基于透射式條紋偏折法的波前測量系統(tǒng)研究

基于透射式條紋偏折法的波前測量系統(tǒng)研究

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1、基于透射式條紋偏折法的波前測量系統(tǒng)研究Researchonwavefrontmeasurementsystembasedontransmassivefringedeflectometry工程領(lǐng)域:儀器儀表工程作者姓名:蘇雨陽指導(dǎo)教師:張效棟副教授企業(yè)導(dǎo)師:無天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院二零一七年十二月ZHOU,[SFEEffiX,WTI+t+EUlrDJtritflglhtZtrr1.,iAI+4€,AH,fedhE*.fi*E5ittrt^Fnffifi.FxR,&T@AX#?+X,**.+eX4M#Hf/rt6H!+,fn

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5、由曲面透鏡進(jìn)行檢測,以判斷其是否符合設(shè)計要求至關(guān)重要。透射式條紋偏折法測量系統(tǒng)由條紋顯示器與采集變形條紋的相機(jī)組成,系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、曲率測量范圍大、測量速度快、精度高,適合光學(xué)自由曲面透鏡的測量。因此本文對透射式條紋偏折測量法進(jìn)行了研究,設(shè)計開發(fā)了一種基于透射式條紋偏折法的自由曲面透鏡波前測量系統(tǒng)。本文的主要內(nèi)容如下:1.介紹了透射式條紋偏折法的工作原理,建立系統(tǒng)參數(shù)標(biāo)定模型,實現(xiàn)從顯示器屏幕相位坐標(biāo)系到相機(jī)坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換,用相移法和相位解包裹技術(shù)恢復(fù)條紋的初始相位,利用泊松重建法由波前斜率重建波前。2.對透射式條紋偏折法測量系統(tǒng)的測量

6、過程進(jìn)行建模仿真,通過對比仿真結(jié)果,分析了采用非平行光對測量精度的影響。同時,對比具有透鏡位置標(biāo)定誤差時與不含有透鏡標(biāo)定位置誤差時的測量仿真結(jié)果,分析了透鏡位置標(biāo)定精度對透鏡屈光度測量精度的影響。3.搭建透射式條紋偏折法波前測量系統(tǒng),分別對單光鏡、兩個不同大小的F-Theta透鏡、漸進(jìn)多焦點鏡片進(jìn)行實際測量實驗,對波前斜率、積分重建波前、透鏡球鏡度、柱鏡度分布進(jìn)行測量和結(jié)果分析。關(guān)鍵詞:透射式條紋偏折法,自由曲面透鏡,系統(tǒng)標(biāo)定,相位解算,波前重建IABSTRACTOpticalfree-formlenshasahigherdegre

7、eofdesignfreedomthantraditionallens,andisanimportantdevelopmentdirectionofmodernopticalsystemdesign.Free-formsurfacesfromdesigntoapplicationsrequireextremelyhighmachiningaccuracy.Thereforeitisessentialtotestthefree-formlensesmachinedtofindwhethertheymeettherequirements

8、ofdesign.Transmissivefringedeflectometry(TFD)wavefrontmeasurementsystemconsistsofacomputermonitordisplayingfringesandacamerareceivingdistortedfringes,whichhastheadvantagesofsimplestructure,largemeasuringrangeofcurvature,fastmeasuringspeedandhighprecision,andissuitablef

9、orthemeasurementoffree-formlenses.Inthispaper,themethodofTFDisstudied,ameasurementsystemoffree-formlensisdesignedandd

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