對成分增加的同時,它與基板發(fā)生如下反應(yīng):使膜的結(jié)合強度得到增大。焊
5、接時要對膜加熱,加熱時間增加,金屬顆粒與玻璃成分之間分散的,會由于焊料的主要成分Sn向?qū)w內(nèi)部擴散,而發(fā)生還原反應(yīng):從而使膜的結(jié)合強度下降。故最近開發(fā)了許多不含Bi而采用其他玻璃粘結(jié)劑的Pd-Ag漿料,特別是適用于AlN陶瓷基片的漿料。c)Cu與貴金屬相比,Cu具有很高的電導率,可焊接,耐遷移性,耐焊料浸蝕性都好,而且價格便宜。Cu在大氣中燒結(jié)會氧化,需要在氮氣氣氛中燒結(jié)。在多層工藝中與介電體共燒時容易出現(xiàn)分層現(xiàn)象和微孔,由于燒結(jié)時缺氧,有機粘結(jié)劑等不能完全燃燒和排除,與分層一起造成絕緣性能的下
6、降。Cu與基片的界面處易生成(偏鋁酸銅),影響膜與基片的結(jié)合強度和膜的導電性能。d)Au在金漿料中按膜與基片的結(jié)合方式分為玻璃粘結(jié)劑型、無玻璃粘結(jié)劑型、混合結(jié)合型三種。將Au與玻璃粉末分散于有機溶劑中形成玻璃粘結(jié)劑型漿料,在燒結(jié)時玻璃易浮到膜層表面,對導電性及引線鍵合等都有影響。代替玻璃而加入等,與基板反應(yīng),生成(鋁酸銅、鋁酸鎘)等化合物,成為導體膜與基板之間的界面。這種化合物和基板之間形成化學結(jié)合的形式,屬于不用玻璃粘結(jié)劑的漿料,但生成化合物溫度高是難點。因此,出現(xiàn)了加入玻璃及等富于流動性的物
7、質(zhì),使燒結(jié)溫度降低的混合結(jié)合型漿料。4.2.3厚膜漿料的組成與特性厚膜電路是在所需的陶瓷基片上,通過絲網(wǎng)印刷粘性漿料形式的導電的、電阻性的和絕緣的材料。將印刷的厚膜漿料烘干以去除易揮發(fā)的成分,并且暴露在高溫下激活粘結(jié)機理,使厚膜粘附于基板上。利用這種方式,通過逐次沉積各層,可以形成多層之間互連結(jié)構(gòu),其中還可以包含集成的電阻、電容和電感。所有的厚膜漿料都有兩個共同的一般特征:1.它們都是符合非牛頓流變學的粘性流體,適合絲網(wǎng)印刷。牛頓流體:牛頓流體定律中的比例系數(shù)即粘度是一個不變的常數(shù)的這類流體。研
8、究對象是水或氣體等小分子流體非牛頓流體:粘度不再是一個不變的常數(shù)。油漆和涂料剪切變稀流體:非牛頓流體當有外力作用時粘度變得很小,沒有外力時又變得很大,具有這種流變性能的流體稱為“剪切變稀流體”。厚膜漿料即為具有剪切變稀性質(zhì)的非牛頓流體2.厚膜漿料都由兩類不同的多組份相組成,一類相用于實現(xiàn)厚膜的電學和機械特性,一類載體相提供適當?shù)牧髯冃浴3R?guī)的厚膜漿料有四個主要成分:a.形成膜功能的有效成分。b.提供基板與保持活性粒子懸浮狀態(tài)的結(jié)合料之間粘結(jié)的粘結(jié)相c.提供合適的流體特性以適用于絲網(wǎng)印刷的有機粘合