多層片式電感器用NiCuZn鐵氧體的低溫?zé)Y(jié)+

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1、第卷第期無機(jī)材料學(xué)報(bào),年月,多層片式電感器用鐵氧體的低溫?zé)Y(jié)’何新華熊茂仁凌志遠(yuǎn)丘其春華南理工大學(xué)材料學(xué)院電子材料科學(xué)與工程系廣州摘要本文利、用作為燒結(jié)促進(jìn)劑實(shí)現(xiàn)了鐵氧體在以下燒結(jié)利用、等分析手段研究的低溫?zé)Y(jié)機(jī)理,并確定最佳燒結(jié)溫度范圍在之間一分析結(jié)果表明加入后生成另相化合物燒結(jié)后期少量的固溶有助于穩(wěn)定高溫,爭相的立方結(jié)構(gòu)避免了冷卻過程中的晶型轉(zhuǎn)變另相的存在能有效地阻止晶粒長大,從而達(dá)到改性的目的多,鐵氧體,系,關(guān)分類鍵號詞層片式電感器低溫?zé)Y(jié)引言表面組裝技術(shù)·的推廣和普及極大地推動了片式元件的發(fā)展年代片式電容,,,和片式電阻得到迅猛發(fā)展并日趨成熟作為三大無源片式元件之一的片式電感器由于

2、、,技術(shù)含量高生產(chǎn)難度大而成為元件片式化的難點(diǎn)阻礙了元件片式化的進(jìn)程由于傳統(tǒng),以及小,、、的繞線型片式電感器缺乏磁屏蔽型化受到一定的限制導(dǎo)致可靠性高體積小磁屏蔽性能好的多,層片式電感器的間世及迅速發(fā)展使得多層片式電感器成為年代國際上片式元件發(fā)展的重點(diǎn)之一多層片式電感器的工藝技術(shù)關(guān)鍵是實(shí)現(xiàn)軟磁鐵氧體,這和純內(nèi)導(dǎo)體材料的共燒結(jié)就要求其中的軟磁鐵氧體,必須具有低溫?zé)Y(jié)和高性能兼?zhèn)淦駷橹寡芯枯^多的低燒軟磁鐵氧體是鐵氧體,并已成為目前制備所廣泛采用的磁介質(zhì)材料利用可使鐵氧體的燒結(jié)溫度降·至左右但多層片式電感器一般要、,,求采用導(dǎo)電性能好且價格相對較低的純作為內(nèi)導(dǎo)體由于純的熔點(diǎn)為因,以防此要求鐵氧體

3、的燒結(jié)溫度應(yīng)低于止擴(kuò)散造成內(nèi)導(dǎo)體電阻率的增加以及的偏析引起的磁性能惡化降低鐵氧體燒結(jié)溫度的方法主要有三種引入低熔點(diǎn)物質(zhì)或能與基料中某些成份形·成低共熔物的添加劑,以便在較低溫度下形成液相或過渡液相燒結(jié),降低燒結(jié)溫度引入某些異價離子,或配合適當(dāng)氣氛使之在燒結(jié)過程中形成高濃度的離子缺陷以促進(jìn)燒結(jié)超細(xì)顆粒法一利用超細(xì)粒子具有的高表面活化能作為燒結(jié)推動力實(shí)現(xiàn)低溫?zé)Y(jié)一,一一一收到初稿收到修改稿一一國家計(jì)劃新材料領(lǐng)域資助項(xiàng)目無機(jī)材料學(xué)報(bào)卷【一,利用化學(xué)法制備超細(xì)鐵氧體粉很不成熟目前仍處于研究階段引入異價,’,,離子只能很有限地降低燒結(jié)溫度采用特殊氣氛燒結(jié)生產(chǎn)設(shè)備要求嚴(yán)格費(fèi)用昂貴采用加入低熔點(diǎn)玻璃的方

