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1、奈米氣體感測器技術(shù)林鴻明材料工程學系大同大學簡介氣體感測器技術(shù)的發(fā)展趨勢由傳統(tǒng)的陶瓷、液態(tài)電化學技術(shù)逐漸進展至厚膜、薄膜、半導體技術(shù)；目前更進展至微機電技術(shù)。產(chǎn)品趨勢多以輕、薄、短、小及省能源為訴求，微機電技術(shù)有助於感測元件大量生產(chǎn)，達到一致性、省能源、微小化、積體化、多功能及智慧化之目標。分析儀器與氣體感測器比較ComparisonbetweenanalyticalinstrumentsandgassensorsAnalyticalinstrumentGassensorDataprecisionexc
2、ellent(absolutevalue)excellent-fairDataacquisitiontimelongrealtimeSizelargecompactCosthighlowApplicationenvironmentalprocesscontrolmonitoringmonitoringstationarysitestationarysitemobilesite氣體污染容忍標準Airpollutants,theirconcentrationrangesandthemethodsofdete
3、ctioncurrentlyadoptedConcentrationrange(ppm)DetectionMethodGasInairInexhausts45CO2300-100010–2x10IRabsorptionISE(pH)thermalconductivity-3chemicalNOx10-101-2000luminescencea(<60)IRabsorptionPSelectrolysis-3SO210-101-2000flamephotometer(<100)UVfluorescence
4、IRabsorptionUVabsorptionPSelectrolysis-3chemicalO310-1luminescenceUVabsorption-6-3FC10–10leakageleakagedetector1-1000aEmissionstandardsforthermoelectricpowerplants(Japan).bAbbreviation:UV=ultraviolet,IR=infrared,PS=potentiostatic,ISE=ionselectiveelectrod
5、ecFC=Fluorocarbon氣體感測器商業(yè)化歷史氣體感測器發(fā)展的歷史商品化年代公司名及應(yīng)用開發(fā)年代Riken-KeikiCo.觸媒燃燒型19231965瓦斯警報器、廢氣監(jiān)視器FigaroEng,Inc.氧化物半導體型19621967酒精、瓦斯及多種氣體感測器BoschCo.固態(tài)電解質(zhì)型19611976汽車用氧器感測器、環(huán)保氣體偵測器Lindstrom場效電晶體型19761976氫氣感測器(Pd-gateFET)化學感測器之工業(yè)應(yīng)用化學感測器市場化學感測器的世界市場(單位：百萬馬克)年1988199
6、019952000國家德國223.7267.1451.8736.3其他西歐國家455.0543.3843.11374.0美國10341234.71674.72729.0日本442.0527.9892.61454.7合計2154.72573.03862.26294.0每年以10%之成長速度
