靜電防護(hù)管理規(guī)范最新版

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1、WORD格式-專業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯靜電防護(hù)管理規(guī)范文件編號(hào):版本:V3.0生效日期:2013-03-20WORD格式-專業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯WORD格式-專業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯WORD格式-專業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯WORD格式-專業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯文件修訂履歷版次V0V1V1.1V1.2V1.3V2V2.11、V2.2V2.3V2.4V2.5V2.6V3.0部門CS部有√√份數(shù)1WORD格式-專業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯WORD格式-專業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯1目的防止靜電對(duì)靜電敏感器件造成早期損壞或縮短使用壽命;使ESD防護(hù)工作具有較強(qiáng)的可操作性。2適用范圍從靜

2、電敏感器件進(jìn)貨到產(chǎn)品形成的全過程3定義3.1靜電放電(ESD)處于不同電位的兩個(gè)物體之間,由于直接接觸或者電場感應(yīng)導(dǎo)致的電荷傳輸。3.2靜電敏感器件(ESDS)在常規(guī)處理、測試或運(yùn)輸中可能會(huì)受到靜電場或者靜電放電損害的分立器件、集成電路或組件。3.3靜電的發(fā)生及帶電3.3.1靜電的定義:物質(zhì)是由分子組成,分子是由原子組成,原子是構(gòu)成一切化學(xué)元素的最小微粒,由帶正電的原子核和帶負(fù)電的圍繞原子核旋轉(zhuǎn)的電子組成。在正常狀況下,原子所帶的正負(fù)電荷相等,所以對(duì)外表現(xiàn)出電中性。但是在某種條件下,當(dāng)物質(zhì)原子中的這種電平衡狀態(tài)被打破,丟失或獲得電子,物質(zhì)即由

3、電中性狀態(tài)改變?yōu)閹щ姞顟B(tài)。丟失電子,則表現(xiàn)為帶正電;獲得電子,則表現(xiàn)為帶負(fù)電。這種物體表面所帶過剩或不足的相對(duì)靜止不動(dòng)電荷,稱之為靜電。3.3.2靜電的產(chǎn)生:靜電的產(chǎn)生有多種,這里主要講述與電子制程緊密相關(guān)的接觸起電、感應(yīng)起電、剝離起電、摩擦起電;其它如:粉體帶電、液體靜電、氣體帶電、飛沫帶電、噴出帶電在此不進(jìn)行講述。3.3.2.1接觸起電:當(dāng)兩種物質(zhì)接觸時(shí),其間距小于2.5×10-8cmWORD格式-專業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯WORD格式-專業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯時(shí)在其間即發(fā)生電子的轉(zhuǎn)移,界面兩側(cè)出現(xiàn)大小相等,符號(hào)相反的兩種電荷3.3.2.2感應(yīng)起電

4、:它是導(dǎo)體在外部靜電場作用下,在不同部位表面感應(yīng)出不同符號(hào)的電荷3.3.2.3剝離起電:兩個(gè)接觸非常緊密的物質(zhì),在外力作用下突然分開,由于剝離的原因使物體帶電3.3.2.4摩擦起電:由于摩擦生熱,熱使離子(電子)的活性增加,容易向其他物體轉(zhuǎn)移3.3.3靜電的危害3.3.3.1對(duì)人體產(chǎn)生電擊:帶了電的人體接近接地體時(shí),會(huì)由于靜電放電產(chǎn)生的瞬間沖擊電流流過人體某一部位而引起電擊?;蛘呤窃瓉聿粠щ姷娜梭w接近一個(gè)帶電物體時(shí),帶電物體對(duì)人體放電而引起的電擊。3.3.3.2對(duì)電子組件的損壞:對(duì)組件的損壞大體可分為兩種失效模式:一、突發(fā)性完全失效即一次性擊

5、穿、燒毀,產(chǎn)品在拿取、傳遞、作業(yè)時(shí)由于靜電放電造成的產(chǎn)品完全破壞,永久失效;二、潛在性緩慢失效即靜電放電使產(chǎn)品造成毫無規(guī)律可循的潛在性失效,導(dǎo)致其可靠性下降。3.4絕緣體與導(dǎo)體3.4.1絕緣體絕緣體具有大表面電阻率,一般大于或等于1011Ω。產(chǎn)生靜電時(shí)即使接地電荷也不會(huì)泄放到大地,物體仍處于帶電狀態(tài)。如:普通塑料制品、乙烯等3.4.2導(dǎo)靜電體導(dǎo)體一般表面電阻率≥102Ω和<105Ω范圍,電荷具有良好的流動(dòng)性,進(jìn)行接地電荷會(huì)大量流向大地,造成大電流而損壞電子元器件或擊傷人體。3.5防靜電材料定義WORD格式-專業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯WORD格式-專

6、業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯3.5.1根據(jù)防靜電材料的導(dǎo)電性能,可分為靜電絕緣、耗散、導(dǎo)電、屏蔽四種。靜電絕緣材料:表面電阻率≥1011Ω;靜電耗散材料:表面電阻率≥105Ω和<1011Ω;靜電導(dǎo)電材料:表面電阻率≥102Ω和<105Ω;靜電屏蔽材料:表面電阻率<102Ω;3.5.2ESD防護(hù)項(xiàng)目的表面電阻的要求工作表面、存放架、電動(dòng)車、手推車、周轉(zhuǎn)箱、物料盒、周轉(zhuǎn)架、地板、服裝、鞋子、椅子等表面電阻為104—1010Ω;包裝材料(如:膠袋、膠帶、膠紙、包裝紙、吸塑品等)的表面電阻為:105≤R<1011Ω。3.6靜電發(fā)生源3.6.1人:人是最大的靜電

7、發(fā)生源。人在作業(yè)過程中的任何操作都可能使人的皮膚、頭發(fā)、衣服等帶上靜電。3.6.2環(huán)境:地板、工作臺(tái)面、儀器設(shè)備等都是靜電發(fā)生源。3.6.3材料:生產(chǎn)中的一些原材料、生產(chǎn)輔助材料、包裝材料等也可能是靜電發(fā)生源。表1常見物體的靜電發(fā)生序列WORD格式-專業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯WORD格式-專業(yè)學(xué)習(xí)資料-可編輯序號(hào)材料序號(hào)材料1空氣12棉布2人手13鋼3兔毛14木材4玻璃15琥珀5云母16硬橡膠6頭發(fā)17鎳、銅7尼龍18黃銅、銀8羊毛19聚脂人造纖維9絲綢20聚乙烯10鋁21聚丙烯11紙22聚氯乙烯-+3.7漏電測試工具如電批、電視機(jī)、功放、示波器;

8、由于使用220V電進(jìn)行供電,會(huì)產(chǎn)生對(duì)地的漏電;漏電電壓較低,不會(huì)超出供電電壓;不會(huì)像靜電那樣具有幾千伏的電壓;但漏電電流較強(qiáng),進(jìn)行可靠設(shè)備接地后要求漏電電壓AC小于

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