4、法,雖可大幅度降低鐵氧體的燒結(jié)溫度,但增添了熔制玻璃工,可序故本文選用低熔點(diǎn)氧化物法是一種良好的燒結(jié)促進(jìn)劑以比鉛玻璃更有效、,地降低鐵氧體的燒結(jié)溫度川熔體粘度低潤濕性好有助于促進(jìn)雜質(zhì)離子從主晶相到晶界區(qū)的遷移本文,結(jié)合、、主要研究對鐵氧體的燒結(jié)和電磁性能的影響,,一分析對的低溫?zé)Y(jié)機(jī)理進(jìn)行探討并利用衍射分析確定瓷體中的另相實(shí)驗(yàn)方法樣品制備、、、、,以分析純或化學(xué)純?yōu)樵习慈辫F鐵氧體配·。寧。。。。。忍。。。。。。、方式制備鐵氧體比和含量的選擇是基于低燒結(jié)溫度,和高值兼?zhèn)湓匣旌虾笥陬A(yù)燒然后分別加入,,,,,、、,作為燒結(jié)促進(jìn)劑粉碎混合后造粒成型于燒結(jié)成磁環(huán)燒結(jié)完畢后隨爐自然冷卻樣品測試?yán)?

5、‘用和同軸腔測試夾測量各標(biāo)準(zhǔn)環(huán)的磁譜利用繞線法在阻抗增益頻譜測量儀上測量樣品的戶‘一曲線樣品體積密度的測量采用阿基米德比重法利用·一衍射儀對燒結(jié)樣品進(jìn)行射線分析利用掃描電子顯微鏡觀察樣、、品斷口形貌利用熱分析儀測定樣品的曲線結(jié)果和討論對燒結(jié)性能的影響。圖示出不同含量下鐵氧體的體積密度與燒結(jié)溫度之間的關(guān)系,,,曲線可見體積密度隨燒結(jié)溫度的提高而增加且隨含量的增加而增加當(dāng)燒結(jié)溫·“,,度為左右時體積密度達(dá)到最大值燒結(jié)溫度過高時體積密度有所下降燒結(jié)溫度隨含量的增,加迅速下降當(dāng)含量增加到左右時燒結(jié)溫度降至繼續(xù)增加含量,燒結(jié)溫度不再下降,二“,在燒結(jié)過程中低熔點(diǎn)的在晶界和晶粒交叉點(diǎn)形成液相加速傳質(zhì)進(jìn)

6、程,促進(jìn)瓷體的致密化,使樣品在較低的溫度下達(dá),并且體積密度隨到較高的體積密度分子量較大的含量的增加而提高的低溫?zé)Y(jié)屬,測量于典型的液相燒結(jié)為了進(jìn)一步認(rèn)識的低溫?zé)Y(jié)機(jī)理了不同燒結(jié)溫度下加入的樣△,品的直徑收縮率刃功圖當(dāng)溫度時,樣,基本上沒有收縮現(xiàn)象發(fā)生當(dāng)溫度后品開始收縮在附近快速收縮因此認(rèn)為在該溫度下形成了液相、、圖示出預(yù)燒成型后圓環(huán)在燒結(jié)過程中的和曲線從圖上可以看期何新華等多層片式電感器用鐵氧體的低溫?zé)Y(jié),,出左右水分的蒸發(fā)造成少量的失重之間曲線出現(xiàn)了一,,個較大的放熱峰主要是粘合劑的排除同時伴隨大量失重介由于瓷料粉粒較,,,細(xì)在就開始出現(xiàn)收縮樣品均勻放熱曲線基本保持不變這一過程相應(yīng)于,以

7、及繼續(xù)合成主細(xì)粉粒表面自由能的降低晶相所產(chǎn)生的能量的釋放當(dāng)溫度達(dá)到凈勺嘴潤合的。的。東趁。暮盆從一℃遙習(xí)℃圖不同含量下鐵氧體的。體積密度與燒結(jié)溫度之間的關(guān)系一圖鐵氧體的△叻叻孔曲線△功價劣一的戶曰喲尸一門川一幾毛咨卜堿口、日三二趁口一,一尸曰價一︸一刁一【’‘一、、‘遙〔’圖、、曲線,,,曲線接近最大值,此時開始減小,“左右曲線出左右時現(xiàn)一,說明單位時個凹谷間放出熱量減少這是由于與鐵氧體的其它組份形成的,相應(yīng)少量低共熔物

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