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《氧化鋯陶瓷生坯的微細(xì)切削加工研究》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫(kù)。
1、碩士學(xué)位論文氧化鋯陶瓷生坯的微細(xì)切削加工研究MicroMachiningofZirconiaGreenBody學(xué)21004064大連理工大學(xué)DalianUniversityofTechnology大連理工大學(xué)學(xué)位論文獨(dú)創(chuàng)性聲明作者鄭重聲明：所呈交的學(xué)位論文，是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下進(jìn)行研究工作所取得的成果。盡我所知，除文中已經(jīng)注明引用內(nèi)容和致謝的地方外，本論文不包含其他個(gè)人或集體已經(jīng)發(fā)表的研究成果，也不包含其他已申請(qǐng)學(xué)位或其他用途使用過的成果。與我一同工作的同志對(duì)本研究所做的貢獻(xiàn)均已在論文中做了明確的說明并表示了謝意。若有不實(shí)之處，本人愿意承擔(dān)
2、相關(guān)法律責(zé)任。學(xué)位論文題目：氫絲絲陶瓷生堡盟邀繩翅削盤王玨究作者簽名：——二么糾』墮>-一日期：盟年—五月—乙日氧化鋯陶瓷生坯的微細(xì)切削加工研究摘要陶瓷材料優(yōu)良的機(jī)械性能，使其在微機(jī)電系統(tǒng)中有廣闊的應(yīng)用前景。采用微細(xì)切削加工方法在陶瓷生坯上加工三維結(jié)構(gòu)，既可以提高加工效率，又可以降低成本，是很有前景的加工方法。本文在氧化鋯陶瓷生坯上，開展了微細(xì)結(jié)構(gòu)加工研究，主要研究了邊緣加工質(zhì)量、致密化燒結(jié)后收縮率變化規(guī)律和尺寸精度的控制問題。采用單向壓制成型方法制備生坯，通過壓力使粉末成型并具備一定強(qiáng)度，用三點(diǎn)抗彎實(shí)驗(yàn)測(cè)定了不同壓制壓力下的坯體抗彎強(qiáng)度，
3、得到了抗彎強(qiáng)度與壓制壓力的關(guān)系：隨著壓制壓力的增加，坯體的強(qiáng)度也在增加，并且基本呈線性變化。在生坯上開展微細(xì)結(jié)構(gòu)的加工，研究了坯體強(qiáng)度對(duì)加工質(zhì)量的影響，通過比較微結(jié)構(gòu)邊緣的輪廓完整度和破損程度來(lái)判斷加工質(zhì)量的好壞，結(jié)果表明坯體強(qiáng)度越大，加工質(zhì)量越好。分析了加工屑聚集成云團(tuán)狀的過程和原因，以及對(duì)斜壁腔和直壁腔邊緣加工質(zhì)量的影響。陶瓷生坯在燒結(jié)后會(huì)出現(xiàn)一定的體積收縮，本文研究了不同壓力下壓制的生坯收縮率變化。結(jié)果表明，同一壓力下，坯體x向和Y向收縮率一致，并且不同高度處的x、Y向收縮率無(wú)明顯差異。隨著壓力的增加，X、Y、z向收縮率逐漸減小，z向
4、收縮率對(duì)壓力更敏感。為得到尺寸正確的微細(xì)結(jié)構(gòu)，研究了影響尺寸精度的因素，重點(diǎn)研究了z向尺寸的控制。首先改進(jìn)實(shí)驗(yàn)裝置，解決了加工零點(diǎn)位置設(shè)置的問題。接著研究了加工系統(tǒng)的接著研究了加工系統(tǒng)的軸向變形量，得到了一定加工參數(shù)下軸向加工力的變化規(guī)律和系統(tǒng)的剛度，確定了系統(tǒng)的軸向變形量。然后分析了刀具磨損規(guī)律，得到了刀具在初期磨損階段和正常磨損階段的相對(duì)體積損耗率，并推出了計(jì)算刀具軸向損耗量的經(jīng)驗(yàn)公式。最后對(duì)系統(tǒng)軸向變形量、刀具磨損量、收縮率進(jìn)行補(bǔ)償，在生坯上加工微小型腔，結(jié)果表明加工及燒成尺寸與目標(biāo)尺寸基本一致，生坯加工后Z向最大絕對(duì)偏差1Alan，
5、致密化燒結(jié)后，Z向最大絕對(duì)偏差3．8岬，表明所采用的補(bǔ)償方法可以有效控制Z向尺寸。關(guān)鍵詞：陶瓷生坯；微細(xì)加工；生坯強(qiáng)度；收縮率；尺寸精度控制氧化鋯陶瓷生坯的微細(xì)切削加工研究MicroMachiningofZirconiaGreenBodyAbstractDuetotheexcellentmechanicalproperties，ceramicmaterialshavebroadapplicationsinmicroelectromechanicalsystem(MEMS)．Usingmicro-cuttingmethodtomachine3
6、dimensionalstructuresonthecomicgreenisaverypromisingprocessingmethod，whichimprovesmachiningefficiencyandreducescosts．Inthispaper,theedgequality,sinteringshrinkageandcontrolofdimensionalaccuracyweresystematicallyinvestigatedbymillingmicro-featuresonthezirconiagreencompacts．
7、碭egreenbodieswerepreparedbypressingziconiapowdersinamoldwithdifferentpressures．Three-pointbendingtestswerecarriedouttomeasuretheflexurestrengthofgreenbodies．，nleresultrevealsthatthestrengthofthebodiesisalinearincreasewimanincreaseofthepressingpressure．neinfluenceofstrength
8、ofgreenbodiesonthemachiningqualityWasinvestigatedbymachiningmicrostructuresongreenbodies．
