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《沉積溫度對氟化非晶碳薄膜結構和性質的影響》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關內容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、蘇州大學碩士學位論文沉積溫度對氟化非晶碳薄膜結構和性質的影響姓名：陳玲玲申請學位級別：碩士專業(yè)：材料物理與化學指導教師：程珊華20040401掃C積溫度刊氟化非品碳薄膜結構和4h質的蟛I
2、_甸中文摘要本文以C2H2和CHF3為源氣體在微波ECR—CVD系統(tǒng)中沉積了a-C：F薄膜，并在5000C真空氣氛下進行了熱處理。重點研究了沉積溫度對薄膜性質的影響。分析了薄膜的化學鍵和結合態(tài)隨沉積溫度的變化情況，測量了薄膜的透光譜，進而計算了光學帶隙，考察了沉積溫度對薄膜介電性質的影響。結果表明，提高沉積溫度有助于薄膜的熱穩(wěn)定性。薄膜主要是由CF
3、x鏈狀及不飽和C=C鍵組成；CFx基團的濃度在高溫下減??；CFx吸收峰的峰位在較高溫度下稍微向低波數(shù)方向偏移。薄膜C=C鍵含量與光學帶隙之間存在著密切的關聯(lián)；較低溫度下沉積的薄膜具有較低的介電常數(shù)；薄膜漏電流的大小與薄膜中的的sP碳含量有關，室溫下沉積的膜，因富含高負電性的氟原子，其能隙值較大，電子躍遷幾率較小，因而其漏電流較低。關鍵詞a．C：F薄膜、沉積溫度作者：陳玲玲指導教師：程珊華型坐!!!墮坐21墅!!塑!!e!!!些!!業(yè)坐!!型!豎苧e!!￡!!唑!!!!：!：!型竺!!墮塑竺Influenceofdepositiont
4、emperatureonthestructure&propertiesofa—C：FfilmsAbstractAsoneofpromisinginterlaydielectricsusedinthefutureULSI，fluorinatedamorphouscarbonfilm(a—C：F)hasbeenattractedintensivelyAllkindsoftechniquesforthedepositionofa-C：Ffilmswereintroduced．Manystudiesonelectricalproperty,
5、thermalstability,etcforthea-C：Ffilmswerecan'iedout．However，fewreportsonthecorrelationbetweenthedepositiontemperatureandfilmpropertiesweremade．Inthisthesis，F(xiàn)luorinatedamorphouscarbonfilms(a—C：F)werepreparedatdifferenttemperaturesusingamicrowaveelectroncyclotronresonance
6、chemicalvapordeposition(ECR—CVD)reactorwithCHF3andC2H2assourcegasesFilmswereannealedat5000Cinvacuumambienceinordertoinvestigatetheirthermalstability,opticalandelectricalpropertieswithdepositiontemperature．ResultsindicatethatfilmsdepositedathightemperaturehavelessCFxbon
7、dingandmorecross—linkingstructuresthusabetterthermalstability．Theyalsohavealowerbandgap，higherdielectricconstantandhigherleakagecurrentKeywords：fluorinatedamorphouscarbonfilm，depositiontemperatureifWrittenby：CheninglingSupervisedby：ChenghanhuaY645680蘇州大學學位論文獨創(chuàng)性聲明及使用授權聲
8、明學位論文獨創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所提交的學位論文是本人在導師的指導下，獨立進行研究工作所取得的成果。除文中已經注明引用的內容外，本論文不含其他個人或集體已經發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不含為獲得蘇州大學或其它教育機構的學位證書而使用過的材料。對本文的研究作出重要貢獻的個人和集體，均已在文中以明確方式標明。本人承擔本聲明的法律責任。研究生簽名：2壟整鹼日期：主竺z：暨學位論文使用授權聲明蘇州大學、中國科學技術信息研究所、國家圖書館、清華大學論文合作部、中國社科院文獻信息情報中心有權保留本人所送交學位論文的復印件和電子文檔，可以采用影印
9、、縮印或其他復制手段保存論文。本人電子文檔的內容和紙質論文的內容相一致。除在保密期內的保密論文外，允許論文被查閱和借閱，可以公布(包括刊登)論文的全部或部分內容。論文的公布(包括刊登)授權蘇州大學學位辦辦理。研究生簽名：i!壟：絲：逢
