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1、電子產(chǎn)品生產(chǎn)的靜電防護劉顯文2011、08、191、靜電和靜電現(xiàn)象2、靜電的危害3、電子產(chǎn)品生產(chǎn)的靜電防護4、靜電防護管理5、靜電防護設(shè)備6、靜電防護標(biāo)準(zhǔn)1、靜電和靜電現(xiàn)象從一些靜電現(xiàn)象說起:在空氣干燥的季節(jié),當(dāng)你開門時偶爾會有電擊的感覺,這就是靜電放電(ESD)。當(dāng)你感覺電擊時,你身上的靜電電壓已超過2000伏!當(dāng)你看到放電火花時,你身上的靜電已高達5000伏!當(dāng)你聽到放電聲音時,你身上的靜電已高達8000伏!但是現(xiàn)代許多高速超大規(guī)模集成電路碰到僅幾十伏或更低的靜電就會遭到損壞。也就是說當(dāng)你接觸這些電路時,你既沒有感覺到又沒有看到更沒有聽到靜電放電時,這塊電路就已部
2、分損傷或完全損壞,而你可能還在找其硬件或軟件的原因。在上個世紀(jì)中葉以前,靜電現(xiàn)象就如同科技館中的表演,只是一種有趣的物理現(xiàn)象;然而現(xiàn)在,靜電已成為高科技現(xiàn)代化工業(yè)的“殺手”。關(guān)于靜電的術(shù)語:1、靜電放電electrostaticdischarge(ESD)兩個具有不同靜電電位的物體,由于直接接觸或非接觸時靜電場感應(yīng)擊穿其間介質(zhì)而進行的靜電電荷轉(zhuǎn)移的現(xiàn)象。2、靜電敏感器件staticsensitivitydevice(SSD或ESDS)對靜電放電敏感的器件。(靜電放電敏感度)3、靜電泄放electrostaticleakage將靜電荷安全傳導(dǎo)到地。4、導(dǎo)體材料condu
3、ctivematerial一種容易將靜電導(dǎo)入地下的材料。表面電阻(系數(shù))106Ω或更小。5、靜電耗散材料electrostaticdissipativematerial一種慢慢把靜電導(dǎo)入地下的材料。表面電阻(系數(shù))106~109Ω。6、防靜電材料antistaticmaterial一種實際上不產(chǎn)生靜電的材料。表面電阻(系數(shù))109~1012Ω。7、絕緣材料insulatematerial一種不能將靜電導(dǎo)入地下的材料。表面電阻(系數(shù))1012Ω或更大。8、防靜電工作區(qū)ESDprotectedarea(EPA)配備各種防靜電設(shè)備和器材,能限制靜電電位、具有確定邊界和專門標(biāo)
4、記的適于從事靜電防護操作的場所。9、靜電放電敏感度(ESDS)靜電材料:指摩擦生電產(chǎn)生超過100V電壓,并且將產(chǎn)生的電壓保持10秒以上的材料。靜電導(dǎo)電材料:表面電阻系數(shù)小于105Ω。靜電耗散材料:表面電阻系數(shù)大于或等于105Ω但小于1012Ω。靜電絕緣材料:表面電阻系數(shù)在1012Ω以上的材料。電阻和電阻率:這是靜電控制技術(shù)中最關(guān)鍵的兩個概念,它們經(jīng)?;煜粌H被用來表示材料,還用于描述評估材料的測試方法。體電阻系數(shù):指某材料單位厚度上的直流壓降與單位面積上通過的電流之比。體電阻系數(shù)是材料的基本參數(shù)之一,表示其導(dǎo)電性能,單位為歐姆/厘米。表面電阻系數(shù):該參數(shù)用于厚度一定
5、的薄膜材料,其定義為表面上單位長度的直流壓降與單位寬度流過電流之比。它指正方形兩對邊之間的阻值,只要面積遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于薄膜厚度,則該阻值與正方形的大小無關(guān)。表面電阻率的單位是歐姆。電阻:從另一方面表示不同形狀(面積和長度)和電阻率的材料對電流的阻礙作用,它同時表明材料的表面或表面與地之間的電路連通性以及物體的放電能力,單位是歐姆。表面電阻:根據(jù)EOS/ESDS11.11“靜電釋放平面材料的表面電阻測量”中的定義,表面電阻是指材料某個面上兩點間的直流電壓與通過的電流之比,以歐姆表示。表面電阻值與材料的結(jié)構(gòu)無關(guān)。體電阻:根據(jù)ESDDS11.12“靜電釋放平面材料的體電阻測量”中
6、的定義,體電阻是指材料兩端之間的直流電壓與通過電流的比值,它的單位也是歐姆。絕緣材料:指表面電阻系數(shù)在1×1012歐姆或體電阻系數(shù)在1×1011歐姆/厘米以上的材料。絕緣材料的表面或內(nèi)部基本上沒有電流流動,它的電阻很大,難于接地。這種材料內(nèi)的靜電荷會在上面保留很長時間。導(dǎo)電材料:指表面電阻系數(shù)小于1×105歐姆或體電阻系數(shù)小于1×104歐姆/厘米的材料。這種材料電阻小,電子在其表面及內(nèi)部流動非常容易,可流向任何接觸到的其它導(dǎo)體或大地。放電材料:指表面電阻系數(shù)大于或等于1×105而小于1×1012歐姆,或體電阻系數(shù)大于或等于1×104而小于1×1011歐姆/厘米的材料。
7、靜電屏蔽材料:指導(dǎo)電層每毫米厚度的表面電阻系數(shù)小于1×104歐姆,或體電阻系數(shù)小于1.0×103歐姆/厘米的材料,采用這種材料制作的法拉第保護罩可防止靜電敏感器件受到靜電的影響??轨o電性:通常指材料抑制磨擦起電的特性。材料的抗靜電性與其電阻或電阻率沒有必然的聯(lián)系。2、靜電的危害:在電子工業(yè)領(lǐng)域,由于ESD的影響,美國每年造成的損失約100億美元,英國每年損失為35億英鎊,日本不合格的電子器件中有70%是由靜電引起。在我國,因靜電造成的損失也很嚴(yán)重。49%的電路故障是由靜電引起!靜電吸附塵埃,產(chǎn)生短路現(xiàn)象,導(dǎo)致電器損壞。靜電放電造成電磁干擾,引起電子設(shè)