《晶硅電池生產(chǎn)工藝》PPT課件

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1、電池工藝流程1化學(xué)清洗⑴原片分揀⑵去損傷層⑶制作絨面⑷鹽酸清洗2擴(kuò)散刻蝕⑴擴(kuò)散制結(jié)⑵刻蝕去邊⑶去PSG層3制減反膜PECVD設(shè)備4印刷電極5燒結(jié)6分選⑴印刷正極⑵印刷背場(chǎng)⑶印刷負(fù)極把正負(fù)極和硅片燒在一起以便導(dǎo)電APCVD設(shè)備或手工噴涂⑷印刷視頻清洗工藝1原片分揀（1）根據(jù)電阻率把電池分類。硅片常見電阻率分類0.5-6Ω·㎝，0.5-3Ω·㎝，3-6Ω·㎝。（2）把藏片，厚片，薄片，缺損片，厚度不均勻片取出2去損傷層：Si+2NaOH（30%）+H2O→Na2SiO3+2H2↑，原叫減?。ㄔ瓉砉杵瘢?300μm,目前180±20μm）。思考：為什么硅片厚度會(huì)由

2、300降低到180？3制絨Si+2NaOH(0.8%-1.3%)+H2O→Na2SiO3+2H2↑，溶液中加有酒精或異丙醇，增加各向異性引子，加速形成金字塔。85℃左右，時(shí)間10-50分鐘4鹽酸洗（V濃鹽酸：V水=1:6）或鹽酸（37%）雙氧水（30%）混合洗（II號(hào)清洗液）（V濃鹽酸：V雙氧水：V水=1：1：6）85℃左右，清洗5-20分鐘。鹽酸具有酸和絡(luò)合劑的雙重作用，氯離子能與Pt2+、Ag+、Cd2+、Hg2+等金屬離子形成可溶于水的絡(luò)合物。5HF洗（VHF:V水=1：10），室溫,5-10分鐘。有些廠家不用。返回首頁(yè)兩張多晶硅絨面顯微照片擴(kuò)散POCl3

3、在高溫下（>600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反應(yīng)式如下如果氧氣充足，PCl5能和氧繼續(xù)反應(yīng)生成Cl2和P2O5。為了避免產(chǎn)生PCl5，應(yīng)通入適量氧氣。等離子刻蝕硅擴(kuò)散后硅片表面有磷硅玻璃產(chǎn)生。SiO2混合P和P2O5。用HF清洗掉表面的磷硅玻璃。HF和水體積比1:10偏磷酸P2O5+H2O-------2HPO3H3PO4-------HPO3+H2O返回首頁(yè)鈦酸丁酯（Ti(OC2H5)4）無色至淺黃色液體。在-55℃時(shí)為玻璃狀固體，置空氣中易固化成透明細(xì)片。遇水分解。形成TiO2膜層的主要物質(zhì)。顏色厚度（埃）顏色厚度（埃）顏色

4、厚度（埃）硅本色0-200很淡藍(lán)色1000-1100藍(lán)色2100-2300褐色200-400硅本色1100-1200藍(lán)綠色2300-2500黃褐色400-500淡黃色1200-1300淺綠色2500-2800紅色550-730黃色1300-1500橙黃色2800-3000深藍(lán)色730-770橙黃色1500-1800紅色3000-3300藍(lán)色770-990紅色1800-1900淡藍(lán)色930-1000深紅色1900-2100氮化硅膜的顏色與厚度的對(duì)比表返回首頁(yè)返回首頁(yè)紅外加熱燈管鹵鎢燈縱向溫度分布曲線橫向溫度的穩(wěn)定性連續(xù)和非連續(xù)放片返回首頁(yè)溫區(qū)1溫區(qū)2溫區(qū)3溫區(qū)4溫

5、區(qū)5溫區(qū)6溫區(qū)7150℃200℃300℃400℃560℃640℃875℃一個(gè)燒結(jié)爐的溫區(qū)溫度分選測(cè)試光源：氙燈。模擬太陽光。AM1.51000W/m2分檔方法：1按轉(zhuǎn)換效率(功率)分檔2按最大功率點(diǎn)電流分檔后者更好些。測(cè)試參數(shù)：Voc開路電壓Isc短路電流FF填充因子Pm最大功率Ipm最大功率處電流Vpm最大功率處電壓Rs串聯(lián)電阻Rsh并聯(lián)電阻返回首頁(yè)電池生產(chǎn)線輔助儀器設(shè)備一覽表儀器名稱用途產(chǎn)地或銷售商型號(hào)價(jià)格（萬元RMB）備注少子壽命儀測(cè)試少子壽命匈牙利Semilabwt－2000121.6wt－1000b34.2wt－100024.7美國(guó)SintonCons

6、ultingWct-12018.2$23350+$600(運(yùn)費(fèi))（此為到岸價(jià)）硅片分揀儀按某參數(shù)給硅片分類上海星納電子科技MS20322橢偏儀測(cè)試減反膜厚度折射率臺(tái)灣致東光電D824還有其他型號(hào)德國(guó)SentechSe40040積分式反射儀測(cè)試表面反射率臺(tái)灣致東光電20.8金相顯微鏡觀察硅表面金字塔南京江南永新公司待定1待定好的顯微鏡燒結(jié)溫度測(cè)試監(jiān)測(cè)燒結(jié)爐溫度英國(guó)datapaqDatapaq90007.6Corescan測(cè)試燒結(jié)后歐姆接觸北京華通特瑞光電科技55.212350，714歐元塵埃離子計(jì)數(shù)器測(cè)試車間塵埃粒子蘇州三興凈化公司clj－10.9高精度電子秤測(cè)試

7、漿料用量德國(guó)賽多利斯或其他公司待定0.25一般電子秤測(cè)試化學(xué)藥品重量待定0.1方塊電阻測(cè)試儀測(cè)試擴(kuò)散方塊電阻蘇州電訊儀器廠Sx19341.43×3電導(dǎo)率儀監(jiān)測(cè)純水電導(dǎo)率上海雷磁儀器廠待定0.25萬用表測(cè)試刻蝕后邊緣電阻隨意待定0.015以上輔助設(shè)備最高價(jià)合計(jì)247.905萬，最低價(jià)合計(jì)135.605萬2.3去磷硅玻璃3制減反膜4.1背電極印刷4.2背場(chǎng)印刷4.3正面電極印刷5燒結(jié)清洗前檢測(cè)(據(jù)厚度、電阻率等分揀，分揀儀器)刻蝕結(jié)果檢測(cè)(萬用表)減反膜檢測(cè)(橢偏儀)2.2刻蝕機(jī)×3清洗結(jié)果檢測(cè)(反射儀,顯微鏡)水質(zhì)監(jiān)測(cè)(電導(dǎo)率儀)化學(xué)品稱量(一般電子秤)1清洗機(jī)一

8、套2.1擴(kuò)散爐×2擴(kuò)散結(jié)